佐野泰久 Sano Yasuhisa

… 別表記

佐野恭久サノヤスヒサ

佐野康久サノヤスヒサ

研究者番号	40252598
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2024年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2024年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 2022年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 2016年度 – 2020年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 2011年度 – 2016年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2014年度 – 2015年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 … もっと見る 2010年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授 2008年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教授 2003年度 – 2005年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教授 2003年度 – 2004年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 2001年度 – 2002年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 1999年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 1998年度 – 1999年度: 大阪大学, 工学研究科, 助手 1994年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野研究代表者以外生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 大区分C / 機械材料・材料力学 / 工学 / 理工系
キーワード	研究代表者大気圧プラズマ / プラズマCVM / 特殊加工 / エッチング / SiC / 薄化 / PCVM / 炭化ケイ素 / プラズマ / 数値制御加工 … もっと見る / 溝加工 / 無歪 / ダイシング / プラズマ酸化 / SOIウエハ / 犠牲酸化 / ワイドギャップ半導体 / べベル加工 / 内周刃 / 切断加工 / シリコン / 非接触 / 切断火口 / プラズマエッチング / 数値制御形状加工 / 流体解析 / ラジカルガン / セラミックス / 形状加工 / 拡散 / ハロゲン / ラジカル / 高圧力 … もっと見る研究代表者以外超精密加工 / X線ミラー / 数値制御加工 / 大気圧プラズマ / EEM / X線自由電子レーザー / X線集光 / X線顕微鏡 / 精密計測 / 精密加工 / 表面改質 / ラジカル / プラズマCVM / SOI / シリコン / プラズマCVD / SiH_4 / Low temperature deposition / Thin film / Silicon / Surface modification / Ion gun / イオン照射 / シリコン薄膜 / 低温成膜 / CMP / 精密研磨 / X線光学 / 非球面ミラー / 放射光 / SPV / 表面電子準位 / 分光 / 表面光起電力 / 高速回転電極 / 形状可変 / 形状可変ミラー / 光学 / 研磨・CMP / 高能率 / ナノバブル / プラズマガス / SiC基板 / 触媒化学 / 多層膜ミラー / X線干渉計 / X線波面計測 / asymmetric aspheric figure / goniometers / normal vector / slope error / surface figuring / EUV / Synchrotron radiation optics / 基準面 / 法線ベクトル測定 / X線光学素子 / 大型ミラー / 非基準面 / 法線ベクトル計測 / 非球面形状 / 集効用ミラー / ナノメータ / 非球面 / スロープエラー / ゴニオメータ / 法線ベクトル / 基準面無し / 形状計測 / plane mirror / synchrotron radiation / numerical controlled / high-speed rotary electrode / radical / atmospheric pressure / plasma CVM / 薄膜化 / 平面ミラー / シンクロトロン放射光 / シリコンイオン / TFT / 太陽電池 / 液体金属イオン源 / 多結晶 / 基板改質 / SF6 / Spatial resolution / Pulse modulation / Radical / Atmospheric plasma / 分解過程 / 六フッ化硫黄 / プラズマの局在化 / パルス変調 / ラジカル加工 / 高圧力プラズマ / ultra-precision machining / crystallographic properties / non-destructive / high sensitive / Si / surface photovaltage effects / 起精密加工 / 半導体 / 低温 / 加工変質層 / 非接触 / 超精密加工面 / 微弱表面電位計測システム / plasma CVD / ultra-fine particle / atmospheric plasma / 微細粉末 / 超微粒子 / 表面制御 / 薄膜用基板 / 薄膜 / イオンガン / 表面 / 平坦化 / エピタキシャル成長 / プラズマ酸化 / 昇華法 / 超平坦表面 / ウェットエッチング / プラズマ処理 / シリコンカーバイド / グラフェン / 超押し込み試験 / SiC, GaN, ダイヤモンド / PCVM / TEM / 超押し込み実験 / SiC, GaN, ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ / フェムト秒(Fs)レーザ / 融合加工装置 / 超難加工結晶 / 加工レート / 疑似ラジカル / 超難加工材料 / 疑似ラジカル場 / P-CVM / フェムト秒レーザ / 難加工材料 / 表面粗さ / 加工効率 / プラズマ融合CMP / リソグラフィー / プラズマ加工 / 石英ガラス / ローカルウエットエッチング / 平坦度 / ウエットエッチング / フォトマスク基板 / 液晶 / X 線光学 / X線自由電子レーザ / ナノ集光 / 波面光学 / コヒーレントX線 / 超精密形状計測 / CEM / エッチング / ポリシング / アモルファスシリコン / 高速成膜隠す

2D動的フリーフォームプラズマ生成のためのプラズマプロパゲーション制御研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  大阪大学
伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 審査区分
  
  大区分C
- 研究機関
  大阪大学
プラズマガス内包ナノバブル添加スラリーによるＳｉＣ基板の高能率研磨加工法の開発
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
触媒反応を利用した純水による機能性材料の超平滑化エッチング
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2016
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
高精度形状可変ミラー光学系の構築とX線自由電子レーザーのアダプティブ集光
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
究極デバイスとしてのダイヤモンド基板の革新的超精密加工プロセスへのブレークスルー
- 研究代表者
  
  土肥俊郎
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州大学
独自の超平坦ＳｉＣ表面上でのＳｉ原子層エッチングによるグラフェンの低温形成
- 研究代表者
  
  有馬健太
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
小隙スリット電極による高密度大気圧プラズマの生成と高能率マスクレス溝加工への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
補償光学系を駆使した多段光学系によるＸ線自由電子レーザーのナノメートル集光
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
省エネルギーパワーデバイス用ＳｉＣ基板の高能率加工方法研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化による超精密加工研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
硬Ｘ線Ｓｕｂ―１０ｎｍビーム形成と顕微鏡システムの構築
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2010
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  大阪大学
液晶用メーター超級大型フォトマスク基板の高精度・高能率作製プロセスの開発
- 研究代表者
  
  森勇蔵
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
ワイドバンドギャップ半導体デバイス製作のための高能率化学的加工法研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2008
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
基準面を用いない高精度非球面X線ミラーの超精密形状計測に関する研究
- 研究代表者
  
  東保男
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
ナノデバイス用基板としての超薄膜SOIウエハの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久, 森勇蔵
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧プラズマエッチングを利用した非接触無歪切断加工研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発
- 研究代表者
  
  森勇藏 (森勇蔵)
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
表面光起電力を利用したSiウエハの加工変質層の高感度計測
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
回転電極を用いた大気圧汎用プラズマCVD装置の開発
- 研究代表者
  
  森勇蔵
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
ラジカセ反応を利用したセラミックス材料形状加工装置の開発-数値制御形状加工システムの試作-研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明
- 研究代表者
  
  森勇藏 (森勇蔵)
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
ラジカル反応を利用したセラミックス材料形状加工装置の開発-ラジカル流解析による加工形状の解析-研究代表者
- 研究代表者
  
  佐野泰久
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発
- 研究代表者
  
  森勇蔵 (森勇藏)
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究
- 研究代表者
  
  森勇蔵 (森勇藏)
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  大阪大学

[図書] New Diamond Vol.322016
- 著者名/発表者名
  會田英雄、土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、大山幸希、金聖祐
- 総ページ数
  2
- 出版者
  (社）ニューダイヤモンドフォーラム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[図書] 機械の研究Vol672015
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 総ページ数
  7
- 出版者
  養賢堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[図書] Wiley-VCH, Crystal Growth Technology (Chapter 19 : Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining),2008
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, K. Yamamura, H. Mimura, K. Yamauchi, and Y. Mori
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system2021
- 著者名/発表者名
  Inoue Takato、Nishioka Yuka、Matsuyama Satoshi、Sonoyama Junki、Akiyama Kazuteru、Nakamori Hiroki、Ichii Yoshio、Sano Yasuhisa、Shi Xianbo、Shu Deming、Wyman Max D.、Harder Ross、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Assoufid Lahsen、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 92 号: 12 ページ: 123706-123706
- DOI
  10.1063/5.0070465
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K21146, KAKENHI-PROJECT-17H01073, KAKENHI-PROJECT-19J20094, KAKENHI-PROJECT-21H05004
[雑誌論文] Nearly diffraction-limited hard X-ray line focusing with hybrid adaptive X-ray mirror based on mechanical and piezo-driven deformation2018
- 著者名/発表者名
  Goto Takumi、Matsuyama Satoshi、Hayashi Hiroki、Yamaguchi Hiroyuki、Sonoyama Junki、Akiyama Kazuteru、Nakamori Hiroki、Sano Yasuhisa、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 26 号: 13 ページ: 17477-17477
- DOI
  10.1364/oe.26.017477
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[雑誌論文] Simulation and Experimental Study of Wavefront Measurement Accuracy of the Pencil-Beam Method2016
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Synchrotron Radiation News
  
