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板垣 奈穂  itagaki naho

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60579100
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2019年度 – 2024年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授
2016年度 – 2018年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授
2011年度 – 2016年度: 九州大学, システム情報科学研究科(研究院, 准教授
2013年度: 九州大学, システム情報科学研究科(研究院), 准教授
2013年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 准教授
2012年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授
2010年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授
審査区分/研究分野
研究代表者
中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 電子・電気材料工学 / 小区分14030:プラズマ応用科学関連 / プラズマエレクトロニクス
研究代表者以外
理工系 / 小区分28020:ナノ構造物理関連 / 大区分J
キーワード
研究代表者
スパッタリング / 結晶成長 / ZION / エキシトン / 酸窒化物半導体 / ZnO / 量子構造 / トランジスタ / 酸化物半導体 / 量子井戸 … もっと見る / プラズマエレクトロニクス / ピエゾ電界 / 励起子輸送 / 励起子トランジスタ / ZAION / 励起子 / ZnMgO / エキシトントランジスタ / ZnInON / エキシトニックトランジスタ / メモリ / 再結合寿命 / スパッタ / 歪み量子井戸 / エキシトント / プラズマエレクトロニクスエ / プラズマプロセス / エピタキシャル成長 / プラズマ / 逆SKモード / エピタキシー / 格子不整合 / 逆Stranski-Krastanovモード / 酸窒化インジウム亜鉛 / 薄膜 / 集積回路 / エキシトニクス / 薄膜・量子構造 … もっと見る
研究代表者以外
スピン軌道相互作用 / 量子ビット / スピン / 量子ドット / 極低温コンピューティング / 新奇デバイス / 超伝導コンピュータ / 単一磁束量子回路 / コンピュータ・アーキテクチャ / プラズマ照射水 / 医療科学 / 体内動態 / 健康影響評価 / ナノマテリアル / プラズマ / 揺らぎ / ボトムアッププロセス / トップダウンプロセス / コンビナトリアル摂動解析 / ボンドエンジニアリング / 相互作用 / ナノ界面制御 / ナノ粒子 / プラズマ局所反応場 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 研究成果

    (577件)
  • 共同研究者

    (27人)
  •  励起子が情報を記憶する新概念・光メモリの創製研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  スピン軌道相互作用を利用した集積スピン量子ビット基盤の開拓

    • 研究代表者
      木山 治樹
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分28020:ナノ構造物理関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  不均一場中での励起子ドリフトの実証と新概念・励起子デバイスの創製研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2024
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      九州大学
  •  ポストムーア時代を見据えた超伝導コンピューティング技術の創成と展開

    • 研究代表者
      井上 弘士
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 審査区分
      大区分J
    • 研究機関
      九州大学
  •  量子情報を記憶する「明るい」長寿命励起子の創製研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      九州大学
  •  励起子トランジスタの創成と励起子輸送の学理探求:情報担体へ進化する励起子研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  エキシトンが情報を伝達し記憶する革新的古典/量子デバイスの創製研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2020
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      九州大学
  •  スパッタエピタキシーによる革新的エキシトンデバイスの実現と励起子輸送機構の解明研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14030:プラズマ応用科学関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  フラックス制御スパッタによる高品質酸窒化物の創製と新概念光スイッチへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2018
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      九州大学
  •  酸窒化物量子井戸中のエキシトン流を利用した高速・低消費電力トランジスタの創成研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  プラズマ・ナノマテリアル動態学の創成と安全安心医療科学の構築

    • 研究代表者
      田中 昭代
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2016
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      九州大学
  •  酸窒化物超格子のピエゾ電界を利用した室温動作エキシトニクスデバイスの創成研究代表者

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  ナノ粒子含有プラズマによるナノ界面ボンドエンジニアリングの創生

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      九州大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 太陽光と光電変換機能―異分野融合から生まれる次世代太陽電池―2016

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂 分担筆 (早瀬修二 監修)
    • 総ページ数
      307
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Prediction by a hybrid machine learning model for high-mobility amorphous In2O3: Sn films fabricated by RF plasma sputtering deposition using a nitrogen-mediated amorphization method2023

    • 著者名/発表者名
      Kamataki Kunihiro、Ohtomo Hirohi、Itagaki Naho、Lesly Chawarambawa Fadzai、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Yamashita Naoto、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 134 号: 16 ページ: 163301-163301

    • DOI

      10.1063/5.0160228

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752, KAKENHI-PROJECT-22K03586, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Control of inhomogeneity and magnetic properties of ZnO:Co films grown by magnetron sputtering using nitrogen2023

    • 著者名/発表者名
      Agusutrisno M.N.、Narishige Ryota、Kamataki Kunihiro、Okumura Takamasa、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Yamashita Naoto
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 162 ページ: 107503-107503

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2023.107503

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22KJ2459, KAKENHI-PROJECT-23K17752, KAKENHI-PROJECT-22K03586, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-22K14292, KAKENHI-PROJECT-22H05000, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Improved luminescence performance of Yb3+-Er3+-Zn2+: Y2O3 phosphor and its application to solar cells2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Hwang Sung-Hwa、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakamura Daisuke、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Optical Materials

      巻: 123 ページ: 111928-111928

    • DOI

      10.1016/j.optmat.2021.111928

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14454, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Effects of substrate surface polarity on heteroepitaxial growth of pseudobinary ZnO-InN alloy films on ZnO substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Narishige Ryota、Yamashita Naoto、Kamataki Kunihiro、Okumura Takamasa、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Yabuta Hisato、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research

      巻: 38 号: 7 ページ: 1803-1812

    • DOI

      10.1557/s43578-022-00827-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-22H05000, KAKENHI-PROJECT-22KJ2459, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] The Effects of Spin-Coating Rate on Surface Roughness, Thickness, and Electrochemical Properties of a Pt Polymer Counter Electrode2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Advanced Engineering Forum

      巻: 45 ページ: 1-13

    • DOI

      10.4028/p-6l16rl

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Performances of Carbon Black-Titanium nitrate and Carbon Black-Titanium/Triton X-100 Composite Polymer Counter Electrodes for Dye-Sensitized Solar Cells2022

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Pankaj Attri、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 1168 ページ: 35-47

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.1168.35

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Performance comparison of nitrile-based liquid electrolytes on bifacial dye-sensitized solar cells under low-concentrated light2022

    • 著者名/発表者名
      Putri Tika E.、Chawarambwa Fadzai L.、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: - 号: 21 ページ: 427-432

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00270-x

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953, KAKENHI-PROJECT-23K22483
  • [雑誌論文] Nanostructured Ge and GeSn films by high-pressure He plasma sputtering for high-capacity Li ion battery anodes2022

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kenta Nagai, Yuma Habu, Junki Hayashi, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Scientifc Reports

      巻: 12 号: 1 ページ: 17421-12

    • DOI

      10.1038/s41598-022-05579-z

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01076, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Amorphous In-Ga-Mg-O Thin Films Formed by RF Magnetron Sputtering: Optical, Electrical Properties and Thin-Film-Transistor Characteristics2022

    • 著者名/発表者名
      Yabuta Hisato、Itagaki Naho、Ekino Toshikazu、Shigesato Yuzo
    • 雑誌名

      IEEE Open Journal of Nanotechnology

      巻: 3 ページ: 149-152

    • DOI

      10.1109/ojnano.2022.3222850

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of Zn1-xMgxO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode using magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Takahashi Daichi、Yamashita Naoto、Yamashita Daisuke、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: - 号: 20 ページ: 415-419

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00234-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Effects of concentrated light on the performance and stability of a quasi-solid electrolyte in dye-sensitized solar cells2021

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters

      巻: 781 ページ: 138986-138986

    • DOI

      10.1016/j.cplett.2021.138986

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14454, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 5th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices2021

    • 著者名/発表者名
      Narishige Ryota、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Proc. 5th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM)

      巻: - ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/edtm50988.2021.9420921

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Performance Characteristics of Bifacial Dye-Sensitized Solar Cells with a V-Shaped Low-Concentrating Light System2021

    • 著者名/発表者名
      Putri Tika E.、Chawarambwa Fadzai L.、Son Min-Kyu、Attri Pankaj、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ACS Applied Energy Materials

      巻: 4 号: 12 ページ: 13410-13414

    • DOI

      10.1021/acsaem.1c02774

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14454, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 5th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Synthesis of Yb3+/Ho3+ co-doped Y2O3 nanoparticles and its application to dye sensitized solar cells2021

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Kamataki Kunihiro、Shiratani Masaharu、Koga Kazunari、Itagaki Naho、Nakamura Daisuke
    • 雑誌名

      Journal of Molecular Structure

      巻: 1228 ページ: 129479-129479

    • DOI

      10.1016/j.molstruc.2020.129479

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Morphological control of nanostructured Ge films in high Ar-gas-pressure plasma sputtering process for Li ion batteries2021

    • 著者名/発表者名
      Junki Hayashi, Kenta Nagai, Yuma Habu, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SA ページ: SA1002-SA1002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac2b7b

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01076, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Effects of Activated Carbon Counter Electrode on Bifacial Dye Sensitized Solar Cells (DSSCs)2021

    • 著者名/発表者名
      Putri Tika Erna、Hao Yuan、Chawarambwa Fadzai Lesley、Seo Hyunwoong、Son Min Kyu、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 1016 ページ: 863-868

