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和田 隆夫  WADA Takao

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60023040
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2004年度: 名古屋産業大学, 環境情報学部, 教授
2004年度: 名古屋産業大学, 産業情報学部, 教授
2003年度: 名古屋産業大学, 環境情報ビジネス学部, 教授
2002年度: 名古屋産業大学, 情報学科, 教授
1992年度: 名古屋工業大学, 工学部, 教授
1986年度 – 1987年度: 名古屋工業大学, 工学部, 教授
1985年度: 名古屋工業大学, 工, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
電子デバイス・機器工学
キーワード
研究代表者
電子ビームドーピング / 電子ビーム応用 / 電子ビーム / 不純物制御 / 不純物添加 / エピタキシャル成長 / AlGaSb
研究代表者以外
photoluminescence / pn junction / electron beam doping … もっと見る / SIMS / impurity doping / electron irradiation / diamond / Si / GaAs / kick-out machanism / P doping / B doping / PCl_3 / BCl_3 / SIMS法 / CVD法 / フォトルミネッセンス / p n接合 / 不純物添加 / 電子ビームドーピング / 電子線照射 / 熱力学データベース / 電子ビームエピタキシ / カソードルミネッセンス / BCF理論 / 組成の面方位依存 / 混晶成長における偏析 / RHEED振動 / 表面拡散 / コンピュータ解析 / 状態図 / 非混和領域 / 有機金属気相成長法 / 液相成長 / ステップカイネティクス / 混晶成長機構 / 空間分解フォトルミネッセンス / 相互拡散 / 格子不整 / ヘテロエピタキシー / ラマン分光法 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 研究成果

    (8件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加

    • 研究代表者
      藤本 博
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大同工業大学
  •  顕微ラマン分光によるヘテロエピタキシャル成長層の歪緩和の研究

    • 研究代表者
      市村 正也
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  高品質AlGaSb系混晶半導体の気相成長と不純物制御研究代表者

    • 研究代表者
      和田 隆夫
    • 研究期間 (年度)
      1985
    • 研究種目
      特定研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  混晶の成長機構と相安定性に関する研究

    • 研究代表者
      西永 頌
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1987
    • 研究種目
      特定研究
    • 研究機関
      東京大学
  •  混晶の成長機構と相安定に関する研究

    • 研究代表者
      西永 頌
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1987
    • 研究種目
      特定研究
    • 研究機関
      東京大学

すべて 2003

すべて 雑誌論文

  • [雑誌論文] Electron beam doping of impurity atoms into semiconductors by superdiffusion2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      phys.stat.sol.(C) O, No.2

      ページ: 788-794

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Electron beam doping (superdiffusion) technique in semiconductors at room temperature2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      Defect and Diffusion Forum Vols.221-223

      ページ: 23-30

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Superdiffusion of impurity atoms in damage-free regions of semiconductors2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      phys.stat.sol.(C) O, No.2

      ページ: 780-787

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Diodes fabricated by electron beam doping (superdiffusion) technique in semiconductors at room temperature2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      Defect and Deffusion Forum Vols.221-223

      ページ: 23-30

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Electron beam doping of impurity atoms into semiconductors by superdiffusion2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      phys.stat.sol.(C) 0, No.2

      ページ: 788-794

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Electron beam doping of impurity atoms into semiconductors by kick-out mechanism2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      Psica status solidi (C) 0.No.2

      ページ: 788-794

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Superdiffusion of impurity atoms in damage-free regions of semiconductors2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      Phisica status solidi (c) 0.No.2

      ページ: 780-787

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • [雑誌論文] Superdiffusion of impurity atoms in damage-free regions of semiconductors2003

    • 著者名/発表者名
      Takao Wada, Hiroshi Fujimoto
    • 雑誌名

      phys.stat.sol.(C) 0, No.2

      ページ: 780-787

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550338
  • 1.  西沢 泰二 (60005212)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  石田 哲朗 (10020281)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  西永 頌 (10023128)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  新宮 秀夫 (20026024)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  関 寿 (70015022)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  藤本 博 (90075911)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 7.  市村 正也 (30203110)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  宇佐美 晶 (90024265)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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