  巻: 29 号: 4 ページ: 32-36
- DOI
  10.1080/08940886.2016.1198674
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J00656, KAKENHI-PROJECT-26286077, KAKENHI-PROJECT-16H06358
[雑誌論文] Nearly diffraction-limited X-ray focusing with variable-numerical-aperture focusing optical system based on four deformable mirrors2016
- 著者名/発表者名
  Satoshi Matsuyama, Hiroki Nakamori, Takumi Goto, Takashi Kimura, Krishna P. Khakurel, Yoshiki Kohmura, Yasuhisa Sano, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Yoshinori Nishino, and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Scientific Reports
  
  巻: 6 号: 1 ページ: 24801-24801
- DOI
  10.1038/srep24801
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05737, KAKENHI-PROJECT-15J00656, KAKENHI-PROJECT-16H06358
[雑誌論文] High-efficiency planarization method combining mechanical polishing and atmospheric-pressure plasma etching for hard-to-machine semiconductor substrates2016
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kousuke Shiozawa, Toshiro Doi, Hideo Aida, Tadakazu Miyashita and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Mechanical Engineering Journal
  
  巻: 3 号: 1 ページ: 15-00527-15-00527
- DOI
  10.1299/mej.15-00527
- NAID
  130005126182
- ISSN
  2187-9745
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Size-changeable x-ray beam collimation using an adaptive x-ray optical system based on four deformable mirrors2016
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, H. Hayashi, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 9965 ページ: 1-9
- DOI
  10.1117/12.2238794
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J00656, KAKENHI-PROJECT-26286077, KAKENHI-PROJECT-16H06358
[雑誌論文] Damage threshold of platinum/carbon multilayers under hard X-ray free-electron laser irradiation2015
- 著者名/発表者名
  J. Kim, A. Nagahira, T. Koyama, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 23(22) 号: 22 ページ: 29032-29037
- DOI
  10.1364/oe.23.029032
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00129, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Numerically controlled atmospheric-pressure plasma sacrificial oxidation using electrode arrays for improving silicon-on-insulator layer uniformity2015
- 著者名/発表者名
  H. Takei, K. Yoshinaga, S. Matsuyama, K. Yamauchi, and Y. Sano
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54
- NAID
  210000144748
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Hard X-ray nanofocusing using adaptive focusing optics based on piezoelectric deformable mirrors2015
- 著者名/発表者名
  Takumi Goto, Hiroki Nakamori, Takashi Kimura, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi, and Satoshi Matsuyama
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 86 号: 4 ページ: 1-5
- DOI
  10.1063/1.4916617
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J00656, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2015
- 著者名/発表者名
  asuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 625 ページ: 550-553
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Development of ion beam figuring system with electrostatic deflection for ultraprecise X-ray reflective optics2015
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 7 号: 9 ページ: 093103-093103
- DOI
  10.1063/1.4929323
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26286077, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Consideration of Femtosecond Laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- 著者名/発表者名
  hengwu WANG, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OYAMA, Terutake HAYASHI, Ji ZHANG, Asakawa EIJI
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 799-800 ページ: 458-462
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Aggregation of Carbon Atoms at SiO2/SiC(0001) Interface by Plasma Oxidation toward Formation of Pit-free Graphene2014
- 著者名/発表者名
  Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Keisuke Nishitani, Hiroki Sakane, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
- 雑誌名
  
  Carbon
  
  巻: 80 ページ: 440-446
- DOI
  10.1016/j.carbon.2014.08.083
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
[雑誌論文] Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage2014
- 著者名/発表者名
  Y.Sano, T.K.Doi, S.Kurokawa, H.Aida, O.Ohnishi, M.Uneda, K.Shiozawa, Y.Okada, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 26 ページ: 429-434
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Approach to High Efficient CMP For Power Device Substrates2014
- 著者名/発表者名
  Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Chengwu W.WANG, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Koki OYAMA, Kunimitsu TAKAHASHI
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 60 ページ: 641-646
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Development of a one-dimensional two-stage focusing system with two deformable mirrors2014
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 9208 ページ: 920802-920802
- DOI
  10.1117/12.2061821
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining (CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- 著者名/発表者名
  Toshiro K. Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurowaka, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda and Koki Ohyama
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 26 ページ: 403-415
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining [CMP/P-CVM] Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- 著者名/発表者名
  T. K. Doi, Y. Sano, S. Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama
- 雑誌名
  
  Sensors & Materials
  
  巻: 未定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Thinning of a two-inch silicon carbide wafer by plasma chemical vaporization machining using a slit electrode2014
- 著者名/発表者名
  Y.Okada, H.Nishikawa, Y.Sano, K.Yamaura, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: 788-780 ページ: 750-753
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014
- 著者名/発表者名
  Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 64 号: 17 ページ: 23-28
- DOI
  10.1149/06417.0023ecst
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020, KAKENHI-PROJECT-26630026
[雑誌論文] Development of split-delay x-ray optics using Si(220) crystals at SACLA2014
- 著者名/発表者名
  Taito Osaka, Takashi Hirano, Makina Yabashi, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Yuichi Inubushi, Takahiro Sato, Kanade Ogawa, Satoshi Matsuyama, Tetsuya Ishikawa and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 9210 ページ: 921009-921009
- DOI
  10.1117/12.2060238
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00898, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Thinning of a two-inch silicon carbide wafer by plasma chemical vaporization machining using a slit electrode2014
- 著者名/発表者名
  Yu Okada, Hiroaki Nishikawa, Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vol.778-780 ページ: 750-753
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.750
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa, Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 625 ページ: 550-553
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Dicing of SiC wafer by atmospheric-pressure plasma etching process with slit mask for plasma confinement2014
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Hiroaki Nishikawa, Yu Okada, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vol.778-780 ページ: 759-762
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.759
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Damage characteristics of platinum/carbon multilayers under X-ray free-electron laser irradiation2013
- 著者名/発表者名
  J. Kim, T. Koyama, H. Yumoto, A. Nagahira, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawad, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPLE
  
  巻: 8848 ページ: 88480S-88480S
- DOI
  10.1117/12.2022735
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00129, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Basic experiment on atmospheric-pressure plasma etching with slit aperture for high-efficiency dicing of SiC wafer2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Hiroaki Nishikawa, Kohei Aida, Chaiyapat Tangpatjaroen, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vol.740-742 ページ: 813-816
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.740-742.813
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] X-ray nanofocusing using a piezoelectric deformable mirror and at-wavelength metrology methods2013
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A
  
  巻: 710 ページ: 93-97
- DOI
  10.1016/j.nima.2012.11.059
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Planarization of SiC and GaN Wafers Using Polishing Technique Utilizing Catalyst Surface Reaction2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano et al.
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 2 号: 8 ページ: N3028-N3035
- DOI
  10.1149/2.007308jss
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020
[雑誌論文] Development of achromatic full-field x-ray microscopy with compact imaging mirror system2013
- 著者名/発表者名
  S. Matsuyama, Y. Emi, H. Kino, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 8851 ページ: 885107-885107
- DOI
  10.1117/12.2023152
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] A Bragg beam splitter for hard x-ray free-electron lasers2013
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 21 号: 3 ページ: 2823-2831
- DOI
  10.1364/oe.21.002823
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Thin crystal development and applications for hard x-ray free-electron lasers2013
- 著者名/発表者名
  Taito Osaka, Makina Yabashi, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Yuichi Inubushi, Takahiro Sato, Kanade Ogawa, Satoshi Matsuyama, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi.
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 8848 ページ: 884804-884804
- DOI
  10.1117/12.2023465
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J00898, KAKENHI-PROJECT-23226004
[雑誌論文] Cutting of SiC Wafer by Atmospheric-Pressure Plasma Etching with Wire Electrode2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Takehiro Kato, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Satoshi Matsuyama and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vol.717-720 ページ: 865-868
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.717-720.865
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon Carbide Wafer Using Flat-bar Electrode with Multiple Gas Nozzles2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Hiroaki Nishikawa, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama, and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.497 ページ: 160-164
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.497.160
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Back-side Thinning of Silicon Carbide Wafer by Plasma Etching using Atmospheric-pressure Plasma2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kohei Aida, Hiroaki Nishikawa, Kazuya Yamamura, Satoshi Matsuyama, and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vol.516 ページ: 108-112
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.516.108
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] One-dimensional sub-10-nm hard X-ray focusing using laterally graded multilayer mirror2011
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, H.Yumoto, D.Yamakawa, H.Yokoyama, S.Matsuyama, K.Inagaki, K.Yamamura, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi,T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth.A 616
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Thinning of 2-inch SiC Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining Using Cylindrical Rotary Electrode2011
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: 679-680 ページ: 481-484
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Breaking the 10 nm barrier in hard-X-ray focusing2010
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, H.Yumoto, D.Yamakawa, H.Yokoyama, S.Matsuyama, K.Inagaki, K.Yamamura, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi,T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nature Physics 6
  