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.1016.863

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Comparison between Ar+CH4 cathode and anode coupling chemical vapor depositions of hydrogenated amorphous carbon films2021

    • 著者名/発表者名
      Hwang Sung-Hwa、Iwamoto Ryosuke、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakatani Tatsuyuki、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 729 ページ: 138701-138701

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2021.138701

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Passivating antireflection coating of crystalline silicon using i/n a-Si:H/SiN trilayer2021

    • 著者名/発表者名
      Nunomura Shota、Sakata Isao、Sato Aiko、Lozac'h Mickael、Misawa Tatsuya、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Journal of Physics and Chemistry of Solids

      巻: 156 ページ: 110127-110127

    • DOI

      10.1016/j.jpcs.2021.110127

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731, KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [雑誌論文] Plasma Treatment Effect on the Paramagnetic Species of Barley Seed Radical's Intensity: An EPR study2020

    • 著者名/発表者名
      Attri Pankaj、Teruki Anan、Arita Ryo、Okumura Takamasa、Tanaka Hayate、Yamashita Daisuke、Matsuo Kayo、Itagaki Naho、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Kuchitsu Kazuyuki、Ishibashi Yushi
    • 雑誌名

      Plasma Medicine

      巻: - 号: 3 ページ: 159-168

    • DOI

      10.1615/plasmamed.2020036353

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14700, KAKENHI-PROJECT-19H05462, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-19K21978, KAKENHI-PROJECT-20H02990
  • [雑誌論文] Size and flux of carbon nanoparticles synthesized by Ar+CH4 multi-hollow plasma chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      Hwang Sung-Hwa、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 109 ページ: 108050-108050

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2020.108050

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Graphene-Si3N4 nanocomposite blended polymer counter electrode for low-cost dye-sensitized solar cells2020

    • 著者名/発表者名
      Chawarambwa Fadzai Lesley、Putri Tika Erna、Son Min-Kyu、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters

      巻: 758 ページ: 137920-137920

    • DOI

      10.1016/j.cplett.2020.137920

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Effects of Gas Pressure on Crystal Quality of (ZnO)0.9(InN)0.1 Films Fabricated by Radiofrequency Magnetron Sputtering2020

    • 著者名/発表者名
      L. Shi, N. Miyahara, D. Yamashita, H. Seo, J. Lyu, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Time of Flight Size Control of Carbon Nanoparticles Using Ar+CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition Method2020

    • 著者名/発表者名
      Hwang Sung Hwa、Koga Kazunori、Hao Yuan、Attri Pankaj、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu、Oh Jun-Seok、Takabayashi Susumu、Nakatani Tatsuyuki
    • 雑誌名

      Processes

      巻: 9 号: 1 ページ: 2-2

    • DOI

      10.3390/pr9010002

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Impact of surface morphologies of substrates on the epitaxial growth of magnetron-sputtered (ZnO) x (InN)1-x films2020

    • 著者名/発表者名
      Narishige Ryota、Kaneshima Kentaro、Yamashita Daisuke、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SA ページ: SAAB02-SAAB02

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abba0c

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Room-temperature fabrication of amorphous In2O3:Sn films with high electron mobility via nitrogen mediated amorphization2020

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Room-temperature fabrication of amorphous In2O3:Sn films with high electron mobility via nitrogen mediated amorphization2020

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser.

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Low-stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles fabricated by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition2020

    • 著者名/発表者名
      Hwang Sung-Hwa、Okumura Takamasa、Kamataki Kunihiro、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Nakatani Tatsuyuki、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 10 ページ: 100906-100906

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abbb20

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00142, KAKENHI-PROJECT-18H01206, KAKENHI-PROJECT-20J13122, KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] Improved Nanoscale Al-Doped ZnO with a ZnO Buffer Layer Fabricated by Nitrogen-Mediated Crystallization for Flexible Optoelectronic Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Suhariadi Iping、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ACS Applied Nano Materials

      巻: 3 号: 3 ページ: 2480-2490

    • DOI

      10.1021/acsanm.9b02571

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978, KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Growth of single crystalline films on lattice-mismatched substrates through 3D to 2D mode transition2020

    • 著者名/発表者名
      Itagaki Naho、Nakamura Yuta、Narishige Ryota、Takeda Keigo、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Hori Masaru、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 10 号: 1 ページ: 4669-4669

    • DOI

      10.1038/s41598-020-61596-w

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978, KAKENHI-PROJECT-19H05462, KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on Lattice-mismatched Sapphire Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      Miyahara Nanoka、Urakawa Seichi、Yamashita Daisuke、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: in press 号: 27 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1557/adv.2019.17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Room-temperature fabrication of amorphous In2O3:Sn films with high electron mobility via nitrogen mediated amorphization2019

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      J. Phys.: Conf. Ser.

      巻: in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Effects of nitrogen impurity on zno crystal growth on Si substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Muraoka Soichiro、Jiahao Lyu、Yamashita Daisuke、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: in press 号: 27 ページ: 1-7

    • DOI

      10.1557/adv.2019.28

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Fabrication of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature2019

    • 著者名/発表者名
      S. Muraoka, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Proc. 41st International Symposium on Dry Process

      巻: なし

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [雑誌論文] The effect of the H2/(H2+Ar) flow-rate ratio on hydrogenated amorphous carbon films grown using Ar/H2/C7H8 plasma chemical vapor deposition2018

    • 著者名/発表者名
      T. Fang, K. Yamaki, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Takenaka,Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 印刷中

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Progress in photovoltaic performance of organic/inorganic hybrid solar cell based on optimal resistive Si and solvent modified poly(3,4-ethylenedioxythiophene) poly(styrenesulfonate) junction2018

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, H. Chou, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Prog. Photovoltaics: Res. Appl.

      巻: 26 号: 2 ページ: 145-150

    • DOI

      10.1002/pip.2961

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen-mediated amorphization method: Effects of target-substrate distance2018

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N, Itagaki
    • 雑誌名

      Proceedings of 40th International Symposium on Dry Process, P-62

      巻: 0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Photoluminescence of (ZnO)<sub>0.82</sub>(InN)<sub>0.18</sub> Films: Incident Light Angle Dependence2018

    • 著者名/発表者名
      Miyahara Nanoka、Iwasaki Kazuya、Yamashita Daisuke、Nakamura Daisuke、Seo Hyun Woong、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2099-2103

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2099

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Effects of gas velocity on deposition rate and amount of cluster incorporation into a-Si:H films fabricated by SiH4 plasma chemical vapor deposition2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, S. Toko, K. Tanaka, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Plasma Fusion Res.

      巻: 印刷中

    • NAID

      130007437757

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of Sputtering Pressure on (ZnO)<sub>x</sub>(InN)<sub>1-x</sub> Crystal Film Growth at 450°C2018

    • 著者名/発表者名
      Itagaki Naho、Takeuchi Kazuto、Miyahara Nanoka、Imoto Kouki、Seo Hyun Woong、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2093-2098

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2093

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [雑誌論文] Spatial correlation between density fluctuations of high energy electrons and nanoparticles in amplitude modulated capactively coupled plasma2018

    • 著者名/発表者名
      R. Zhou, K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. Asian-APC

      巻: 印刷中

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Room-temperature fabrication of amorphous In2O3:Sn films with high electron mobility via nitrogen mediated amorphization2018

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Proc. Asian-APC

      巻: 印刷中

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH4 plasma chemical vapor deposition2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, T. Kojima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surface and Coating Technology

      巻: 印刷中 ページ: 388-394

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2017.01.034

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15J05441, KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] 色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化2017

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 雑誌名

      IEICE Technical Report

      巻: 117 ページ: 27-29

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Blue Photoluminescence of (ZnO)0.92(InN)0.082017

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, K. Iwasaki, N. Miyahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2 号: 5 ページ: 277-282

    • DOI

      10.1557/adv.2016.625

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-14J05011
  • [雑誌論文] Low temperature rapid formation of Au-induced crystalline Ge films using sputtering deposition2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tanami, D. Ichida, S. Hashimoto, H. Seo, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 641 ページ: 59-64

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2017.02.067

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Densities and surface reaction probabilities of oxygen and nitrogen atoms during sputter deposition of ZnInON on ZnO2017

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Science

      巻: 45 号: 2 ページ: 323-327

    • DOI

      10.1109/tps.2016.2632124

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-14J05011
  • [雑誌論文] Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body2017

    • 著者名/発表者名
      Koga Kazunori、Seo Hyunwoong、Tanaka Akiyo、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 77 号: 3 ページ: 17-24

    • DOI

      10.1149/07703.0017ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-16H03895, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Performance enhancement of quantum dot-sensitized solar cells based on polymer nano-composite catalyst2017

    • 著者名/発表者名
      Seo Hyunwoong、Gopi Chandu V.V.M.、Kim Hee-Je、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 249 ページ: 337-342

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2017.08.030

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of sputtering gas pressure dependence of surface morphology of ZnO films2017

    • 著者名/発表者名
      K. Iwasaki, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2 号: 5 ページ: 265-270

    • DOI

      10.1557/adv.2016.617

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用2017

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 雑誌名

      IEICE Technical Report

      巻: 117

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Optoelectronic properties of valence-state-controlled amorphous niobium oxide2016

    • 著者名/発表者名
      Onozato, Takaki; Katase, Takayoshi; Yamamoto, Akira; Katayama, Shota; Matsushima, Koichi; Itagaki, Naho; Yoshida, Hisao; Ohta, Hiromichi
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Condensed Matter

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of cluster incorporation into hydrogenated amorphous silicon films in initial deposition phase on film stability2016

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, K. Koga, Y. Hashimoto, G. Uchida, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Fluctuation of Position and Energy of a Fine Particle in Plasma Nanofabrication2016

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, M. Soejima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 879 ページ: 1772-1777

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.879.1772

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Improvement on charge transportation of Si quantum dot-sensitized solar cell using vanadium doped TiO22016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, S. H. Nam and J. H. Boo
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 未定

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effect of Sulfur Doped TiO2 on Photovoltaic Properties of Dye-Sensitized Solar Cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, S. H. Nam, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, and J.-H. Boo
    • 雑誌名

      Electron. Mater. Lett.

