中野元博 NAKANO Motohiro

… 別表記

中野元裕 NAKANO Notohiro

研究者番号	40164256
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2016年度 – 2019年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 2012年度 – 2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2014年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 2011年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 … もっと見る 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 2007年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 2005年度 – 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教授 1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1998年度 – 1999年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教授 1997年度: 大阪大学, 工学部, 助教授 1992年度 – 1994年度: 大阪大学, 工学部, 助教授 1990年度: 大阪大学, 工学部, 講師 1986年度 – 1989年度: 大阪大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生体医工学・生体材料学 / 電子デバイス・電子機器 / 核融合学 / 機械材料・材料力学 / 機械材料工学 / 生産工学・加工学 / 航空宇宙工学研究代表者以外生産工学・加工学 / 機械材料工学 / 広領域 / 航空宇宙工学 / 応用物理学一般 / 機械工作・生産工学
キーワード	研究代表者プラズマ / Laser / 状態方程式 / CFRP / 衝撃波 / キャピラリ / 軟X線顕微鏡 / 生物・生体工学 / Pulse-power / Plasma … もっと見る / Extreme-ultraviolet (EUV) / Semiconductor production / パルス放電 / デバイス設計・製造プロセス / パルスパワー / レーザー / 極端紫外光 / 半導体デバイス製造 / PENUMBRAL TECHNIQUE / SHOCK TEMPERATURE MEASURMENT / LASER PLASMA / INERTIAL FUSION / INTENSE LASER / SHOCK WAVE / ULTRA HIGH PRESSURE / EQUATION OF STATE / 画像再構成 / 半影 / レーザープラズマX線 / 核融合 / 半影法 / 衝撃温度計測 / レーザープラズマ / 慣性核融合 / 高強度レーザー / 超高圧 / Finite element analysis / High-speed flaming camera / Interlaminar delamination / Spallation / Orbital debris / Shock wave / 超高速ガメラ / 超高速カメラ / スポール / 破壊 / 層間はく離 / 航空宇宙材料 / 有限要素解析 / 超高速フレーミングカメラ / 眉間はく離 / スポール破壊 / スペースデブリ / レーザ / Loading rate effect / Alumina / Fracture criterion / Stress sitensity factor / Fracture toughness / Ceramics / Mixed-mode fracture / Impact fracture / 衝激破壊試験 / 負荷速度依存性 / アルミナ / 衝撃破壊基準 / 動的破壊じん性 / 動的応力拡大係数 / ファインセラミックス / 混合モード破壊 / 衝撃破壊試験 / 放電生成プラズマ / 水の窓軟X線顕微鏡 / 放射線技術工学 / Point Diffraction Interierometer / Point Diffraction Interferometer / PDI / 精密加工計測 / 光ファイバ / 位相シフト干渉計 / PDI(Point Diffraction Interferometer) / 加工計測 / 精密位置決め / 応力棒法 / 高速変形 / 銅 / 衝撃ねじり試験 / 構成方程式 / 波動伝播解析 / 弾粘塑性 / ひずみ速度履歴 … もっと見る研究代表者以外破壊じん性 / 極低温 / 構造材料 / 超電導マグネット / シングルモード光ファイバ / fiber optic plate / Fracture Toughness / 転位 / 溶接強度 / 疲労特性 / 引張強度 / 負荷速度 / 塑性変形 / 位相シフト干渉計 / 光ファイバ / 回折球面波 / Thermal Activation Theoty / Dislocation / Yield Stress / Flow Stress / High Strain Rate / Cryogenic Temperature / 双晶 / 熱活性化過程 / 降伏応力 / 変形応力 / 高ひずみ速度 / spherical diffraction wave / measurement error / aspherical surface measurement / absolute surface figure measurement / single-mode optical fiber / phase-shifting interferometry / point diffraction interferometry / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 位相シフト干渉計測法 / 点回折干渉計測法 / 大口径光学素子 / HeNeレーザー / Point Diffraction Inteferometer / 点回折球面波干渉計 / 非球面観測 / 計測誤差 / 非球面計測 / 絶対形状計測 / 位相シフト干渉計測 / 点回折干渉計測 / Hot electron Jet / Light Self Focus / Multilayered Flyer / Laser induced shock / Ultraintense Laser / 衝撃波 / cm^2 / 集光強度10^<19>W / 高速電子ジェット / 光自己集束 / 多層膜フライヤー / レーザー誘起衝撃波 / 超高強度レーザー / Termal Activation Mechanism / Brittle-to-Ductile Transition / Birefringence Observation / Alkali Halide Single Crystal / Dislocation Emission / 延性-ぜい遷移 / Kcl単結晶 / 延性ーぜい性遷移 / 応力遮蔽効果 / KClーKBr固溶体単結晶 / KCl単結晶 / 破壊じん性試験法 / 引張試験法 / フッ化マグネシウム / 分光反射率 / 銀 / 表面プラズモン共鳴 / 誘電体薄膜 / ナノ構造 / 光の近接場 / 金属/誘電体/金属構造 / 近接場光学顕微鏡 / 光導波路 / 伝搬モード解析 / 真空蒸着 / 金属-誘電体-金属構造 / 有限要素法 / 金属薄膜 / 集束イオンビーム加工 / 表面プラズモンポラリトン / 放物面計測 / 非球面形状計測 / ガラスレスCCDカメラ / デジタルホログラフィー / 表面形状計測 / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / デジタルホログラフ / phase-shifting interferometer / point diffraction interferometer / 点光源回折干渉計 / 熱応力解析 / 熱伝導解析 / 自己集束 / 亀裂 / 吸収係数 / レーザ内部加工 / レーザスクライブ / 硬脆材料 / レーザ加工 / 計測の再現性 / 高精度絶対形状計測 / 光干渉計測 / He-Neレーザー / 位相シフト干渉法 / 点光源隠す