  ページ: 122-125
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Extended knife-edge method for characterizing Sub-10-nm X-ray beams2010
- 著者名/発表者名
  S.Handa, H.Mimura, H.Yumoto, T.Kimura, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Nishino, M.Yabashi , T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth. 616
  
  ページ: 246-250
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Stitching angle measurable microscopic interferometer : surface-figure metrology tool for hard X-ray nanofocusing mirrors with large curvature2010
- 著者名/発表者名
  H.Yumoto, H.Mimura, S.Handa, T.Kimura, S.Matsuyama, Y.Sano, H.Ohashi, K.Yamauchi, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Meth. 616
  
  ページ: 203-206
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Thinning of SiC wafer by plasma chemical vaporization machining2010
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum 645-648
  
  ページ: 857-860
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[雑誌論文] Wavefield characterization of nearly diffraction-limited focused hard x-ray beam with size less than 10 nm2010
- 著者名/発表者名
  T.Kimura, H.Mimura, S.Handa, H.Yumoto, H.Yokoyam, S.Imai, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Tamasaku, Y.Kohmura, Y.Nishino, M.Yabashi, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Rev.Sci.Instrum. 81
  
  ページ: 123704-123704
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Beveling of Silicon Carbide Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining2009
- 著者名/発表者名
  T. Kato, Y. Sano, H. Hara, H. Mimura, K. Yamamura and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum Vols. 600-603
  
  ページ: 843-846
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Silicon Carbide2009
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, M. Watanabe, T. Kato, K. Yamamura, H. Mimura and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum Vols. 600-603
  
  ページ: 847-850
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] Trace element mapping of a single cell using a hard x-ray nanobeam focused by a Kirkpatrick-Baez mirror system2009
- 著者名/発表者名
  S. Matsuyama, M. Shimura, H. Mimura, M. Fujii, H. Yumoto, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  X-ray Spectrometry 38
  
  ページ: 89-94
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Silicon Carbide2009
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum 600-603
  
  ページ: 847-850
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] Direct determination of the wave field of an x-ray nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H.Yumoto, S.Matsuyama, S.Handa, T.Kimura, Y.Sano, M.Yabashi, Y.Nishino, K.Tamasaku, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Phys.Rev.A 77
  
  ページ: 15812-15812
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Highly accurate differential deposition for X-ray reflective optics2008
- 著者名/発表者名
  S. Handa, H. Mimura, H. Yumoto, T. Kimura, S. Matsuyama, Y. Sano and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Surface and Interface Analysis 40
  
  ページ: 1019-1022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Direct Determination of the Wave Field of an X-ray Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, S. Handa, T. Kimura, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Physical Review A 77(1)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror2007
- 著者名/発表者名
  H.Mimura, H.Yumoto, S.Matsuyama, Y.Sano, K.Yamamura, Y.Mori, M.Yabashi, Y.Nishino, K.Tamasaku, T.Ishikawa, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Lett. vol.90
  
  ページ: 51903-51903
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[雑誌論文] Polishing Characteristics of 4H-SiC Si-Face and C-Face by Plasma Chemical Vaporization Machining2007
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, M. Watanabe, K. Yamamura, K. Yamauchi, T. Ishida, K. Arima, A. Kubota, and Y. Mori
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum Vols. 556-557
  
  ページ: 757-760
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] A New Designed Ultra-high Precision Profiler - Study on Slope Error Measurement of a Mandrel for Wolter type-I mirror Fabrication -2006
- 著者名/発表者名
  Yasuo.HIGASHI^<*a>.Yuichi.TAKAIE^b, Katsuyoshi.ENDO^b, Tatsuya.KUME^a, Kazuhiro.ENAMI^a, Kazuto.YAMAUCHI^c, Kazuya.YAMAMURA^c, Toshihisa.SANO^c, Kenji.UENO^a, Yuzo.MORI^c
- 雑誌名
  
  Proc.Of the 8^<th> International Conference on X-ray Microscopy ; 26-30, July, at Egret Himeji 2006.6月発行(In printing)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360073
[雑誌論文] A New Designed Ultra-high Precision Profiler2006
- 著者名/発表者名
  Y.HIGASHI^a, Y.TAKAIE^b, K.ENDO^b, T.KUME^a, K.ENAMI^a, K.YAMAUCHI^c, K.YAMAMURA^c, H.SANO^c, K.UENO^a, Y.MORI^c
- 雑誌名
  
  Proc of SPIE : Advances in Mirror Technology for X-ray, EUV Lithography, laser, and Other Applications, 3 August 2005, Sandiego, CA, USA Vol.# 5921(In printing)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360073
[雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics -Calibration of the rotational angle error of the rotary encoders-2006
- 著者名/発表者名
  Yasuo Higashi, Yuichi Takaie, Katsuyoshi Endo, Tatsuya Kume, Kazuhiro Enami, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kenii Ueno, Yuzo mori
- 雑誌名
  
  SR12006, Proc. of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA (In printing)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360073
[雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2006
- 著者名/発表者名
  Yasuo Higashi, Yuichi Takaie, Katsuyoshi Endo, Tatsuya Kume, Kazuhiro Enami, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kenii Ueno, Yuzo mori
- 雑誌名
  
  SR12006, Proc. of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA (In printing)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360073
[雑誌論文] Polishing characteristics of silicon carbide by plasma chemical vaporization machining2006
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, M. Watanabe, K. Yamamura, K. Yamauchi, T. Ishida, K. Arima, A. Kubota and Y. Mori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45
  