      巻: 12 号: 4 ページ: 530-536

    • DOI

      10.1007/s13391-016-4018-8

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15K21223
  • [雑誌論文] Surface Modification of Polymer Counter Electrode for Low Cost Dye-sensitized Solar Cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. K. Son, S. Hashimoto, T. Takasaki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 210 ページ: 880-887

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2016.06.020

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15K21223
  • [雑誌論文] Room Temperature Fabrication of (ZnO)x(InN)1-x films with Step-Terrace Structure by RF Magnetron Sputtering2016

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 1 号: 2 ページ: 115-119

    • DOI

      10.1557/adv.2015.59

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-14J05011
  • [雑誌論文] Simple method of improving harvest by nonthermal air plasma irradiation of seeds of Arabidopsis thaliana (L.)2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, N. Hayashi, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Appl Phys Express

      巻: 9 号: 1 ページ: 016201-016201

    • DOI

      10.7567/apex.9.016201

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-24340143
  • [雑誌論文] Improvement of Charge Transportation in Si Quantum Dot-Sensitized Solar Cells Using Vanadium Doped TiO22016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, S. H. Nam and J. H. Boo
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 16 号: 5 ページ: 4875-4879

    • DOI

      10.1166/jnn.2016.12210

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Quantum characterization of Si nano-particles fabricated by multi-hollow discharge plasma chemical vapor deposition2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Science of Advanced Materials

      巻: 8 号: 3 ページ: 636-639

    • DOI

      10.1166/sam.2016.2520

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Polymer Counter Electrode of Poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(4-styrenesulfonate) Containing TiO2 Nano-particles for Dye-sensitized Solar Cells2016

    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Min-Kyu Son, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Power Sources

      巻: 307 ページ: 25-30

    • DOI

      10.1016/j.jpowsour.2015.12.112

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K21223, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Optoelectronic properties of valence-state-controlled amorphous niobium oxide2016

    • 著者名/発表者名
      T. Onozato, T. Katase, A. Yamamoto, S. Katayama, K. Matsushima, N. Itagaki, H. Yoshida, and H. Ohta
    • 雑誌名

      J. Phys. Condens. Mater.

      巻: 28 号: 25 ページ: 255001-255001

    • DOI

      10.1088/0953-8984/28/25/255001

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-25106007, KAKENHI-PROJECT-25246023, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15H05543, KAKENHI-PROJECT-16K14377
  • [雑誌論文] Measurement of absolute density of N atom in sputtering plasma for epitaxial growth ZnO films via nitrogen mediated crystallization2015

    • 著者名/発表者名
      T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of discharge voltage on the characteristics of a-C:H films prepared by H-assisted Plasma CVD method2015

    • 著者名/発表者名
      X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: 40 号: 2 ページ: 123-128

    • DOI

      10.14723/tmrsj.40.123

    • NAID

      130005089528

    • ISSN
      1382-3469, 2188-1650
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Structural alternation of tandem dye-sensitized solar cells based on mesh-type of counter electrode2015

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, S. Hashimoto, D. Ichida, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 179 ページ: 206-210

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2015.04.105

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Measurements of nitrogen atom density in N2/Ar sputtering plasma for fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films2015

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, T. Ide, K. Matsushima, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Simple Evaluation Method of Atmospheric Plasma Irradiation Dose using pH of Water2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, Y. Nakatsu, A. Tanaka, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [雑誌論文] Fabrication of ZnInON/ZnO multi-quantum well solar cells2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, R. Shimizu, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: - ページ: 106-111

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.01.012

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J05011, KAKENHI-PROJECT-25630127, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Fabrication of p-i-n solar cells utilizing ZnInON by RF magnetron sputtering2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, R. Shimizu, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Proceedings

      巻: 1741

    • DOI

      10.1557/opl.2015.248

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J05011, KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Measurements of absolute densities of nitrogen and oxygen atoms in sputtering plasma for fabrication of ZnInON films2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Synthesis of indium-containing nanoparticles using plasmas in water to study their effects on living body2015

    • 著者名/発表者名
      T. Amano, K. Koga, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Kitazaki, M. Hirata, Y. Nakatsu, A. Tanaka
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [雑誌論文] Effects of deposition rate and ion bombardment on properties of a-C:H films deposited by H-assisted plasma CVD method2015

    • 著者名/発表者名
      X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AA11-01AA11

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01aa11

    • NAID

      210000145927

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of morphology of buffer layers on ZnO/sapphire heteroepitaxial growth by RF magnetron sputtering2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Ide, Koichi Matsushima, Ryota Shimizu, Daisuke Yamashita, Hynwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 雑誌名

      MRS Proceedings

      巻: 1741

    • DOI

      10.1557/opl.2015.87

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Effects of cluster incorporation into hydrogenated amorphous silicon films in initial discharge phase on film stability2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, W. Chen, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 587 ページ: 126-131

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.02.052

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [雑誌論文] Effects of Gas Flow Rate on Deposition Rate and Amount of Si Clusters Incorporated into a-Si:H Films2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AA19-01AA19

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01aa19

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15J05441
  • [雑誌論文] Real-time mass measurement of dust particles deposited on vessel wall in a divertor simulator using quartz crystal microbalances2015

    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, R. Katayama, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experiment Group
    • 雑誌名

      J Nucl Mater

      巻: 463 ページ: 865-868

    • DOI

      10.1016/j.jnucmat.2014.10.049

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-26600126
  • [雑誌論文] Off-axis sputter deposition of ZnO films on c-sapphire substrates with buffer layers prepared via nitrogen-mediated crystallization2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. SPIE International Society for Optical Engineering

      巻: 8987 ページ: 89871A-89871A

    • DOI

      10.1117/12.2041081

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Study on the Crystal Growth Mechanism of ZnO Films Fabricated Via Nitrogen Mediated2014

    • 著者名/発表者名
      Iping Suhariadi, Koichiro Oshikawa, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Kazunari Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 12th Asia Pacific Physics Conference

      巻: 1 ページ: 15064-15067

    • DOI

      10.7566/jpscp.1.015064

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Infrared Plasmonics via ZnO2014

    • 著者名/発表者名
      J.W. Allen, M.S. Allen, D.C. Look, B.R. Wenner, N. Itagaki, K. Matsushima, I. Surhariadi
    • 雑誌名

      J. Nano Res.

      巻: 8 ページ: 109-109

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/jnanor.28.109

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, K. Kamataki, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, and N. Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53 号: 1 ページ: 10201-10201

    • DOI

      10.7567/jjap.53.010201

    • NAID

      210000143213

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001, KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, K.Kamataki, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, and N.Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53巻 ページ: 10201-10201

    • NAID

      210000143213

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] スパッタリング成膜法による高品質酸化亜鉛薄膜の形成2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 83 ページ: 385-389

    • NAID

      130007718591

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Spatial Profile of Flux of Dust Particles Generated Due to Interaction between Hydrogen Plasmas and Graphite Target2014

    • 著者名/発表者名
      Mizuki Tateishi, Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Naoko Ashikawa, Suguru Masuzaki, Kiyohiko Nishimura, Akio Sagara
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 15020-15020

    • DOI

      10.7566/jpscp.1.015020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Synthesis and characterization of ZnInON semiconductor: a ZnO-based compound with tunable band gap2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Materials Research Express

      巻: 1 号: 3 ページ: 036405-036405

    • DOI

      10.1088/2053-1591/1/3/036405

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J05011, KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Growth mechanism of ZnO deposited by nitrogen mediated crystallization2014

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Mater. Res. Express

      巻: 1 号: 3 ページ: 036403-036403

    • DOI

      10.1088/2053-1591/1/3/036403

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Correlation between Nanoparticle Growth and Plasma Parameters in Low Pressure Reactive VHF Discharge Plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 15083-15083

    • DOI

      10.7566/jpscp.1.015083

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Off-axis sputter deposition of high quality ZnO films with buffer layers crystallized via nitrogen mediation2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Optical engineering

      巻: 53 号: 8 ページ: 087109-087109

    • DOI

      10.1117/1.oe.53.8.087109

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, K.Hatozaki, Y.Hashimoto, G.Uchida, K.Kamataki, N.Itagaki, H.Seo, K.Koga, and M.Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.52

    • NAID

      210000143093

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: 228 ページ: S550-S553

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2012.04.029

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005, KAKENHI-ORGANIZER-21110001
  • [雑誌論文] Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, M. Tateishi, K. Nishiyama, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, Akiko Sagara, the LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NA08-11NA08

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11na08

    • NAID

      210000143094

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] the LHD Experimental Group, Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013