軟X線用ポリキャピラリレンズを用いた３次元顕微イメージング研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生体医工学・生体材料学
- 研究機関
  大阪大学
放電生成プラズマ放射軟Ｘ線のキャピラリ集束を用いた生体細胞内小器官の顕微観察法研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生体医工学・生体材料学
- 研究機関
  大阪大学
プラズモニックＭＩＭバンドエンハンサーを有するツイン導波路型光ナノプローブの検討
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  大阪大学
光ファイバ出射の点回折球面波を基準面とする平面原器絶対形状の位相シフト干渉計測研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
ナノ秒/連続発振レーザによる透過性硬脆材料の精密微細加工とその知能化
- 研究代表者
  
  大村悦二
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
FOW援用型PDI形状計測装置の開発:大口径非球面の高い再現性での絶対形状計測
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪大学
光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
半影X線バックライト法による衝撃波速度と超高密度の同時計測研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  核融合学
- 研究機関
  大阪大学
レーザ誘起衝撃波を用いた航空宇宙材料の衝撃破壊に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博, 岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  大阪大学
相対論的固体密度プラズマにおけるレーザー誘起、超高強度衝撃波の研究
- 研究代表者
  
  田中和夫
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  広領域
- 研究機関
  大阪大学
ひずみ速度履歴の影響を受ける弾粘塑性波伝播のハイブリッド法に基づく数値解析研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  航空宇宙工学
- 研究機関
  大阪大学
混合モード衝撃荷重下のファインセラミックスの破壊のクライテリオンに関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料工学
- 研究機関
  大阪大学
温度・負荷速度をパラメ-タとした破壊のメカニズムに関する転位論的研究
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1989 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  航空宇宙工学
- 研究機関
  大阪大学
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価(各種強度特性の材料工学的考察とデータベース化)
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  核融合特別研究
- 研究機関
  大阪大学
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価 (極低温下の疲労特性と最適溶接法の開発)
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1987
- 研究種目
  
  核融合特別研究
- 研究機関
  大阪大学
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1986
- 研究種目
  
  エネルギー特別研究(核融合)
- 研究機関
  大阪大学
極低温および高ひずみ速度下での材料の微視的変形・破壊機構に関する基礎研究
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1986 – 1987
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料工学
- 研究機関
  大阪大学

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すべて雑誌論文学会発表図書産業財産権

[図書] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers, Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 142012
- 著者名/発表者名
  Oshikane Yasushi, Nakano Motohiro and Inoue Haruyuki
- 総ページ数
  67
- 出版者
  (Moh. Yasin, Sulaiman W. Harun and Hamzah Arof, eds.), InTech, Croatia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[図書] Selected Topics on Optical Fiber Technology, Part 2, Chapter 14, Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Having Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers2012
- 著者名/発表者名
  Oshikane Yasushi, Nakano Motohiro, Inoue Haruyuki
- 出版者
  InTech (ISBN 978-953-51-0091-1)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[雑誌論文] 3D-FEM analysis of SPP excitation through nanoholes in asymmetric metal-insulator-metal structure at tip of circular truncated conical fiber2014
- 著者名/発表者名
  Yasushi Oshikane, Kensuke Murai, Motohiro Nakano
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 9163 ページ: 1-7
- DOI
  10.1117/12.2060641
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[雑誌論文] ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いた亀裂進展解析2010
- 著者名/発表者名
  大村悦二、小川健輔、熊谷正芳、中野誠、福満憲志、森田英毅
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集, A編 Vol.76, No.764
  
