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林 眞  HAYASHI Makoto

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40024179
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1993年度: 気体エレクトロニクス研究所(研究担当), 所長
1990年度 – 1991年度: 名古屋工業大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物理学一般
研究代表者以外
応用物理学一般
キーワード
研究代表者
radiation physics / environmental problem / electrical discharge / plasma coating / integrated circuit / gaseous electronics / 放射線科学 / 地球環境問題 / 放電 / プラズマコ-ティング … もっと見る / プラズマプロセシング / 大気環境問題 / 画像ディスプレイ / 気体レ-ザ- / 太陽電池 / 半導体IC / 気体エレクトロニクス … もっと見る
研究代表者以外
Electron Energy Distribution / ICP Plasma / Plasma Display / Dissociation / Collision Crosssection / Ion swarm / Electron Swarm / Swarm / 緩和特性 / 過渡特性 / 電子-電子衝突 / 運動量移行断面積 / 原子衝突 / 電子衝突 / 電子衝突断面積 / rf非平衡プラズマ / 緩和現象 / クーロン相互作用 / イオンスオーム / 電子スオーム / 気体エレクトロニクス / プラズマディスプレイ / 誘導結合プラズマ / 電子エネルギー分布 / 解離 / 衝突断面積 / イオンスゥオーム / 電子スゥオーム / スゥオーム 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (12人)
  •  電子およびイオンスウオームの機構とその応用

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      北海道大学
  •  気体エレクトロニクスー基礎過程とその応用ー研究代表者

    • 研究代表者
      林 眞
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  • 1.  旗野 嘉彦 (90016121)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  生田 信皓 (30035802)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  真壁 利明 (60095651)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  田頭 博昭 (10001174)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  橘 邦英 (40027925)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  藤本 孝 (90026203)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  武部 雅汎 (30005392)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  土手 敏彦 (20087422)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  中村 義春 (90051763)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  近藤 敬一 (10043978)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  鈴木 敬三
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  小川 岩雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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