    • 著者名/発表者名
      K.Koga, M.Tateishi, K.Nishiyama, G.Uchida, K.Kamataki, D.Yamashita, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Muzaki, K.Nishimura, Akiko Sagara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.52

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NA07-11NA07

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11na07

    • NAID

      210000143093

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, T.Matsunaga, K.Nakahara, H.Seo, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: Vol.228

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Dust particle formation due to interaction between graphite and helicon deuterium plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Katsushi Nishiyama, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Fusion Engineering and Design

      巻: 88 号: 1 ページ: 28-32

    • DOI

      10.1016/j.fusengdes.2012.10.002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, Y. Kanemitsu, D. Ichida, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 212-212

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Epitaxial Growth of ZnInON Films with Tunable Band Gap from 1.7 eV to 3.3 eV on ZnO Templates2013

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NM06-11NM06

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nm06

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Observation of nanoparticle growth process using a high speed camera2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 264-264

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Effects of Nitrogen on Crystal Growth of Sputter-Deposited ZnO Films for Transparent Conducting Oxide2013

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, K. Oshikawa, K. Kuwahara, K. Matsushima, D. Yamashita, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NB03-11NB03

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nb03

    • NAID

      210000143097

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Characterization of the energy flux toward the substrate during magnetron sputter deposition of ZnO thin films2013

    • 著者名/発表者名
      S. Bornholdt, N. Itagaki, K. Kuwahara, H. Wulff, M. Shiratani and H. Kersten (S. Bornholdt)
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci. Technol.

      巻: 22 号: 2 ページ: 25019-25019

    • DOI

      10.1088/0963-0252/22/2/025019

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] The reduction of charge recombination and performance enhancement by the surface modification of Si quantum dot-sensitized solar cell2013

    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 87 ページ: 213-217

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2012.09.087

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen Dilution on ZnO Thin Films Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol. 52 号: 1S ページ: 01AC08-01AC08

    • DOI

      10.7567/jjap.52.01ac08

    • NAID

      210000141756

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] Growth control of ZnO nano-rod with various seeds and photovoltaic application2013

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, Y. Wang, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conference Series

      巻: 441 ページ: 12029-12029

    • DOI

      10.1088/1742-6596/441/1/012029

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [雑誌論文] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2012

    • 著者名/発表者名
      Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Daisuke Yamashita, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.523 ページ: 76-76

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] In-situ Measurements of Cluster Volume Fraction in Silicon Thin Films Using Quartz Crystal Microbalances2012

    • 著者名/発表者名
      Yeonwon Kim, Kosuke Hatozaki, Yuji Hashimoto, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting

      巻: 1426 ページ: 307-311

    • DOI

      10.1557/opl.2012.839

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] High quality epitaxial ZnO films grown on solid-phase crystallized buffer layers2012

    • 著者名/発表者名
      K. Kuwahara, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol. 520 号: 14 ページ: 4674-4674

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2011.10.136

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285, KAKENHI-ORGANIZER-21110001
  • [雑誌論文] The Optical Analysis and Application of Size-controllable Si Quantum Dots Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting

      巻: 426 ページ: 313-318

    • DOI

      10.1557/opl.2012.890

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Novel fabrication method for ZnO films via nitrogen-mediated crystallization2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, K. Oshikawa
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

      巻: vol.8263 ページ: 826303-826303

    • DOI

      10.1117/12.911971

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] ZnO:Al Thin Films with Buffer Layers Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization: Effects of N2/Ar Gas Flow Rate Ratio2012

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: Vol. 37 ページ: 165-168

    • NAID

      130003399074

    • URL

      http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?JGLOBAL_ID=201202205920945013

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] Effects of crystalline nanoparticle incorporation on growth, structure, and properties of microcrystalline silicon films deposited by plasma CVD2012

    • 著者名/発表者名
      Yeonwon Kim, Takeaki Matsunaga, Kenta Nakahara ,Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki , Naho Itagaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 523 ページ: 29-33

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2012.06.023

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Novel fabrication method for transparent conducting oxide films utilizing solid-phase crystallized seed layer2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Nakahara
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 1393 ページ: 23-26

    • DOI

      10.1063/1.3653599

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] Sputter deposition of Epitaxial Zinc-Indium Oxynitride Films for Excitonic Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Dry Process 2012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] ZnO:Al Thin Films with Buffer Layers Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization: Effects of N2/Ar Gas Flow Rate Ratio2012

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Oshikawa, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, K. Nakahara, M. Shiratani (I. Suhariadi)
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: 37 ページ: 165-168

    • NAID

      130003399074

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] Impacts of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Growth of Nanoparticles in Reactive Plasmas2011

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol.4 ページ: 100501-100501

    • NAID

      10029790770

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Conference 2011

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Novel fabrication method of ZnO films utilizing solid-phase crystallized seed layers2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings

      巻: 1315 ページ: 15-20

    • DOI

      10.1557/opl.2011.709

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [雑誌論文] Effects of Amplitude Modulation of rf Discharge Voltage on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas2010

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proc.of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1943-1947

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [雑誌論文] Epitaxial Growth of ZnInON Films for Piezo-Electric-Field Effect MQW Solar Cells

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] 多重量子井戸型太陽電池および多重量子井戸型太陽電池の製造方法2013

    • 発明者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 権利者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-03-05
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] 多重量子井戸型太陽電池および多重量子井戸型太陽電池の製造方法2013

    • 発明者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 権利者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 出願年月日
      2013-03-05
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] 多重量子井戸型太陽電池及び多重量子井戸型太陽電池の製造方法2012

    • 発明者名
      板垣奈穂、白谷正治、内田儀一郎
    • 権利者名
      板垣奈穂、白谷正治、内田儀一郎
    • 産業財産権番号
      2012-049805
    • 出願年月日
      2012
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] 多重量子井戸型太陽電池及び多重量子井戸型太陽電池の製造方法2012

    • 発明者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 権利者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 出願年月日
      2012-03-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] ZnO膜の製造方法、透明導電膜の製造方法、ZnO膜、及び透明導電膜2011

    • 発明者名
      板垣奈穂、白谷正治、古閑一憲、内田儀一郎、鎌滝晋礼
    • 権利者名
      板垣奈穂、白谷正治、古閑一憲、内田儀一郎、鎌滝晋礼
    • 出願年月日
      2011
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [産業財産権] ZnO 膜の製造方法、透明導電膜の製造方法、ZnO 膜、及び透明導電膜2011

    • 発明者名
      板垣奈穂、白谷正治、古閑一憲、内田儀一郎、鎌滝晋礼
    • 権利者名
      板垣奈穂、白谷正治、古閑一憲、内田儀一郎、鎌滝晋礼
    • 出願年月日
      2011-08-26
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ISPlasma
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ISPlasma
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films on seed layers grown via solid phase crystallization of fractionally crystallized ZnON films2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, S. Zhiyuan, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ISPlasma
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      MRM2023/IUMRS-ICA2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      MRM2023/IUMRS-ICA2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization : a way to meet the future demand for transparent electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Wada, H. Yabuta, M. Shiratani
    • 学会等名
      AAPPS-DPP2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2023

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2023

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御2023

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      化学工学会第54回秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films Using Impurities2023

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International C+Nano Convergence Technology Symposium
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H05000
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響2023

    • 著者名/発表者名
      畑昌太朗,中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御2023

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      化学工学会第54回秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization : a way to meet the future demand for transparent electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Wada, H. Yabuta, M. Shiratani
    • 学会等名
      AAPPS-DPP2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization : a way to meet the future demand for transparent electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Wada, H. Yabuta, M. Shiratani
    • 学会等名
      AAPPS-DPP2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成:3次元島バッファー層の形成温度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長:MgOバッファー層の効果2023

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2023

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響2023

    • 著者名/発表者名
      畑昌太朗,中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Fabrication of ZnO based transparent conducting oxides by sputtering combined with solid phase crystallization: a way to meet the future demand for transparent electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics(AAPPS-DPP2024)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H05000
  • [学会発表] Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      The XXXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果:ZnON膜の結晶化度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長:MgOバッファー層の効果2023

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果:ZnON膜の結晶化度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響2023

    • 著者名/発表者名
      畑昌太朗,中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer2023

    • 著者名/発表者名
      H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードによるサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜のエピタキシャル成長:バッファー層のモフォロジーの影響2023

    • 著者名/発表者名
      畑昌太朗,中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Pseudomorphic growth of (ZnO)x(InN)1-x films on ZnO substrates by magnetron sputtering using Ar/N2/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, Y. Nakano, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Fabrication of ZnO Based Transparent Conducting Oxide as an Alternative to In2O3:Sn by Sputtering Combined with Solid Phase Crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Z. Shen, Y. Wada, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      MRM2023/IUMRS-ICA2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer2023

    • 著者名/発表者名
      H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2023

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長:MgOバッファー層の効果2023

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成:3次元島バッファー層の形成温度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成と透明導電膜シード層としての効果:ZnON膜の結晶化度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御2023

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      化学工学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H05000
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] スパッタだからできる薄膜の結晶性・モフォロジー制御2023

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      化学工学会第54回秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputter epitaxy of atomically flat (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnO(N) buffer layers fabricated by Ar/N2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputter epitaxy of Zn1-xMgxO films on lattice-mismatched sapphire substrates utilizing ZnO(N)/MgO buffer layers fabricated by Ar/N2 and Ar/O2 discharges2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      The XXXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films Using Impurities2023