  ページ: 8277-8280
- NAID
  10018339543
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[雑誌論文] At-wavelength figure metrology of hard x-ray focusing mirrors2006
- 著者名/発表者名
  H. Yumoto, H. Mimura, S. Matsuyama, S. Handa, Y. Sano, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments 77
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18002009
[産業財産権] 「プラズマ融合CMP」「plasma fusion CMP」2016
- 発明者名
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、不二越機械工業、並木精密宝石
- 権利者名
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、不二越機械工業、並木精密宝石
- 産業財産権種類
  実用新案
- 出願年月日
  2016-03-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[産業財産権] 加工方法及び該方法を用いる複合加工装置並びに該方法または該装置により加工された加工物2014
- 発明者名
  佐野, 土肥, 黒河、會田, 大山, 宮下
- 権利者名
  佐野, 土肥, 黒河、會田, 大山, 宮下
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2014-02-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[産業財産権] 加工方法及び該方法を用いる複合加工装置並びに該方法または該装置により加工された加工物2014
- 発明者名
  土肥、佐野、宮下、曾田、大山
- 権利者名
  土肥、佐野、宮下、曾田、大山
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2014-02-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[産業財産権] 半導体ウエハ外周部の加工方法及びその装置2007
- 発明者名
  佐野泰久, 山村和也, 原英之, 加藤武寛
- 権利者名
  大阪大学
- 公開番号
  2009-043969
- 出願年月日
  2007
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] 硬X線領域におけるバックグラウンドフリー強度自己相関法の実証2022
- 著者名/発表者名
  大坂泰斗，井上伊知郎，山田純平，犬伏雄一，登野健介，松村正太郎，中野勝太，小笠原伊織，佐野泰久，山内和人，玉作賢治，矢橋牧名
- 学会等名
  第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Development of hard X-ray sub-5-nm focusing system with an adaptive multilayer focusing mirror2022
- 著者名/発表者名
  T. Inoue, S. Matsuyama, Y. Tanaka, Y. Ichii, J. Yamada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発2022
- 著者名/発表者名
  井上陽登，松山智至，田中優人，伊藤篤輝，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発（第２報）差分成膜を組み合わせたハイブリッド波面修正2021
- 著者名/発表者名
  井上陽登，松山智至，田中優人，二村浩平，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Optimization of mirror deformation strategy using mechanical and piezoelectric bending system2021
- 著者名/発表者名
  T. Inoue, Y. Nishioka, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, L. Assoufid, K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] X線ミラーを用いたsub-5nm集光システムの開発2021
- 著者名/発表者名
  井上陽登，松山智至，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製2021
- 著者名/発表者名
  藤大雪，Bui Van Pho，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5nm集光システムの開発2021
- 著者名/発表者名
  井上陽登，松山智至，田中優人，二村浩平，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 凹・凸面形状可変ミラーを組み合わせたX線アダプティブ集光光学系の開発2020
- 著者名/発表者名
  山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of X-ray adaptive focusing optics with four mirrors deformable between concave and convex shapes2020
- 著者名/発表者名
  Y. Nishioka, H. Yamaguchi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 学会等名
  5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Adaptive x-ray zoom condenser system based on concave and convex mirrors2020
- 著者名/発表者名
  Y. Nishioka, H. Yamaguchi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, L. Assoufid, K. Yamauchi
- 学会等名
  5th International Conference on X-ray Optics and Applications 2020
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 凹面・凸面形状可変ミラーを組み合わせたX線アダプティブ光学系の開発2020
- 著者名/発表者名
  西岡柚香，山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of adaptive X-ray focusing system consisting of concave mirror and convex mirror2019
- 著者名/発表者名
  H. Yamaguchi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  XOPT2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 凹・凸面形状可変ミラーを組み合わせたX線ズームコンデンサの開発2019
- 著者名/発表者名
  山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Reflective imaging device using concave-convex mirrors for compact full-field X-ray microscope2019
- 著者名/発表者名
  T. Hagiwara, J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano, R. Hirose, Y. Takeda, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  XOPT2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of X-ray adaptive focusing optical system based on the combination of concave mirror and convex mirror2019
- 著者名/発表者名
  H.Yamaguchi, S.Matsuyama, J.Sonoyama, K.Akiyama, H.Nakamori, Y.Sano, Y.Kohmura, M.Yabashi, T.Ishikawa, and K.Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 圧電単結晶を用いた形状可変ミラーの開発2018
- 著者名/発表者名
  林宏樹，後藤拓実，松山智至，山口浩之，中森紘基，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価2018
- 著者名/発表者名
  萩原拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 形状可変ミラーを用いたコンパクトなX線ズームコンデンサの開発2018
- 著者名/発表者名
  山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 多層膜結像ミラー光学系による高空間分解能なX線顕微鏡の開発2018
- 著者名/発表者名
  波多健太郎，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on bimorph and mechanical bending2018
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 6th International Workshop on X-ray Optics and Metrology Satellite Meeting of SRI 2018 (IWXM 2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線アダプティブ集光システムによる2次元集光ビームの形成2018
- 著者名/発表者名
  山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 機械曲げ機構と圧電バイモルフミラーによるハイブリッド型形状可変ミラー開発2018
- 著者名/発表者名
  山口浩之，後藤拓実，松山智至，林宏樹，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 機械曲げ機構と圧電バイモルフミラーを組み合わせたハイブリッド型X線アダプティブ集光システムの開発2018
- 著者名/発表者名
  山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2018年度関西地方定期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 圧電駆動型ミラーと機械曲げ機構を組み合わせたアダプティブ集光システムによるX線集光ビームの形成2018
- 著者名/発表者名
  後藤拓実．松山智至，林宏樹，山口浩之，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 硬X線集光用形状可変ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発2018
- 著者名/発表者名
  山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価―タイコグラフィを用いたシングルグレーチング干渉計のクロスチェック―2018
- 著者名/発表者名
  萩原　拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on mechanical and piezoelectric bending2018
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, H. Yamaguchi, J. Sonoyama, K. Akiyama, Y. Sano, Y, Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of hybrid X-ray adaptive optical system based on piezo-driven deformable mirror and a mechanical mirror bender2018
- 著者名/発表者名
  H. Yamaguchi, T. Goto, H. Hayashi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 13th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of adaptive X-ray focusing system based on a combination of a piezoelectric bimorph mirror and a mechanical mirror bender2018
- 著者名/発表者名
  H. Yamaguchi, T. Goto, H. Hayashi, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018) in OPIC2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of concave-convex imaging mirror system for a compact and achromatic full-field x-ray microscope2017
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] High-magnification X-ray imaging mirror system consisting of elliptical concave and hyperbolic convex mirrors2017
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Measuring Temporal Profile of Femtosecond X-Ray Pulses with a Hard X-Ray Split-and-Delay Optical System at SACLA2017
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, T. Hirano, Y. Morioka, Y. Sano, Y. Inubushi, T. Togashi, I. Inoue, K. Tono, S. Matsuyama, K. Yamauchi, and M. Yabashi
- 学会等名
  International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of hybrid adaptive x-ray focusing system based on piezoelectric bimorph mirror and mirror bender2017
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of an adaptive x-ray focusing system based on the combination of piezoelectric bimorph mirror and mirror bender2017
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Hayashi, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] バイモルフ型形状可変ミラーのための低ドリフト制御プロセスの開発2017
- 著者名/発表者名
  林宏樹，後藤拓実，山口浩之，中森紘基，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Achromatic and High-Resolution Full-Field X-ray Microscope and its Applicaiton2017
- 著者名/発表者名
  S. Matsuyama, J. Yamada, S. Yasuda, Y. Kohmura, H. Okadam, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International conference on X-ray optics and applications 2017 (XOPT'17) in OPIC2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 4枚の形状可変ミラーを用いたアダプティブX線光学系による硬X線コリメート光の形成2017
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，松山智至，林宏樹，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Development of an X-ray imaging optical system consisting of concave and convex mirrors2017
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 24th Congress of the International Comission for Optics, X-ray and High-energy Optics
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線集光用システムの開発2017
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，松山智至，林宏樹，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] ビームサイズ可変X線集光光学系の開発－形状可変ミラーの形状制御プロセスの改良－2017
- 著者名/発表者名
  林宏樹，後藤拓実，中森紘基，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Fabrication of X-ray imaging mirror for an achromatic and high-resolution full-field X-ray microscope2017
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, S. Yasuda, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 32nd Annual Meeting of American Society for Precision Engineering (ASPE2017)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] High-resolution imaging XAFS using advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics2016
- 著者名/発表者名
  S. Yasuda, S. Matsuyama, H. Okada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] A Two-stage Adaptive X-ray Focusing System using Four Piezoelectric Deformable Mirrors2016
- 著者名/発表者名
  T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, H. Hayashi, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  13th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2016)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第11報）－B-Type装置によるGaN基板加工特性とその加工メカニズム-2016
- 著者名/発表者名
  大山幸希、土肥俊郎、西澤秀明、會田英雄、佐野泰久、黒河周平山崎直
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Achromatic and high-resolution full-field X-ray microscopy based on four total-reflection mirrors2016
- 著者名/発表者名
  S.Matsuyama, S. Yashuda, H. Okada, Y. Kohmura, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第10報）－基本型装置（A型）によるダイヤモンドの加工－2016
- 著者名/発表者名
  佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 大山幸希, 宮下忠一, 住澤春男, 宮崎俊亘, 山内和人
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 二段アダプティブKBミラー光学系を用いた硬X線平行ビームの形成2016
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，中森紘基，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  千葉，東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的プラズマ融合CMP技術の提案とDiamond基板の加工2016
- 著者名/発表者名
  西澤秀明、土肥俊郎、會田英雄、黒河周平、佐野泰久
- 学会等名
  第31回精密加工ﾌﾟﾛｾｽ研究会
- 発表場所
  リファレンス駅東ビル（福岡）
- 年月日
  2016-02-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 形状可変ミラーによる二段 KB ミラー集光光学系を用いた任意サイズ硬 X 線集光ビームの形成2016
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，中森紘基，松山智至，木村隆志，Krishna Prasad Khakurel，佐野泰久，香村芳樹，西野吉則，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  千葉，東京大学柏の葉キャンパス
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第12報）－B-Type装置によるダイヤモンド基板とその加工メカニズム-2016
- 著者名/発表者名
  西澤秀明、土肥俊郎、大山幸希、會田英雄、佐野泰久、黒河周平、金聖祐
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 二段アダプティブ KB ミラー光学系を用いた任意サイズの硬 X 線ビームの形成2016
- 著者名/発表者名
  林宏樹，後藤拓実，松山智至，佐野泰久，山内和人，中森紘基，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也
- 学会等名
  2016年度関西地方定期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] 先端的難加工基板の高能率精密加工法の研究（第6報）-ｆｓレーザ照射による疑似ラジカルば形成基板表面のCMP研磨特性-2016
- 著者名/発表者名
  黒河周平、王成武、土肥俊郎、佐野泰久、會田英雄、大山幸希
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of an x-ray adaptive optical system using four deformable mirrors for focusing and collimating2016