  ページ: 446-448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いた亀裂進展解析2010
- 著者名/発表者名
  大村悦二・小川健輔・熊谷正芳・中野誠・福満憲志・森田英毅
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集,A編 76(掲載決定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いた亀裂進展解析2010
- 著者名/発表者名
  大村悦二, 小川健輔, 熊谷正芳, 中野誠, 福満憲志, 森田英毅
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集, A 編 Vol. 76, No. 764
  
  ページ: 446-448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いた亀裂進展解析2010
- 著者名/発表者名
  大村悦二、小川健輔、熊谷正芳、中野誠、福満憲志、森田英毅
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集, A編
  
  巻: 76 ページ: 446-448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Analysis of Crack Propagation in Stealth Dicing Using Stress Intensity Factor2009
- 著者名/発表者名
  E.Ohmura, K.Ogawa, M.Kumagai, M.Nakano, K.Fukumitsu, H.Morita
- 雑誌名
  
  On-line Proceedings of the 5th International Cong ress on Laser Advanced Materials Processing (LA MP2009)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  E. Ohmura, M. Kumagai, M. Nakano, K. Kuno, K. Fukumitsu, H. Morita
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Me-chanical Design, Systems, and Manufacturing 2
  
  ページ: 540-549
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Koji Kuno, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2, No.4
  
  ページ: 540-549
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2008
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Koji Kuno, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol. 2, No. 4
  
  ページ: 540-549
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] 透過性パルスレーザによる極薄シリコンウェハの内部改質2008
- 著者名/発表者名
  大村悦二、熊谷正芳、福満憲志、中野誠、内山直己、森田英毅
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 Vol.74, No.3
  
  ページ: 275-281
- NAID
  110006647632
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] 透過性パルスレーザによる極薄シリコンウェハの内部改質2008
- 著者名/発表者名
  大村悦二・熊谷正芳・福満憲志・中野誠・内山直己・森田英毅
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 74(印刷中)
- NAID
  110006647632
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008
- 著者名/発表者名
  Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
- 雑誌名
  
  Surface and Inter face Analysis Vol. 40
  
  ページ: 1028-1032
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-繰り返し発光特性の評価-2007
- 著者名/発表者名
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 井上晴行, 押鐘寧, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 773-774
- NAID
  130005028703
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Koji Kuno, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 雑誌名
  
  Proc. the International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, 2007, Fukuoka Japan
  
  ページ: 861-866
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007
- 著者名/発表者名
  Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
- 雑誌名
  
  Optical Review Vol. 14
  
  ページ: 401-405
- NAID
  10020010020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  E. Ohmura, M. Kumagai, M. Nakano, K. Kuno, K. Fukumitsu, H.Morita
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Int. Conf. on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21
  
  ページ: 861-866
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Koji Kuno, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 雑誌名
  
  Proc. the International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, 2007, Fukuoka Japan(LEM21 The Best Paper Award受賞論文)
  
  ページ: 861-866
- NAID
  130000080854
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] Internal Modification of Ultra Thin Silicon Wafer by Permeable Pulse Laser2007
- 著者名/発表者名
  E. Ohmura, M. Kumagai, K. Fukumitsu, K. Kuno, M. Nakano, H. Morita
- 雑誌名
  