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International C+Nano Convergence Technology Symposium (ICTS)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICPIG2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of thickness of 3D island buffer layer2023

    • 著者名/発表者名
      H. Otsuyama, R. Mitsuishi, T. Yunoue, K. Yataka, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2023年(令和5年度)応用物理学会九州支部学術講演会 / The 8th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive 30-nm-thick ZnO:Al films using ZnO seed layers grown via solid-phase crystallization2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Wada, Z. Shen, H. Yabuta, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, H. Kiyama, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The XXXV International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2023

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長:MgOバッファー層の効果2023

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2023

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した異なるオフ角を有するサファイア基板上への(ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎,成重椋太,山下尚人,鎌滝晋礼,奥村賢直,古閑一憲,白谷正治,木山治樹,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第27回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2023

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)x(InN)1-x 膜の成長2023

    • 著者名/発表者名
      中野祐太郎, 成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 木山治樹, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] サファイア基板上への原子ステップを有するZn1-xMgxO薄膜の形成:3次元島バッファー層の形成温度の影響2023

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 湯上貴文, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17752
  • [学会発表] ZnOおよびScAlMgO4ステップ基板上への(ZnO)x(InN)1-x膜の室温エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 中野祐太朗, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 木山治樹, 古閑一憲, 白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26486
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films Using Impurities2023

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International C+Nano Convergence Technology Symposium (ICTS)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2022

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Mido, Z. Shen, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films beyond the Thornton Diagram Using Impurities2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      AAPPS-DPP 2022
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      2022年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー:ZnON/MgO バッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆Stranski-Krastanovモードによる単結晶ZnO薄膜のスパッタリング成膜:窒素流量の影響2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 山下尚人, 矢高功太郎, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      2022年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films beyond the Thornton Diagram Using Impurities2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      6th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H05000
  • [学会発表] Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜:固相結晶化温度の影響2022

    • 著者名/発表者名
      沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 不純物でスパッタ膜のモフォロジーを制御する~アモルファスからエピ膜まで~2022

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回CVD研究会
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Structural Control of Sputter Deposited Films beyond the Thornton Diagram Using Impurities (keynote)2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      AAPPS-DPP 2022
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] サファイア基板上への Zn1-xMgxO 膜のスパッタエピタキシー:ZnON/MgO バッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      湯上貴文, 矢高功太郎, 三石遼, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 薮田久人, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜2022

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputtering Growth of Single-Crystalline ZnO Based Semiconducting Films on Large Lattice-Mismatched Substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International Workshop on Magnetron Sputter Epitaxy (IWMSE)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates using ZnON buffer layers2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperature2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering Growth of Single-Crystalline ZnO Based Semiconducting Films on Large Lattice-Mismatched Substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International Workshop on Magnetron Sputter Epitaxy
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22H05000
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜2022

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      三石遼, 矢高功太郎, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Effects of RF powers on the crystal quality and surface morphology of single crystalline ZnO films deposited by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 固相結晶成長した ZnO シード層上への ZnO:Al 膜のスパッタリング成膜2022

    • 著者名/発表者名
      和田義晴, 沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 木山治樹, 古閑一憲,白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第26回 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜:固相結晶化温度の影響2022

    • 著者名/発表者名
      沈志遠, 薮田久人, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated at room temperature2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 不純物でスパッタ膜のモフォロジーを制御する~アモルファスからエピ膜まで~2022

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回CVD研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline Zn1-xMgxO films on sapphire substrate via inverted Staranski-Krastanov mode: effects of substrate2022

    • 著者名/発表者名
      K.Yataka, N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 異なるMg組成を有する単結晶ZnO1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N.Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering deposition of ZnO:Al Transparent Conducting Films on Seed Layers Crystallized via Thermal Annealing of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, H. Yabuta, Y. Wada, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Kiyama, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 7th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Single-Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates via Inverted Stranski-Krastanov Mode by Low-Power Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, N. Yamashita, D.Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering Growth of Single-Crystalline ZnO Based Semiconducting Films on Large Lattice-Mismatched Substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      International Workshop on Magnetron Sputter Epitaxy (IWMSE)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Microscopic analysis of single crystalline Zn1-xMgxO thin films on sapphire grown via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, D. Takahashi, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Control of Crystal Structure and Magnetic Properties of ZnO: Co Films Grown by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      A. M. Nurut, R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] サファイア基板上の単結晶ZnO薄膜作製におけるバッファー層評価指標2022

    • 著者名/発表者名
      山下尚人, 中村優太, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 異なるMg組成を有する単結晶ZnO1-xMgxO膜成長におけるZnONバッファー層の効果2022

    • 著者名/発表者名
      矢高功太郎, 高橋大智, 山下尚人, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Key parameters for single crystalline ZnO film growth by magnetron sputtering via inverted Stranski-Krastanov mode2022

    • 著者名/発表者名
      N. Yamashita, Y. Nakamura, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS spring meeting 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Effects of thermal treatment of ZnO substrates on epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films fabricated by magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] サファイア基板上の単結晶ZnO薄膜作製におけるバッファー層評価指標2022

    • 著者名/発表者名
      山下尚人, 中村優太, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Fabrication of Low-Resistive Amorphous In2O3 :Sn Films at 600°C by Magnetron Sputtering Using Nitrogen2022

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, Y. Mido, Z. Shen, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] A Study of Solid-phase Crystallization of Amorphous ZnON Films2022

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, Y. Mido, N. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani1, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials(AFM-2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜2022

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下尚人, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Growth of high-quality (ZnO)x(InN)1-x films by RF magnetron sputtering using a two-step growth process2021

    • 著者名/発表者名
      K. Kaneshima, S. Urakawa, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法を駆使したZnO系新材料の開発2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法を駆使したZnO系新材料の開発2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Epitaxial growth of (ZnO)X(InN)1-X films by magnetron sputtering: effects of surface polarity of ZnO substrates2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      Plathinium 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Growth of high-quality (ZnO)x(InN)1-x films by RF magnetron sputtering using a two-step growth process2021

    • 著者名/発表者名
      K. Kaneshima, S. Urakawa, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Effects of surface polarity of ZnO substrates on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-x films2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, K. Kaneshima, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter epitaxy of ZnO based oxide/oxynitride semiconductors for excitonic transistors(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Structural and Optical Properties of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy2021

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] (ZnO)x (InN)1-x 膜のスパッタエピタキシーに及ぼす基板表面極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] スパッタ法によるサファイア基板上への原子平坦なZnMgO薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファス In2 O3 :Sn 薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen mediate amorphization method: Effects of nitrogen flow rate2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Mido, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of Single-Crystalline Zn Mg O Films on Sapphire Substrates using Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] ZnONバッファー層を用いたサファイア基板上への単結晶Zn1-xMgxO薄膜の成長2021

    • 著者名/発表者名
      高橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter epitaxy of ZnO based oxide/oxynitride semiconductors for excitonic transistors(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputtering Deposition with Impurities: Another Key Parameter to Control Film Structures2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] (仮)非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した単結晶 ZnMgO 薄膜のスパッタリング成膜2021

    • 著者名/発表者名
      矢髙功太郎, 山下尚人, 髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Impact of surface morphologies of 3D island layers on the single crystal growth of magnetron sputtered ZnO films2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, M. Kikuchi, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen mediate amorphization method: Effects of nitrogen flow rate2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Mido, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによる新規酸窒化物半導体材料の作製とエキシトンデバイスへの応用2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      東工大フロンティア材料研究所講演会「複合アニオン酸化物の新電子機能とデバイス研究の最前線」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter deposition of ZnAlO films with tunable bandgaps from 3.4 to 6.1 eV Structural and Optical Properties of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy 1.発表者名 D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki (6/2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, K. Kaneshima, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] 非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果(招待講演)2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 沈志遠, 御堂雄大, 薮田久人
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 非晶質(仮)ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Structural and Optical Properties of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy2021

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of ZnO Based Semiconductors for Excitonic Devices(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides2021

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputtering Deposition with Impurities: Another Key Parameter to Control Film Structures(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果(招待講演)2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 沈志遠, 御堂雄大, 薮田久人
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] High-temperature Growth of Amorphous In O :Sn Films by Magnetron Sputtering using Nitrogen2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Mido, K. Takeda, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, M. Hori, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of RF power2021

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Sputter deposition of ZnAlO films with tunable bandgaps from 3.4 to 6.1 eV2021

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, K. Kaneshima, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. shiratani and N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜の高温成膜2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファス In2 O3 :Sn 薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of ZnO Based Semiconductors for Excitonic Devices(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] マグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表面モフォロジーに及ぼす基板極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣 奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] ZnONバッファー層を用いたサファイア基板上への単結晶Zn1-xMgxO薄膜の成長2021

    • 著者名/発表者名
      高橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] Development of New Oxynitride Semiconductors with Tunable Band Gaps Using Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      aterials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] 逆 Stranski-Krastanov モードを利用した単結晶 ZnMgO 薄膜のスパッタリング成膜2021

    • 著者名/発表者名
      矢髙功太郎, 山下尚人, 髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] High-temperature Growth of Amorphous In O :Sn Films by Magnetron Sputtering using Nitrogen2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Mido, K. Takeda, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, M. Hori, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] (仮)Sputter epitaxy through “inverse” SK mode for a new class of excitonic devices2021