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, H. Hayashi, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Kohmura, Y. Sano, M. Yabashi, T. Ishikawa, Y. Nishino, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2016
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] High-resolution imaging XAFS using advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics2016
- 著者名/発表者名
  S. Yasuda, S. Matsuyama, H. Okada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016
- 発表場所
  Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japan
- 年月日
  2016-05-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H02307
[学会発表] 一次元結像ミラーを用いた色収差のない結像型Ｘ線顕微鏡の開発2016
- 著者名/発表者名
  安田周平，松山智至，岡田浩巳，青野信也，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  千葉，東京大学柏の葉キャンパス
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of an x-ray imaging optical system based on a combination of concave and convex mirrors2016
- 著者名/発表者名
  S. Matsuyama, J. Yamada, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2016
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] A variable-numerical-aperture x-ray focusing system using a two-stage adaptive Kirkpatrick-Baez mirrors based on piezo electric deformable mirrors2016
- 著者名/発表者名
  H. Hayashi, T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] Size-controllable X-ray beam collimation using a two-stage adaptive Kirkpatrick-Baez mirror system based on piezoelectric deformable mirrors2016
- 著者名/発表者名
  T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, H. Hayashi, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06358
[学会発表] XFEL 用分割・遅延光学系の開発　－波面分割型ビームスプリッタの検討－2016
- 著者名/発表者名
  平野嵩，大坂泰斗，佐野泰久，犬伏雄一，松山智至，登野健介，石川哲也，山内和人，矢橋牧名
- 学会等名
  第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  千葉，東京大学柏の葉キャンパス
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] XFEL 用分割・遅延光学系の開発　－SACLA における性能評価－2016
- 著者名/発表者名
  大坂泰斗，平野嵩，犬伏雄一，佐野泰久，松山智至，登野健介，石川哲也，山内和人，矢橋牧名
- 学会等名
  第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  千葉，東京大学柏の葉キャンパス
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] High-efficiency planarization method for hard-to-machine semiconductor substrates combining mechanical polishing and atmospheric-pressure plasma etching2015
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kousuke Shiozawa, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Tadakazu Miyashita, and Kazuto Yamauchi
- 学会等名
  2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment
- 発表場所
  神戸国際会議場
- 年月日
  2015-06-14
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型X線顕微鏡の開発2015
- 著者名/発表者名
  安田周平，松山智至，木野英俊，岡田浩巳，青野真也，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  宮城，東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 結晶光学素子に基づくX線分割・遅延光学系の開発―集光光学系併用時の空間的重複の実現―2015
- 著者名/発表者名
  大坂泰斗，平野嵩，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] X線ミラー作製のためのビーム偏向制御を用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発2015
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによる SiC 基板の高能率加工, 田尻光毅2015
- 著者名/発表者名
  田尻光毅，井上裕貴，佐野泰久，松山智至，山内和人
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発2015
- 著者名/発表者名
  安田周平，松山智至，木野英俊，岡田浩巳，青野真也，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 静電偏向制御を用いたイオンビーム加工法による X 線全反射ミラーの作製2015
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都，京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス
- 年月日
  2015-06-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的 “Plasma fusion CMP装置”の設計・試作(第9報) －ダイヤモンド単結晶基板の加工特性－2015
- 著者名/発表者名
  西澤秀明，大山幸希，土肥俊郎，曾田英雄，金　聖祐，佐野泰久，黒河周平，王　成武
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化膜厚制御の精度向上2015
- 著者名/発表者名
  栗生賢，武居弘泰，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of split-delay optics with wide range of photon energy for XFEL pump/XFEL probe experiments2015
- 著者名/発表者名
  T. Hirano, T. Osaka, Y. Inubushi, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, K. Kazuto and M. Yabashi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2015
- 発表場所
  San Diego, CA, US
- 年月日
  2015-08-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 形状可変ミラーによる二段集光光学系の開発2015
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，中森紘基，松山智至，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of Split-delay Optics for Capturing femtosecond-scale Dynamics with Hard X-ray Lasers2015
- 著者名/発表者名
  T. Hirano, T. Osaka, Y. Sano, Y. Inubushi, S. Matsuyama, K. Tono, T. Ishikawa, K. Yamauchi and M. Yabashi
- 学会等名
  The 2nd International Symposium of Interactive Materials Science Cadet Program
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2015-11-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第8報） -基本型装置（A型）によるダイヤモンド加工の基礎検討-2015
- 著者名/発表者名
  佐野泰久，塩澤昂祐，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大山幸希，宮下忠一，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Fabrication of X-ray mirror with a shape accuracy of 1 nm using ion beam figuring system with electrostatic deflection2015
- 著者名/発表者名
  J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Sano and K. Yamauchi
- 学会等名
  6th International Conference on Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015)
- 発表場所
  Harbin, P. R. China
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 1次元Wolterミラー（Monolithic型）を用いた色収差のない結像型X線顕微鏡の開発2015
- 著者名/発表者名
  木野英俊，松山智至，岡田浩巳，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，津村尚史，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] XFEL用オートコリレータの開発；幾何・波動光学計算に基づくアライメント手法の検討2015
- 著者名/発表者名
  平野嵩，大坂泰斗，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Damage-induced increase of removal rate of atmospheric-pressure plasma etching of diamond substrate2015
- 著者名/発表者名
  Y.Sano, K. Shiozawa, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, K. Oyama, T. Miyashita, H. Sumizawa, K. Yamauchi
- 学会等名
  The 9th International Conference on New Diamonds and Nano Carbons 2015
- 発表場所
  静岡県コンベンションアーツセンター
- 年月日
  2015-05-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Consideration of Femtosecond laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- 著者名/発表者名
  Syuhei Kurokawa, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama, Terutake Hayashi, Ji Zhang, Asakawa Eiji
- 学会等名
  2015 ASR Bali Conferences(ICMMT2015/ICRE2015/ICLB2015)
- 発表場所
  Bali, Indonesia
- 年月日
  2015-05-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] XFEL用オートコリレータの開発； KBミラー光学系併用時の空間的重複の実現2015
- 著者名/発表者名
  大坂泰斗，平野嵩，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] サブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングによる2インチSiC基板の高能率加工2015
- 著者名/発表者名
  田尻光毅，岡田悠，佐野泰久，松山智至，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス
- 年月日
  2015-06-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化特性2015
- 著者名/発表者名
  武居弘泰，栗生賢，松山智至，山内和人，佐野泰久
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] X-ray mirror surface metrology using optical and at-wavelength techniques for hard XFEL single-nanometer focusing2015
- 著者名/発表者名
  J. Kim, A. Nagahira, A. Nishikawa, S. Matsuyama, H. Yumoto, Y. Senba, T. Koyama, Y. Sano, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 12th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2015)
- 発表場所
  New York, US
- 年月日
  2015-07-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] モノリシックな一次元 Wolter mirror を用いた結像型Ｘ線顕微鏡の開発2015
- 著者名/発表者名
  安田周平，松山智至，木野英俊，岡田浩巳，青野真也，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都，京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス
- 年月日
  2015-06-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Demonstration of Feasibility of X-ray Pump-X-ray Probe Experiments Using Hard X-ray Split-and-Delay Optics Combined with Focusing Mirrors2015
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, T. Hirano, Y. Inubushi, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Tono, T. Katayama, T. Ishikawa, K. Yamauchi and M. Yabashi
- 学会等名
  The 12th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2015)
- 発表場所
  New York, US
- 年月日
  2015-07-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of an adaptive K-B mirror for hard x-ray nanofocusing using piezoelectric deformable mirrors2015
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Kimura, S. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2015
- 発表場所
  San Diego, CA, US
- 年月日
  2015-08-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of a full-field X-ray microscope with two monolithic imaging mirrors2015
- 著者名/発表者名
  S. Yaduda, S. Matsuyama, H. Okada, S. Aono, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 13th Symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-11-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of a two-stage adaptive X-ray focusing system using piezoelectric deformable mirrors2015
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, T. Goto, S. Matsuyama, T. Kimura, Y. Sano, H. Okada, S. Aono, S. Shiroma, A. Ueda, T. Tsumura, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Workshop on X-Ray Optics and Metrology (IWXM2015)
- 発表場所
  Berkeley, CA, US
- 年月日
  2015-07-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] X線集光ミラー形状測定のための姿勢補正機構を有する三次元測定機の開発2015
- 著者名/発表者名
  金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Sub-10 nm集光用X線ミラーのための高精度形状計測装置の開発2015
- 著者名/発表者名
  金章雨，長平良綾香，西原明彦，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 硬X線自由電子レーザー用分割・遅延光学系の開発（第3報） -SACLAにおける性能評価-2015
- 著者名/発表者名
  平野嵩，大坂泰斗，佐野泰久，犬伏雄一，松山智至，登野健介，石川哲也，山内和人，矢橋牧名
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  宮城，東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Optimization of Machining Conditions of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing Using SiC Substrate2015
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Kousuke Shiozawa, Toshiro Doi, Syuhei kurokawa, Hideo Aida, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Haruo Sumizawa, Kazuto Yamauchi
- 学会等名
  2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2015)
- 発表場所
  アリゾナ（米国）
- 年月日
  2015-09-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率加工2015
- 著者名/発表者名
  田尻光毅，井上裕貴，佐野泰久，松山智至，山内和人
- 学会等名
  応用物理学会先進パワー半導体分科会第2回講演会
- 発表場所
  大阪国際交流センター
- 年月日
  2015-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法によるSiCおよびGaN基板の平坦化2015
- 著者名/発表者名
  佐野泰久, 有馬健太, 山内和人
- 学会等名
  表面技術協会第132回講演大会
- 発表場所
  信州大学長野キャンパス
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 形状可変ミラーを用いた二段Kirkpatrick-Baezミラー集光光学系による硬X線集光ビームの形成 -開口数制御による任意集光ビーム径の実現-2015
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，中森紘基，松山智至，木村隆志，Khakurel Krishna，佐野泰久，香村芳樹，西野吉則，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  宮城，東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発2015
- 著者名/発表者名
  後藤拓実，中森紘基，松山智至，木村隆志，Khakurel Krishna，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，西野吉則，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] XFEL用集光ミラー用Pt/C多層膜の性能評価2015
- 著者名/発表者名
  長平良綾香，金章雨，小山貴久，松山智至，西原明彦，湯本博勝，佐野泰久，大橋治彦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  滋賀，立命館大学BKC
- 年月日
  2015-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of a two-stage adaptive Kirkpatrick-Baez mirror system for hard x-ray focusing using piezoelectric deformable mirrors2015
- 著者名/発表者名
  T. Goto, H. Nakamori, S. Matsuyama, T. Kimura, K. P. Khakurel, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, Y. Nishino, T. Ishikawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 13th Symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-11-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第7報）―静電偏向制御による非球面形状の作製と評価―2015
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 次世代半導体基板のダメージフリー加工法2014
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  第33回電子材料シンポジウム(EMS-33)
- 発表場所
  ラフォーレ修善寺（静岡県伊豆市）
- 年月日