  Online Proceedings of LPM2007-the 8th Int. Symp. on Laser Precision Microfabrication
- NAID
  110006647632
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[雑誌論文] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130005028613
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma-Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- 著者名/発表者名
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 133-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 161-161
- NAID
  130004658297
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma -Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- 著者名/発表者名
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 133-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-2006
- 著者名/発表者名
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 585-586
- NAID
  130004658236
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-2006
- 著者名/発表者名
  吉川隆弥, 大谷祐子, 中野元博, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 73-74
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] ナノ秒レーザ誘起円錐孔アプレーション・プラズマの発光計測2006
- 著者名/発表者名
  中野元博, 細谷明弘, 吉川隆弥, 大谷祐子, 山内良昭, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004657236
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] EUV光源開発のためのパルスレーザーによる高密度プラズマ生成と発光計測2005
- 著者名/発表者名
  細谷明弘, 吉川隆弥, 中野元博, 山内良昭, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
- NAID
  130004656964
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004655911
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[産業財産権] レーザプラズマ光源2007
- 発明者名
  中野元博, 片岡俊彦
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権番号
  2007-213321
- 出願年月日
  2007-08-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[学会発表] 水の窓領域軟Ｘ線顕微鏡用レーザ生成プラズマ光源の開発　－集光による高輝度化に向けた反射膜の検討－2015
- 著者名/発表者名
  星野広海，本郷優子，押鐘寧，村井健介，中野元博
- 学会等名
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学 (松ヶ崎キャンパス)
- 年月日
  2015-06-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25282132
[学会発表] 水の窓領域軟Ｘ線顕微鏡用レーザ生成プラズマ光源の開発2014
- 著者名/発表者名
  本郷優子、荻佑介、押鐘寧、中野元博
- 学会等名
  精密工学会2014年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  近畿大学 (東大阪キャンパス)
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25282132
[学会発表] ナノ構造を有する光ファイバ先端部の光電磁場集中・伝搬に関する有限要素解析2014
- 著者名/発表者名
  押鐘寧，服部航，中野元博，村井健介
- 学会等名
  精密工学会　2014年度　関西地方学術講演会
- 発表場所
  近畿大学　東大阪キャンパス(大阪府東大阪市)
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] Three Dimensional Electromagnetic Simulation of SPP Control at Apex of Circular Truncated Conical Fiber with MIM/Twin Nano-Hole Structure2014
- 著者名/発表者名
  Yasushi Oshikane, Motohiro Nakano, Kensuke Murai
- 学会等名
  COMSOL Conference Tokyo 2014
- 発表場所
  秋葉原UDX(東京都千代田区)
- 年月日
  2014-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] MIM構造とナノ開孔対を有する円錐台形状の光ファイバ先端における電磁場伝搬の解析ー有限要素解析による３次元電磁場と伝搬モードの診断ー2014
- 著者名/発表者名
  押鐘寧，村井健介，中野元博
- 学会等名
  2014年度　精密工学会　秋季大会　学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学　鳥取キャンパス(鳥取県鳥取市)
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] MIM構造におけるPlasmonic効果の可視光通信フィルタや近接場プローブへの応用に向けて2013
- 著者名/発表者名
  押鐘　寧，村井　健介，東　孝哉，山本　史彦，中野　元博，井上　晴行
- 学会等名
  第10回　プラズモニクスシンポジウム
- 発表場所
  神戸大学六甲台キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] Plasmonic active spectral filter in VIS-NIR region using metal-insulator-metal (MIM) structure on glass plate2012
- 著者名/発表者名
  Yasushi Oshikane, Kensuke Murai, Takaya Higashi, Fumihiko Yamamoto, Motohiro Nakano, Haruyuki Inoue
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics 2012
- 発表場所
  米国　サンディエゴコンベンションセンター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] 金属-誘電体-金属構造における表面プラズモン共鳴を利用した可視域アクティブフィルタの開発2012
- 著者名/発表者名
  押鐘　寧，東　孝哉，山本　史彦，村井　健介，井上　晴行，中野　元博
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560060
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Point Light Sources of Single-Mode Optical Fibers2011
- 著者名/発表者名
  N. Ogawa, T. Nishioka, M. Nakano, Y. Oshikane, H. Inoue
- 学会等名
  Fourth international symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka University
- 年月日
  2011-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-ファイバ保持方法の改良とノイズの低減-2011
- 著者名/発表者名
  小川尚利,西岡孝純,中野元博,押鐘寧,井上晴行
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Point light Sources of Single-Mode Optical Fibers2011
- 著者名/発表者名
  N.Ogawa, T.Nishioka, M.Nakano, Y.Oshikane, H.Inoue
- 学会等名
  Fourth international symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Spherical Reference Wavefronts Generated by two Optical Fibers2010
- 著者名/発表者名
  N.Ogawa, Y.Oshikane, H.Inoue, M.Nakano
- 学会等名
  Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  大阪大学(大阪市)
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 透過性パルスレーザによるシリコン内部の亀裂伸展解析-ステルスダイシングの加工メカニズムに関する研究-2010
- 著者名/発表者名
  川人佑太・大村悦二・中野誠・福満憲志・森田英毅
- 学会等名
  2010年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  さいたま
- 年月日
  2010-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-非球面凹面ミラーの表面形状計測精度-2010
- 著者名/発表者名
  小川尚利, 中野元博, 押鐘寧, 井上晴行, 山内和人
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学(名古屋市)
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] 2本の光ファイバからの点光源回折球面波を基準とする位相シフト干渉計-非球面凹面ミラーの表面形状計測精度-2010
- 著者名/発表者名
  小川尚利,中野元博,押鐘寧,井上晴行,山内和人、
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560109
[学会発表] Analysis of Crack Propagation Induced by Laser Irradiation in Stealth Dicing2009
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Kensuke Ogawa, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 学会等名
  The Fifth International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2009)
- 発表場所
  神戸
- 年月日
  2009-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Analysis of Crack Propagation Induced by Laser Irradiation in Stealth Dicing2009
- 著者名/発表者名
  E.Ohmura, K.Ogawa, M.Kum agai, M.Nakano, K.Fukumitsu, H.Morita
- 学会等名
  The Fifth International Congress on Laser Advan ced Materials Processing, LAMP2009
- 発表場所
  神戸
- 年月日
  2009-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] ステルスダイシングにおける内部亀裂進展シミュレーション2009
- 著者名/発表者名
  小川健輔, 大村悦二, 熊谷正芳, 中野誠, 福満憲志, 平田好則
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京都
- 年月日
  2009-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Crack Propagation Analysis During Pulse Duration in Stealth Dicing2009
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Kensuke Ogawa, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Kenshi Fukumitsu, Hideki Morita
- 学会等名
  The 28th International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2009 (ICALEO2009)
- 発表場所
  Orlando
- 年月日
  2009-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Crack Propagation Analysis During Pulse Duration in Stealth Dicing2009
- 著者名/発表者名
  E.Ohmura, K.Ogawa, M.Kumagai, M.Nakano, K.Fukumitsu, H.Morita
- 学会等名
  The 28th International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2009, ICALEO2009
- 発表場所
  オーランド(米国)
- 年月日
  2009-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] ステルスダイシングにおける応力拡大係数を用いたき裂進展解析2009
- 著者名/発表者名
  大村悦二・小川健輔・熊谷正芳・中野誠・福満憲志・森田英毅
- 学会等名
  材料力学カンファレンスM&M2009
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2009-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] ステルスダイシングにおけるシリコンウェハの温度場解析2008
- 著者名/発表者名
  大村悦二, 熊谷正芳, 福満憲志, 中野誠, 渥美一弘, 森田英毅
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  仙台市
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Temperature field analysis of silicon wafer in stealth dicing2008
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Kenshi Fukumitsu, Makoto Nakano, Kazuhiro Atsumi, Hideki Morita
- 学会等名
  The 27th International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2008 (ICALEO2008)
- 発表場所
  Temecula
- 年月日
  2008-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  Etsuji Ohmura, Masayoshi Kumagai, Makoto Nakano, Koji Kuno, Kenshi Fukumitasu, Hideki Morita
- 学会等名
  International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2007-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] Analysis of Processing Mechanism in Stealth Dicing of Ultra Thin Silicon Wafer2007
- 著者名/発表者名
  E. Ohmura, M. Kumagai, M. Nakano, K. Kuno, K. Fukumitsu, H. Morita
- 学会等名
  International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM21
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2007-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065
[学会発表] 極薄シリコンウェハのステルスダイシング2007
- 著者名/発表者名
  大村悦二・熊谷正芳・中野誠・渥美一弘・森田英毅
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川市
- 年月日
  2007-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360065