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      MRS Fall 2021 Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Impact of surface morphologies of 3D island layers on the single crystal growth of magnetron sputtered ZnO films2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, M. Kikuchi, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによる新規酸窒化物半導体材料の作製とエキシトンデバイスへの応用2021

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      東工大フロンティア材料研究所講演会「複合アニオン酸化物の新電子機能とデバイス研究の最前線」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] (ZnO)x (InN)1-x 膜のスパッタエピタキシーに及ぼす基板表面極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Atomically Flat Single-crystalline (ZnO) (InN) Films on O-polar ZnO Substrates by Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Solid-phase Crystallization of Sputter-deposited ZnON Films and Their Impacts as Seed Layers for ZnO:Al Transparent Conducting Oxides2021

    • 著者名/発表者名
      Z. Shen, N. Yamashita, Y. Mido, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, H. Yabuta, N. Itagaki
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Epitaxial growth of (ZnO)X(InN)1-X films by magnetron sputtering: effects of surface polarity of ZnO substrates2021

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, D. Yamashita, K. Kamataki, T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      Plathinium 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Sputter deposition of ZnAlO films with tunable bandgaps from 3.4 to 6.1 eV2021

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, K. Kaneshima, R. Narishige, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICMAP 2020 & ISFM 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Development of New Oxynitride Semiconductors with Tunable Band Gaps Using Magnetron Sputtering(Invited)2021

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] (仮)Sputter epitaxy through “inverse” SK mode for a new class of excitonic devices2021

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      MRS Fall 2021 Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputtering deposition of single crystalline ZnO films on sapphire substrates via inverted Stranski-Krastanov mode: effects of RF power2021

    • 著者名/発表者名
      R. Mitsuishi, D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, N. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 6th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] Inverted Stranski-Krastanov Growth of Single-Crystalline Zn Mg O Films on Sapphire Substrates using Magnetron Sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜の高温成膜2021

    • 著者名/発表者名
      御堂雄大, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] マグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表面モフォロジーに及ぼす基板極性の影響2021

    • 著者名/発表者名
      成重椋太, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣 奈穂
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18731
  • [学会発表] スパッタ法によるサファイア基板上への原子平坦なZnMgO薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      髙橋大智, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K20953
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法による(ZnO)X(InN)1-X膜の作製: 高温バッファー層の効果2020

    • 著者名/発表者名
      寺澤寛, 金島健太郎, 成重椋太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和2年度プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Midou, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Effects of substrate surface polarity on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-xfilms2020

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki,T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] A novel semiconductor ZION for excitonic devices2020

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      Satellite meeting of AAPPS-DPP2020
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Bandgap Tuning of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy2020

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita,T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] A novel semiconductor ZION for excitonic devices2020

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      Satellite meeting of AAPPS-DPP2020
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Midou, S. Urakawa, D. Yamashita, T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Effects of substrates on the epitaxial growth of (ZnO)x(InN)1-x films2020

    • 著者名/発表者名
      Ryota Narishige, Kentaro Kaneshima, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      12th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Application for Nitrides and Nanomaterials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter epitaxy through “inverse” SK mode for a new class of excitonic devices2020

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      4th Asia Pacific Conference on Plasma Physic
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Ar/N2スパッタリングによるサファイア基板上へのZnO単結晶成長:O-poorバッファー層の効果2020

    • 著者名/発表者名
      松本翔剛, 髙橋大智, 中村優太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和2年度プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法による(ZnO)X(InN)1-X膜の作製: 高温バッファー層の効果2020

    • 著者名/発表者名
      寺澤寛, 金島健太郎, 成重椋太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和2年度プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Ar/N2スパッタリングによるサファイア基板上へのZnO単結晶成長:O-poorバッファー層の効果2020

    • 著者名/発表者名
      松本翔剛, 髙橋大智, 中村優太, 山下大輔, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和2年度プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第24回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Sputter epitaxy through “inverse” SK mode for a new class of excitonic devices2020

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      4th Asia Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Bandgap Tuning of ZnMgO Films on Sapphire Substrates Fabricated by Sputter Epitaxy2020

    • 著者名/発表者名
      D. Takahashi, Y. Nakamura, S. Urakawa, D. Yamashita,T. Okumura, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Effects of substrate surface polarity on epitaxial growth of magnetron sputtered (ZnO)x(InN)1-xfilms2020

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki,T. Okumura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 5th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] (ZnO)x(InN)1-x膜のスパッタエピタキシーにおける基板温度の影響2019

    • 著者名/発表者名
      金島健太郎, 宮原奈乃華, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Surface morphology of single-crystal ZnO films on sapphire substrates fabricated by sputter epitaxy *Yuta Nakamura, Soichiro Muraoka, Kunihiro K2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, S. Muraoka, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Effects of Substrate temperature on Crystal Quality of (ZnO)x(InN)1-x Films Fabricated by Sputter Epitaxy2019

    • 著者名/発表者名
      K. Kaneshima, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] "Sputter deposition of wide-gap amorphous ZnAlON films with tunable bandgaps from 3.4 to 4.2 eV"2019

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki, D. Nakamura, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputtering Deposition with Impurities: Another Key Parameter to Control Film Structures2019

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] ZnO Based Semiconductors for Excitonic Devices2019

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリングによる可変バンドギャップ半導体(ZnO)x(AlN)1-xの創成2019

    • 著者名/発表者名
      浦川聖市, 宮原奈乃華, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      令和元年度日本表面真空学会 九州支部学術講演会(九州表面・真空研究会2019)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] ベイズ的最適化による高移動度アモルファスITO/In2O3成膜条件の探索2019

    • 著者名/発表者名
      岩本亮介, 鎌滝晋礼, 村岡宗一郎, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Fabrication of low resistive amorphous In2O3:Sn films using impurity mediate amorphization method: Effects of substrate temperature2019

    • 著者名/発表者名
      S. Muraoka, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      41st International Symposium on Dry Process (DPS2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Developing Prediction of Amorphization Condition Models from Sputter Deposition Experimental Results by Machine Learning Method2019

    • 著者名/発表者名
      K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, S. Muraoka, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Effects of Substrate temperature on Crystal Quality of (ZnO)x(InN)1-x Films Fabricated by Sputter Epitaxy2019

    • 著者名/発表者名
      K. Kaneshima, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter deposition of amorphous ZnAlON films with tunable bandgap2019

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板上(ZnO)x(InN)1-x薄膜の2段階成長2019

    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華,浦川聖市,山下大輔, 鎌滝晋礼,古閑 一憲,白谷 正治,板垣 奈穂
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Surface morphology of single-crystal ZnO films on sapphire substrates fabricated by sputter epitaxy2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, S. Muraoka, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter deposition of wide bandgap (ZnO)x(AlN)1-x alloys: a new material system with tunable bandgap2019

    • 著者名/発表者名
      S. Urakawa, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] ZnO Based Semiconductors for Excitonic Devices2019

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films for Excitonic Transistors2019

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Miyahara, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Tuning Parameters of Indium Tin Oxide Sputter Processing via Bayesian Optimization2019

    • 著者名/発表者名
      R. Iwamoto, S. Okunaga, S. Muraoka, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      20th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov growth: a method for growth of single crystalline films beyond lattice-matching condition (Invited)2019

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Satellite Workshop of XXXIV ICPIG & ICRP-10 "New trends of plasma processes for thin films and related materials for the deep discussion on new trends of plasma processes"
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板上への単結晶ZnO膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      中村優太, 村岡宗一郎, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] (ZnO)x(InN)1-x膜のスパッタエピタキシーにおける基板温度の影響2019

    • 著者名/発表者名
      金島健太郎, 宮原奈乃華, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Sputtering Deposition with Impurities: Another Key Parameter to Control Film Structures2019

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板上への単結晶ZnO膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      中村優太, 村岡宗一郎, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films for Excitonic Transistors2019

    • 著者名/発表者名
      R. Narishige, N. Miyahara, K. Kaneshima, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x Films on Sapphire Substrates2019

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, S. Urakawa, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] 不純物添加アモルファス化法による低抵抗アモルファスITO膜の作製: 基板温度の影響2019

    • 著者名/発表者名
      村岡宗一郎, 山下大輔, 鎌滝普礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第36回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21978
  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov Growth of Single Crystalline Films: A New Mode of Heteroepitaxy for Large Lattice Mismatched System2018

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      Int'l Conf. Processing Manufacturing Adv. Matter. (THERMEC2018)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov Growth of Single Crystalline Films: A New Mode of Heteroepitaxy for Large Lattice Mismatched System2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      10th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC 2018)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films via nitrogen-mediated amorphization: effects of target-substrate distance2018

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N. Itagaki
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Room Temperature Photoluminescence from (ZnO)0.79(InN)0.21 films fabricated by RF magnetron sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, L. Shi, K. Iwasaki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      10th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Sputter epitaxy of high quality (ZnO)x(InN)1-x: a new semiconducting material for excitonic devices2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen-mediated amorphization method: Effects of target-substrate distance2018

    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N, Itagaki
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of Compound Semiconductors via Inverse Stranski-Krastanov Mode: A Method of Single-Crystalline Film Growth beyond Lattice Matching Condition2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Imoto, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Excitonic devices for on-chip optical interconnects2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Joint workshop btw SKKU and Kyushu University Emerging materials and devices
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] マグネトロンスパッタによる擬2元系混晶(ZnO)x (InN,AlN)1-xのヘテロエピタキシー2018