  2014-07-09
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of the innovative CMP/P-CVM combined apparatus (basic type)2014
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, T. Miyashita, H. Sumizawa and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on Planarization/CMP Technology 2014 (ICPT2014)
- 発表場所
  神戸国際会議場（兵庫）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Accumulation of C Atoms at SiO2/SiC Interface by Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) at Room Temperature: Toward Formation of PIt-Free Graphene2014
- 著者名/発表者名
  Kenta Arima, Naoki Saito, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano and Mizuho Morita
- 学会等名
  2014 MRS Spring Meeting & Exhibit
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2014-04-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101
[学会発表] Fabrication of Gallium Nitride Substrate with Novel Approaches –Internally Focused Laser Processing for Crystal Growth and Advanced CMP for Wafering–2014
- 著者名/発表者名
  H. AIDA, T. DOI, H. TAKEDA, K. KOYAMA, S. KUROKAWA, Y. SANO
- 学会等名
  EMN Spring 2014
- 発表場所
  Hotel. red rock(米国・ラスベガス）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of split-delay x-ray optics using Si(220) crystals at SACLA2014
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, T. Hirano, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, K. Ogawa, S. Matsuyama, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2014
- 発表場所
  San Diego, CA, US
- 年月日
  2014-08-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of Autocorrelator for Hard X-ray Free-Electron Laser2014
- 著者名/発表者名
  T. Hirano, T. Osaka, Y. Inubushi, M. Yabashi, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Tono, K. Ogawa, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 1st International Symposium on Interactive Materials Science Cadet Program
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2014-11-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 位相回折格子を用いたX線レーザナノビームの波面計測法の研究―フーリエ変換法と縞走査法の2つの解析法の検討―2014
- 著者名/発表者名
  西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪，近畿大学東大阪キャンパス
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of a two-stage x-ray focusing system with ultraprecise deformable mirrors2014
- 著者名/発表者名
  T. Goto, S. Matsuyama, H. Nakamori, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2014
- 発表場所
  San Diego, CA, US
- 年月日
  2014-08-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―アライメント手法の検討―2014
- 著者名/発表者名
  平野嵩，大坂泰斗，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学，鳥取
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 加工変質層を残さない超精密加工法2014
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  精密工学会第365回講習会
- 発表場所
  東京理科大学（東京）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 位相回折格子を用いたX線レーザーナノビームの高精度波面計測2014
- 著者名/発表者名
  西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学，鳥取
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Behaviors of Carbon Atoms during Plasma Oxidation of 4H-SiC(0001) Surfaces near Room Temperature2014
- 著者名/発表者名
  Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, and Kenta Arima
- 学会等名
  226th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Cancun, Mexico
- 年月日
  2014-10-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101
[学会発表] X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発2014
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪，近畿大学東大阪キャンパス
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第6報）～静電偏向制御による数値制御加工～2014
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学，鳥取
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第1報）―装置化の基本のコンセプトと試作装置―2014
- 著者名/発表者名
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、曾田英雄
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of high-precision figure measurement system for x-ray optics using laser focus microscope2014
- 著者名/発表者名
  J. Kim, S. Matsuyama, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics2014
- 発表場所
  San Diego, CA, US
- 年月日
  2014-08-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Combination of Plasma Oxidation and Wet Etching to Create Monolayer-scale C Source for Pit-free Graphene on SiC Surfaces2014
- 著者名/発表者名
  Kenta Arima, Naoki Saito, Daichi Mori, Kentaro Kawai, Mizuho Morita and Yasuhisa Sano
- 学会等名
  Collaborative Conference on 3D&Materials Research 2014
- 発表場所
  Incheon/Seoul, South Korea
- 年月日
  2014-06-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作－基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性－2014
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐, 佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 宮下忠一, 住澤春男, 山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action2014
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O.Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  石川県政記念しいのき迎賓館（石川）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―χ軸回転に対する許容角度誤差の検討―2014
- 著者名/発表者名
  平野嵩，大坂泰斗，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪，近畿大学東大阪キャンパス
- 年月日
  2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Formation of Graphene with Reduced Pits on SiC(0001) Assisted by Plasma Oxidation and Wet Etching2014
- 著者名/発表者名
  Daichi Mori, Naoki Saito, Akito Imafuku, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7)
- 発表場所
  Shimane Prefectural Convention Center (Shimane, Matsue)
- 年月日
  2014-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656101
[学会発表] Development of Hard X-Ray Split-Delay Optics Based on Si(220) Crystals2014
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, T. Hirano, Y. Inubushi, M. Yabashi, Y. Sano, S. Matsuyama, K. Tono, T. Sato, K. Ogawa, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  JSAP-OSA Joint Symposia 2014
- 発表場所
  Hokkaido University, Hokkaido, Japan
- 年月日
  2014-09-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, H. Nishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
- 発表場所
  Howard Civil International Centre(台湾）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 革新的CMP／P-CVM 融合加工法の提案とその加工特性－ワイドギャップ結晶材料の高効率加工へのブレークスルー－2014
- 著者名/発表者名
  大山幸希, 土肥俊郎, 佐野泰久, 會田英雄,黒河周平, 金聖祐, 宮下忠一
- 学会等名
  日本機械学会2014 年度年次大会
- 発表場所
  東京電機大学（東京都）
- 年月日
  2014-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Diamond Substrate Planarization Polishing Technique2013
- 著者名/発表者名
  K. OYAMA, T. DOI, H. AIDA, S. KUROKAWA, Y.SANO, H. TAKEDA, K. KOYAMA, T. YAMAZAKI, and K. TAKAHASHI
- 学会等名
  International Conference on Planarization/CMP Technology
- 発表場所
  Ambassador Hotel (台湾）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Advanced high efficient precision processing method based on the III-N semiconductor processing-A proposal of a process with new concepts for hard-to-process crystal wafers2013
- 著者名/発表者名
  T. Doi, Y. Sano, S. Kurokawa, H. Aida
- 学会等名
  WUPP for III-Nitride 2013
- 発表場所
  The BEST WESTERN PLUS(米国）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Dicing of SiC Wafer by Atmospheric-Pressure Plasma Etching Process with Slit Mask for Plasma Confinement2013
- 著者名/発表者名
  Y. Sano
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2013 (ICSCRM2013)
- 発表場所
  Seagaia Convention Center (宮崎市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] 硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪，大阪工業大学
- 年月日
  2013-06-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第4報）－加工変質層の断面TEM による評価とそのPCVM加工特性－2013
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐, 佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 大西修, 畝田道雄, 岡田悠, 山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Formation and Evaluation of Quasi-radical Site Induced by Femtosecond Laser on the Surface of Diamond2013
- 著者名/発表者名
  C. WANG, S. KUROKAWA, S. KOMAI, H. AIDA, K. OYAMA, K. TAKAHASHI, Y. SANO, K. TSUKAMOTO, and Toshiro DOI
- 学会等名
  the 13th International Symposium on Aerospace Technology
- 発表場所
  サンポートホール高松（香川）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] スリット電極を用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining)による2インチSiC基板の裏面薄化2013
- 著者名/発表者名
  岡田悠、西川央明、佐野泰久、山村和也、松山智至、山内和人
- 学会等名
  SiC及び関連半導体研究　第22回講演会
- 発表場所
  埼玉会館（さいたま市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] 硬X線ナノ集光ミラー用Pt/C多層膜の作製と評価2013
- 著者名/発表者名
  金章雨，長平良綾香，松山智至，福井亮介，西原明彦，小山貴久，湯本博勝，佐野泰久，矢橋牧名，大橋治彦，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  X線ナノ集光技術研究会2013
- 発表場所
  大阪，中ノ島センター
- 年月日
  2013-11-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC 基板の全面加工2013
- 著者名/発表者名
  岡田　悠、西川央明、佐野泰久、山村和也、松山智至、山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス（目黒区）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining) によるSiC基板の切断加工の検討2012
- 著者名/発表者名
  西川央明、佐野泰久、会田浩平、岡田　悠、山村和也、松山智至、山内和人
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学戸畑キャンパス（北九州市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の薄化－スリット電極の検討－2012
- 著者名/発表者名
  西川央明、佐野泰久、会田浩平、岡田悠、山村和也、松山智至、山内和人
- 学会等名
  SiC 及び関連ワイドギャップ半導体研究会第21 回講演会
- 発表場所
  大阪市中央公会堂（大阪市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] 大気圧プラズマを用いたSiC及び関連材料の高能率無歪加工2012
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  学振「結晶加工と評価技術」第145委員会第132回研究会
- 発表場所
  明治大学(千代田区)
- 年月日
  2012-12-13
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Basic experiment on atmospheric-pressure plasma etching with slit aperture for high-efficiency dicing of SiC wafer2012
- 著者名/発表者名
  Y. Sano
- 学会等名
  9th European Conference on Silicon Carbide & Related Materials (ECSCRM2012)
- 発表場所
  Saint-Petersburg (Russia)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon Carbide Wafer Using Flat-bar Electrode with Multiple Gas Nozzles2011
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  The 8th CHINA-JAPAN Conference on Ultra-Precision Machining
- 発表場所
  Hangzhou, China
- 年月日
  2011-11-21
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Cutting of SiC Wafer by Atmospheric-Pressure Plasma Etching with Wire Electrode2011
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2011
- 発表場所
  Cleveland, USA
- 年月日
  2011-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Back-Side Thinning of Silicon Carbide Wafer by Plasma Etching using Atmospheric-Pressure Plasma2011
- 著者名/発表者名
  Y. Sano
- 学会等名
  4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Hong Kong, China
- 年月日
  2011-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Development of Chemical Processing Methods for Silicon Carbide Wafering and Device Processing2010
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Development of Chemical Processing Methods for Silicon Carbide Wafering and Device Processing2010
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-11-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Thinning of 2-inch SiC wafer by plasma chemical vaporization machining2010
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  The 8th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials
- 発表場所
  Oslo, Norway
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Dicing of SiC wafer by atmospheric-pressure plasma etching process with wire electrode2010
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  The 16th International Conference on Crystal Growth
- 発表場所
  Beijing, China
- 年月日
  2010-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Thinning of SiC wafer by plasma chemical vaporization machining2009
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009
- 発表場所
  Nurnberg, Germany
- 年月日
  2009-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Crystal machining using atmospheric pressure plasma2008