1. 岸田敬三 (00029068)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
2. 片岡俊彦 (50029328)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 0件
3. 山内良昭 (00252619)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 2件
4. 押鐘寧 (40263206)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 27件
5. 井上晴行 (30304009)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 18件
6. 田中和夫 (70171741)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
7. 前川一郎 (70018464)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
8. 庄子哲雄 (80091700)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
9. 高橋秀明 (10005267)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 松縄朗 (20029119)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
11. 大村悦二 (90144435)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 26件
12. 松浦敏晋 (60525145)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
13. 村井健介 (00358144)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
14. 乗松孝好 (50135753)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 北川米喜 (40093405)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 児玉了祐 (80211902)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 横山隆 (60093944)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 島本進

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 片岡秀彦

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 17件

中野 元博 NAKANO Motohiro

中野 元裕 NAKANO Notohiro

研究課題

研究成果

共同研究者

軟X線用ポリキャピラリレンズを用いた３次元顕微イメージング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

放電生成プラズマ放射軟Ｘ線のキャピラリ集束を用いた生体細胞内小器官の顕微観察法研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光ファイバ出射の点回折球面波を基準面とする平面原器絶対形状の位相シフト干渉計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半影X線バックライト法による衝撃波速度と超高密度の同時計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザ誘起衝撃波を用いた航空宇宙材料の衝撃破壊に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ひずみ速度履歴の影響を受ける弾粘塑性波伝播のハイブリッド法に基づく数値解析研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

混合モード衝撃荷重下のファインセラミックスの破壊のクライテリオンに関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

中野元博 NAKANO Motohiro

中野元裕 NAKANO Notohiro