    • 著者名/発表者名
      浦川 聖市,宮原 奈乃華,山下 大輔,鎌滝 晋礼,古閑 一憲,白谷正治,板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法による格子不整合基板上へZnOエピタキシャル成長―窒素酸素共添加多段バッファー層の効果―2018

    • 著者名/発表者名
      呂 佳豪, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 古閑 一憲, 白谷 正治, 板垣 奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter epitaxy of single crystalline ZnO on 18%-lattice-mismatched sapphire using multi buffer layers fabricated via nitrogen mediated crystallization2018

    • 著者名/発表者名
      Jiahao Lyu, Daisuke Yamashita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] フラックス制御スパッタによるIn-rich (ZnO)x(InN)1-x膜のヘテロエピタキシー2018

    • 著者名/発表者名
      宮原 奈乃華, 浦川 聖市, 山下 大輔, 鎌滝 晋礼,中村大輔, 古閑 一憲,白谷 正治,板垣 奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter epitaxy of high quality (ZnO)x(InN)1-x: a new semiconducting material for excitonic devices2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Catalyst-free growth of (ZnO)0.79(InN)0.21 nanorods by RF magnetron sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Nanoka Miyahara, Daisuke Yamashita, Daisuke Nakamura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Society 2018 Meeting & Exhibit
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] スパッタエピタキシーにより作製した(ZnO)0.73(InN)0.27のフォトルミネッセンス2018

    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華, 岩崎和也, 石榴, 山下大輔, 中村大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法を用いたSi(111)基板上でのZnO結晶成長における窒素不純物の効果2018

    • 著者名/発表者名
      村岡宗一郎、呂佳豪、山下大輔、鎌滝晋礼、古閑一憲、白谷正治、板垣奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] 格子整合条件を超えて原子平坦表面を実現する新規スパッタエピタキシー技術の開発~ZnO on sapphireを例に~2018

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 岩崎和也, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板直上へのIn-rich (ZnO)x(InN)1-x膜の作製2018

    • 著者名/発表者名
      宮原 奈乃華,山下 大輔,鎌滝 晋礼,中村大輔,古閑 一憲,白谷 正治,板垣 奈穂
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Room Temperature Photoluminescence from (ZnO)0.79(InN)0.21 films fabricated by RF magnetron sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Nanoka Miyahara, Liu Shi, Kazuya Iwasaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 学会等名
      Int'l Conf. Processing Manufacturing Adv. Matter. (THERMEC2018)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Ar/N2スパッタリングによる低抵抗アモルファスITO膜の作製:ターゲット-基板間距離の影響2018

    • 著者名/発表者名
      井本幸希, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of ZnO Based Compounds for Excitonic Deviceser Epitaxy of Compound Semiconductors via Inverse Stranski-Krastanov Mode: A Method of Single-Crystalline Film Growth2018

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Imoto, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Effects of nitrogen impurity on sputtering growth of ZnO films on Si(111) substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Soichiro Muraoka, Jiahao Lyu, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki1, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Society 2018 Meeting & Exhibit
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206
  • [学会発表] Effects of Gas Pressure on Crystal Quality of ZION Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      L. Shi, N. Miyahara, D. Yamashita, H. Seo, J. Lyu, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタにより格子不整合基板上に作製した表面平坦ZION薄膜2017

    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華, 松島宏一, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] スパッタエピタキシー法を用いた高品質単結晶薄膜の形成2017

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ核融合学会第29回専門講習会「スパッタ技術の現状と展望」
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Fabrication of surface flat (ZnO)x(InN)1-x films on 3%-lattice-mismatched a-sapphire substrates2017

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, K. Matsushima, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Photoluminescence from epitaxial (ZnO)x(InN)1-x films on sapphire substrates fabricated by RF magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, K. Iwasaki, L. Shi, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Morphology Evolution of ZnO Thin Films Deposited by Nitorogen Mediated Cristallization Method2017

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 2nd International Joint Conference on Advanced Engineering and Technology (IJCAET 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] マグネトロンスパッタ法によるSi(111)基板上への高品質ZnO膜の作製:窒素添加バッファー層の効果2017

    • 著者名/発表者名
      岩崎和也, 呂佳豪, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 不純物添加スパッタリング法による高移動度・ナノ結晶フリー a-In2O3:Sn薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Long-term evaluation of In nanoparticle transport in living body2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, A. Tanaka, M. Hirata, T. Amano, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma 2017/IC-PLANTS 2017
    • 発表場所
      Aichi, Japan
    • 年月日
      2017-03-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Photoluminescence from (ZnO)0.79(InN)0.21 films fabricated on sapphire substrates2017

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, K. Iwasaki, L. Shi, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法で作製したZION薄膜の結晶性に及ぼすガス圧力の影響2017

    • 著者名/発表者名
      石榴, 宮原奈乃華, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによる高品質(ZnO)0.8(InN)0.2薄膜の作製:スパッタリングガス圧力の影響2017

    • 著者名/発表者名
      竹内一登, 宮原奈乃華, 石榴, 岩崎和也, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Measurements of nitrogen and oxygen atom density in N2/Ar sputtering plasma for fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Takasaki, H. Wang, K. Matsushima, H. Seo, K. Koga, K. Takeda, M. Hori, and N. Itagaki
    • 学会等名
      International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov Growth of Single Crystalline ZnO-Based Semiconductors on Lattice Mismatched Substrates2017

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Iwasaki, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Fabrication of High-Mobility Amorphous In2O3:Sn Films by RF Magnetron Sputtering with Impurity-Mediated Amorphization Method2017

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, T. Takasaki, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 窒素添加スパッタリング法を用いたSi(111)基板上への高品質ZnO薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      岩崎和也, 呂佳豪, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Fabrication of High-Mobility Nanocrystal-Free a-In2O3:Sn Films by Magnetron Sputtering with Impurity-Mediated Amorphization Method2017

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      27th annual meeting of MRS-J
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov Growth of Pit-Free Single Crystalline ZnO Films on Lattice Mismatched Substrates2017

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Iwasaki, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      29th International Conference on Defects in Semiconductors (ICDS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 不純物添加スパッタリングによる高移動度アモルファスITOの作製2017

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ材料科学第 153委員会 第130回研究会 プラズマを用いた新奇プロセス・新規材料創製
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板上へのIn-N rich (ZnO)x(InN)1-x膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華, 岩崎和也, 石榴, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜のフォトルミネッセンス2017

    • 著者名/発表者名
      松島宏一, 宮原奈乃華, 岩崎和也, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Ar/N2 スパッタリングによる高品質 ZnO 膜の作製:基板温度の影響2017

    • 著者名/発表者名
      村岡宗一郎, 岩崎和也, 呂佳豪, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 逆SKモードを利用した超高品質スパッタエピタキシー2017

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 不純物添加法を用いた高移動度アモルファスIn2O3:Sn膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      高崎俊行, 松島宏一, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成28年度九州表面・真空研究会2016(兼第21回九州薄膜表面研究会)
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Comparative study of non-thermal atmospheric pressure discharge plasmas for life science applications2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, R. Katayama, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, P. Attri, E. L. Quiros, .A. Tanaka, M. Shiratani
    • 学会等名
      69th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2016)
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2016-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 大気圧DBDジェット装置のRONS照射量比較実験2016

    • 著者名/発表者名
      片山龍、サリノント タパナット、大井手芳徳、和田陽介、古閑一憲、山下大輔、徐鉉雄、板垣奈穂、田中昭代、白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] スパッタ製膜圧力が窒素添加ZnO膜の表面形状に与える影響2016

    • 著者名/発表者名
      岩崎和也, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Effect of photocatalyst TiO2 on the long-term stability of dye-sensitized solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre, Singapore
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Room temperature fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films via nitrogen-mediated amorphization method2016

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, W. Han, K. Iwasaki, K. Matsushima,D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre, Singapore
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Scalable DBDによるRONS照射量の二次元分布2016

    • 著者名/発表者名
      大井手芳徳、片山龍、サリノント タパナット、和田陽介、徐鉉雄、板垣奈穂、古閑一憲、白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Sputtering growth of (ZnO)x(InN)1-x semiconductor: a ZnO-based compound with bandgap tunability over the entire visible spectrum2016

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, D. Ymashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza, Japan
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)x(InN)1-x膜の表&#12207;モフォロジー制御2016

    • 著者名/発表者名
      松島宏&#12032;, 井手智章, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑&#12032;憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Comparative study on death of cells irradiated by non-thermal plasma, X-ray, and UV2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, A. Tanaka, Y. Nakatsu
    • 学会等名
      平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      対馬市
    • 年月日
      2016-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] High-mobility transparent amorphous In2O3:Ge films fabricated by impurity mediated amorphization method2016

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, H. Wang, N. Miyahara, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Plasma surface interactions of single crystal ZnO during sputtering in Ar+O2+N22016

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki and M. Shiratani
    • 学会等名
      Workshop on Plasma surface interaction for technological applications
    • 発表場所
      University of Kiel, Germany
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Time development of response of cells irradiated by non-thermal atmospheric air plasma2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Amano, Y. Nakatsu, H. Seo, N. Itagaki, A. Tanaka, T. Kondo, M. Shiratani
    • 学会等名
      6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM6)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovakia
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] バンドギャップチューニング可能なZnO系新半導体材料の開発(プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演)2016