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, K. Yamamura, K. Yamauchi and Y. Mori
- 学会等名
  4th International Workshop on Crystal Growth Technology
- 発表場所
  Beatenberg, Switzerland
- 年月日
  2008-05-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討2008
- 著者名/発表者名
  会田浩平, 佐野泰久, 加藤武寛, 山村和也,三村秀和, 松山智至, 山内和人
- 学会等名
  応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第17回講演会予稿集
- 発表場所
  大田区
- 年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] SBDのI-V測定によるSiC加工表面の結晶性評価2008
- 著者名/発表者名
  白沢佑樹, 佐野泰久, 岡本武志, 山内和人
- 学会等名
  SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第17回講演会予稿集
- 発表場所
  大田区
- 年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の薄化2008
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 堀勉, 原英之, 山村和也, 三村秀和, 勝山義昭, 山内和人
- 学会等名
  2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会予稿集
- 発表場所
  船橋市
- 年月日
  2008-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討2008
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 会田浩平, 山村和也,三村秀和, 松山智至, 山内和人
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  春日井市
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Thinning of SiC wafers by Plasma Chemical Vaporization Machining2008
- 著者名/発表者名
  T. Kato, Y. Sano, T. Hori, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Katsuyama, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 4th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Plasma Chemical VaporizationMachiningを用いたSiC基板の薄化2008
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 会田浩平, 堀勉, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 勝山義昭, 山内和人
- 学会等名
  応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第17回講演会予稿集
- 発表場所
  大田区
- 年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Silicon Carbide2007
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, M. Watanabe, T. Kato, K. Yamamura, H. Mimura, and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007
- 発表場所
  大津市
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハのベベル加工2007
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 原英之, 三村秀和, 山村和也, 山内和人
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- 発表場所
  札幌市
- 年月日
  2007-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Beveling of Silicon Carbide Wafer by Plasma Chemical Vaporization Machining2007
- 著者名/発表者名
  T. Kato, Y. Sano, H. Hara, H. Mimura, K. Yamamura and K. Yamauchi
- 学会等名
  International Conference Silicon Carbide and Related Materials 2007 (ICSCRM2007)
- 発表場所
  大津市
- 年月日
  2007-10-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Temperature Dependence of Plasma Chemical Vaporization Machining of Silicon and Carbide2007
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  The International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007 (ICSCRM2007)
- 発表場所
  大津
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM ( Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハーのベベル加工の検討2007
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 三村秀和, 原英之, 山内和人
- 学会等名
  精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- 発表場所
  大東市
- 年月日
  2007-08-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハの薄化2007
- 著者名/発表者名
  加藤武寛, 佐野泰久, 堀勉, 原英之, 山村和也, 三村秀和, 勝山義昭, 山内和人
- 学会等名
  応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第16回講演会予稿集
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2007-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Polishing characteristics of 4H-SiC Si-face and C-face by plasma chemical vaporization machining2006
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, M. Watanabe, K. Yamamura, K. Yamauchi, T. Ishida, K. Arima, A. Kubota and Y. Mori
- 学会等名
  The 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM 2006)
- 発表場所
  Newcastle upon Tyne, UK
- 年月日
  2006-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686014
[学会発表] Thin crystal development and applications for hard x-ray free-electron lasers
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2013-08-26 – 2013-08-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Nanofocusing and single shot wavefront diagnosis of SACLA
- 著者名/発表者名
  K. Yamauchi, M. Yabashi, H. Mimura, H. Yumoto, T. Koyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Katayama, S. Matsuyama, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, W. Yashiro, T. Ohmori, S. Goto, H. Ohashi, A. Momose, and T. Ishikawa
- 学会等名
  SPIE Optics+Optelectronics
- 発表場所
  Clarion Congress Hotel, Prague, Czech
- 年月日
  2013-04-17 – 2013-04-18
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究
- 著者名/発表者名
  長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演
- 発表場所
  大阪，関西大学
- 年月日
  2013-09-12 – 2013-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Development of Basic-Type CMP/P-CVM Fusion Processing System (Type A) and Its Fundamental Characteristics
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, K. Oyama, T. Miyashita, H. Sumizawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  2014 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  神戸国際会議場（兵庫県神戸市）
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Innovation in Chemical Mechanical Polishing(CMP): Plasma Fusion CMP for Highly Efficient Processing of Next-Generation Optoelectronics Single Crystals
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Seong Woo Kim, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Michio Uneda, Osamu Ohnishi, Chengwu Wang
- 学会等名
  The 8th Manufacturing Institute for Research on Advanced Initiatives
- 発表場所
  Taiwan
- 年月日
  2015-03-25 – 2015-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢（石川県金沢市）
- 年月日
  2014-07-22 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Fabrication of Thin Si Crystal for X-Ray Beam Splitter
- 著者名/発表者名
  T. Osaka, M. Yabashi, Y. Sano, K. Tono, Y. Inubushi, T. Sato, S. Matsuyama, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  28th The American Society for Precision Engineering Annual Meeting
- 発表場所
  St. Paul, USA
- 年月日
  2013-10-20 – 2013-10-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] チェス盤回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測
- 著者名/発表者名
  西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  大阪，中ノ島センター
- 年月日
  2014-01-11 – 2014-01-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的plasma fusion CMP装置の設計・試作（第7報）― plasma fusion CMP装置”（B型）による加工メカニズムの検討―
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐，平岡佑太，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大山幸希，宮下忠一，住澤春男，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス（東京都文京区）
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の薄化―加工速度の向上を目的とした電極の開発
- 著者名/発表者名
  岡田悠，田尻光毅，佐野泰久，松山智至，山内和人
- 学会等名
  応用物理学会先進パワー半導体分科会　第１回講演会
- 発表場所
  ウインクあいち（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第2報）－疑似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大－
- 著者名/発表者名
  佐野泰久、土肥俊郎、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄、岡田悠、西川央明、山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] X線自由電子レーザーを用いた硬X線集光用Pt/C多層膜の特性評価
- 著者名/発表者名
  金章雨，長平良綾香，小山貴久，湯本博勝，松山智至，佐野泰久，矢橋牧名，大橋治彦，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演
- 発表場所
  大阪，関西大学
- 年月日
  2013-09-12 – 2013-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 二次元位相回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測
- 著者名/発表者名
  西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京，東京大学
- 年月日
  2014-03-18 – 2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC 基板の裏面薄化
- 著者名/発表者名
  岡田　悠、西川央明、佐野泰久、山村和也、松山智至、山内和人
- 学会等名
  精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪工業大学大宮キャンパス（大阪市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] Study on a novel CMP/P-CVM fusion processing system(Type B) and its basic characteristics
- 著者名/発表者名
  Koki Oyama, Toshiro K. Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Tadakazu Miyashita, Seongwoo Kim, Hideakli Nishizawa, Tsutomu Yamazaki
- 学会等名
  2014 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014)
- 発表場所
  神戸国際会議場（兵庫県神戸市）
- 年月日
  2014-11-19 – 2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 大気圧プラズマを用いたSiC及び関連材料の高能率無歪加工
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  学振「結晶加工と評価技術」第145委員会第132回研究会
- 発表場所
  明治大学駿河台キャンパス（千代田区）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21246027
[学会発表] 大気圧プラズマを用いたSiC及び関連材料の高能率無歪加工
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会第132回研究会
- 発表場所
  明治大学
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] FEL用オートコリレータの開発；チャネルカット結晶内壁部の無歪み・平滑化
- 著者名/発表者名
  大坂泰斗，平野嵩，矢橋牧名，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，小川奏，松山智至，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  大阪，中ノ島センター
- 年月日
  2014-01-11 – 2014-01-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Damage characteristics of platinum/carbon multilayers under focused x-ray free-electron laser irradiation
- 著者名/発表者名
  J. Kim, T. Koyama, H. Yumoto, A. Nagahira, S. Matsuyama, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2013-08-26 – 2013-08-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] SiC・GaN基板の新しい加工技術
- 著者名/発表者名
  佐野泰久
- 学会等名
  名古屋大学グリーンモビリティ連携研究センター第８回次世代自動車公開シンポジウム
- 発表場所
  ポートメッセなごや
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of ultra-precise piezoelectric deformable mirrors for x-ray nanofocusing
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, S. Matsuyama, S. Imai, T. Goto, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2013-08-26 – 2013-08-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC 基板の全面加工
- 著者名/発表者名
  岡田悠・西川央明・佐野泰久・山村和也・松山智至・山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第4報）；A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大山幸希，宮下忠一，山内和人
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学（鳥取県）
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Development of one-dimensional Wolter Mirror figured on a single substrate for full-field X-ray microscopy
- 著者名/発表者名
  H. Kino, S. Matsuyama, Y. Emi, H. Okada, Y. Sano, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2013-10-18 – 2013-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] Two-dimensional X-ray nanofocusing using piezoelectric deformable mirrors
- 著者名/発表者名
  H. Nakamori, S. Matsuyama, T. Goto, T. Kimura, Y. Sano, Y. Kohmura, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  The 12th symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2013-10-18 – 2013-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 硬X線自由電子レーザーシングルナノ集光用Pt/C多層膜の破壊特性評価
- 著者名/発表者名
  金章雨，長平良綾香，松山智至，福井亮介，西原明彦，小山貴久，湯本博勝，佐野泰久，大橋治彦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  大阪，中ノ島センター
- 年月日
  2014-01-11 – 2014-01-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23226004
[学会発表] 革新的 CMP/P-CVM加工装置の設計・試作(第５報)- B-type装置による各種難加工材料の基本的加工特性とその評価 -
- 著者名/発表者名
  大山幸希, 土肥俊郎, 佐野泰久, 黒河周平, 會田英雄, 塩澤昂祐, 宮下忠一, 金聖祐
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学（鳥取県）
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] High-speed Etching of Wide-gap Semiconductors Using Atmospheric Pressure Plasma
- 著者名/発表者名
  Y. Sano
- 学会等名
  Workshop on Ultra-Precision Processing (WUPP) for Wide-gap Semiconductors 2014
- 発表場所
  Hilton Bath City Hotel (英国)
- 年月日
  2014-08-20 – 2014-08-22
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 革新的plasma fusion CMP装置の設計・試作（第6報）― 基本型(A型）の平坦化特性についての詳細な検討－
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐，平岡佑太，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大山幸希，宮下忠一，住澤春男，山内和人
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス（東京都文京区）
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第1報）-新しい概念を導入した加工プロセスの提案－
- 著者名/発表者名
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005

1. 山内和人 (10174575)

共同の研究課題数: 16件

共同の研究成果数: 127件
2. 山村和也 (60240074)

共同の研究課題数: 14件

共同の研究成果数: 7件
3. 森勇蔵 (00029125)

共同の研究課題数: 13件

共同の研究成果数: 4件
4. 松山智至 (10423196)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 124件
5. 稲垣耕司 (50273579)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 2件
6. 三村秀和 (30362651)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 16件
7. 遠藤勝義 (90152008)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 4件
8. 畝田道雄 (00298324)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 14件
9. 高橋幸生 (00415217)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 土肥俊郎 (30207675)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 40件
11. 黒河周平 (90243899)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 39件
12. 大西修 (50315107)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
13. 有馬健太 (10324807)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
14. 片岡俊彦 (50029328)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 東保男 (70208742)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
16. 上野健治 (40370069)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
17. 久米達哉 (40353362)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
18. 江波和宏 (00370073)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
19. 玉作賢治 (30300883)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
20. 大橋治彦 (30443550)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
21. 湯本博勝 (20423197)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
22. 小山貴久 (20468276)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
23. 山田純平 (10845027)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
24. 藤大雪 (70910678)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
25. 會田英雄

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 36件
26. 齋藤直樹

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
27. 森大地

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
28. 西野吉則

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
29. 木村隆志

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

佐野 泰久 Sano Yasuhisa

佐野 恭久 サノ ヤスヒサ

佐野 康久 サノ ヤスヒサ

研究課題

研究成果

共同研究者

2D動的フリーフォームプラズマ生成のためのプラズマプロパゲーション制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

小隙スリット電極による高密度大気圧プラズマの生成と高能率マスクレス溝加工への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

省エネルギーパワーデバイス用ＳｉＣ基板の高能率加工方法研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化による超精密加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ワイドバンドギャップ半導体デバイス製作のための高能率化学的加工法研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

佐野泰久 Sano Yasuhisa

佐野恭久サノヤスヒサ

佐野康久サノヤスヒサ