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 松島宏一, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷 正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Inverse SK mode of epitaxial film growth and its application to solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The 3rd Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      Welli Hilli Park, Kangwon Province, Korea
    • 年月日
      2016-02-17
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Effects of Sputtering Gas Composition on Properties of ZnO Prepared by Nitrogen Mediated Crystallization Method2016

    • 著者名/発表者名
      N. Miyahara, T. Ide, K. Iwasaki, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Ar/N2 スパッタリングプラズマにより作製したアモルファスITO膜の表面形状2016

    • 著者名/発表者名
      王寒, 高崎俊行, 松島宏一, 岩崎和也, 宮原奈及華, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] アモルファスITO成膜用Ar/N2スパッタプラズマ中の窒素原子密度の測定2016

    • 著者名/発表者名
      高崎俊行, 王寒, 松島宏一, 竹田圭吾, 堀勝, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Dependence of amount of plasma activated water on growth enhancement of radish sprout2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Sarinont, R. Katayama, Y. Wada, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-12-21
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Relationship between Electric Property and Surface Flatness of (ZnO)x(InN)1-X Films on ZnO Templates2016

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      16th International Conference On Nanotechnology (IEEE NANO 2016)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Ar/N2/O2スパッタによるZnO薄膜の高品質エピタキシャル成長2016

    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華, 井手智章, 岩崎和也, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Deposition of high-mobility amorphous In2O3:Sn films by utilizing nitrogen mediated amorphization method2016

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, T. Ide, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 3rd Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      Welli Hilli Park, Kangwon Province, Korea
    • 年月日
      2016-02-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Non-thermal atmospheric air plasma irradiation to plant seeds for plasma agricultural applications2016

    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, M. Shirtani
    • 学会等名
      5th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-5)
    • 発表場所
      Rogla, Slovenia
    • 年月日
      2016-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] DNA Damage and Apoptosis Induction in Cells Irradiated by Non-thermal Atmospheric Air Plasma2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Amano, Y. Nakatsu, H. Seo, N. Itagaki, A. Tanaka, T. Kond, M. Shiratani
    • 学会等名
      6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovakia
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Measurements of Absolute N Atom Density in Ar/N2 Sputtering Plasma during Heteroepitaxial Growth of Single Crystalline ZnO Films on Sapphire Substrates2016

    • 著者名/発表者名
      K. Iwasaki, T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2016 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Chemical Ordering in ZnO-InN Pseudo Binary Alloys with Tunable Bandgap2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      2015 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston, USA
    • 年月日
      2015-11-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] ZnO-based semiconductors with tunable band gap for solar cell application2015

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      TKP HAKATAEKIMAE Meeting Room, Fukuoka
    • 年月日
      2015-01-10
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Measurement of absolute density of N atom in sputtering plasma for epitaxial growth ZnO films via nitrogen mediated crystallization2015

    • 著者名/発表者名
      T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Two Dimentional Visualization of Oxidation Effect of Scalable DBD Plasma Irradiation using KI-starch Solution2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Amano, T. Sarinont, T. Kawasaki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Nakatsu, A. Tanaka
    • 学会等名
      American Vacuum Society 62nd International Symposium and Exhibition (AVS)
    • 発表場所
      California, USA
    • 年月日
      2015-10-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 体内動態観察を目的とした水中プラズマによるインジウムナノ粒子の作製と投与2015

    • 著者名/発表者名
      天野孝昭, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治, 田中昭代, 平田美由紀
    • 学会等名
      新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」+「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」+「統合的神経機能の制御を標的とした糖鎖の作動原理解明」合同公開シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2015-08-09
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Measurements of nitrogen atom density in N2/Ar sputtering plasma for fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films2015

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, T. Ide, K. Matsushima, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Second and Third Generation Photovoltaics2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      2015 International Forum on Functional Materials (IFFM2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-06-25
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Gas Flow Rate Ratio Dependence Of Properties Of Carbon Films Deposited Using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVD2015

    • 著者名/発表者名
      X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 液中プラズマを用いたAuとPtナノ粒子の簡易作製法2015

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 天野孝昭, Thapanut Sarinont, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 中津可道, 平田美由紀, 田中昭代
    • 学会等名
      平成27年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      沖縄県中頭郡
    • 年月日
      2015-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 不純物添加結晶化法による高品質ZnO薄膜の形成2015

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      学振166委員会 第66回研究会
    • 発表場所
      アイビーホール青学会館、東京
    • 年月日
      2015-01-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] High-mobility amorphous In2O3:Sn films prepared by sputter deposition with nitrogen-mediated amorphization method2015

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, T. Takasaki, T. Nakanishi, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterial/8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      Nagoya University
    • 年月日
      2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Single Crystal Growth On Large Lattice-Mismatched Substrates By Using Buffer Layers With Fine Grains2015

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Requirements Of Buffer Layer For Heteroepitaxy Of ZnO On Lattice-Mismatched Substrate By Sputtering2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, H. Seo, K. Koga, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜作製におけるN2/Arスパッタリングプラズマ中の窒素原子絶対密度計測2015

    • 著者名/発表者名
      高崎俊行, 井手智章, 松島宏一, 竹田圭吾, 堀勝, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Sputtering growth of single-crystalline ZnO films on c-sapphire substrates by using impurity-mediated crystallization method: Effects of surface morphology2015

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2015 E-MRS Spring Meeting and Exhibit
    • 発表場所
      Congress Center (Grand Palais), Lille, France
    • 年月日
      2015-05-11
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 可視領域でバンドギャップチューニング可能なZnO系新材料の開発2015

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 松島宏一, 井手知章, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学,神奈川
    • 年月日
      2015-03-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法を用いたZnO膜作製におけるN2/Arプラズマ中のN原子絶対密度計測2015

    • 著者名/発表者名
      井手智章, 松島宏一, 高崎俊行, 竹田圭吾, 堀勝, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Improving of Harvest Period and Crop Yield of Arabidopsis Thaliana L. using Nonthermal Atmospheric Air Plasma2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      American Vacuum Society 62nd International Symposium and Exhibition (AVS)
    • 発表場所
      California, USA
    • 年月日
      2015-10-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Effects of Substrate Temperature on Film Growth Mode of ZnO-InN Pseudo Binary Alloys2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, D. Yamashita, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      9th APSPT/28th SPSM
    • 発表場所
      Nagasaki University
    • 年月日
      2015-12-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] O2/N2分圧比制御による高品質(ZnO)x(InN)1-x膜のスパッタリング形成2015

    • 著者名/発表者名
      松村勇希, 松島宏一, 井手智章, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 学会等名
      ICRP-9/GEC-68/SPP-33
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Synthesis of indium-containing nanoparticles using plasmas in water to study their effects on living body2015

    • 著者名/発表者名
      T. Amano, K. Koga, T. Sarinont, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Kitazaki, M. Hirata, Y. Nakatsu, A. Tanaka
    • 学会等名
      ICRP-9/GEC-68/SPP-33
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] ZnInON膜作製時におけるAr/O2/N2プラズマ中のO原子及びN原子の絶対密度計測2015

    • 著者名/発表者名
      松島宏一, 井手智章, 高崎俊行, 竹田圭吾, 堀勝, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Simple Evaluation Method of Atmospheric Plasma Irradiation Dose using pH of Water2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, H. Seo, N. Itagaki, Y. Nakatsu, A. Tanaka, M. Shiratani
    • 学会等名
      ICRP-9/GEC-68/SPP-33
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 超高効率太陽電池への挑戦 ~量子効果を利用した新型太陽電池の実現に向けて~2015

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      第25回精密加工プロセス研究会講演会
    • 発表場所
      リファレンス駅東ビル
    • 年月日
      2015-10-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] 可視領域でバンドギャップチューニング可能な新材料ZIONの開発2015

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      固体化学の新しい指針を探る研究会第78回定例研究会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2015-10-02
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Third Generation Photovoltaics2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 1st Asian Workshop on Advanced Plasma Technology and Application
    • 発表場所
      New Taipei City, Taiwan
    • 年月日
      2015-07-19
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Sputter Deposition Of Amorphous In2O3:Sn Films With High Mobility By Utilizing Nitrogen Mediated Amorphization Method2015

    • 著者名/発表者名
      T. Takasaki, T. Ide, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] Measurements of absolute densities of nitrogen and oxygen atoms in sputtering plasma for fabrication of ZnInON films2015

    • 著者名/発表者名
      K. Matsushima, T. Ide, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05431
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法によるc面サファイア基板上へのZnO膜の作製:歪み緩和におけるバッファー層結晶粒密度の影響2015

    • 著者名/発表者名
      井手智章, 松島宏一, 清水僚太, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] ZnO based semiconductors fabricated by impurity mediated crystallization(Invited)2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      SPIE(international society for optics and photonics) photonics west 2013
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputtering growth of ZnO-based semiconductors using ZnON buffer layers for optoelectronic applications2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
    • 発表場所
      The Riverside Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2014-04-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] 不純物添加結晶化法を用いた高品質ZnO薄膜のスパッタリング成膜」 -格子不整合基板上への単結晶膜の作製から極薄透明導電膜の作製まで2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第137回定例研究会
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Novel oxynitride semiconductors for photovoltaic applications (太陽電池のための新規酸窒化物材料の探索)2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      36th Seminar of Photovoltaic Power Generation Project (第36回平成26年度太陽光発電プロジェクト講演会 )
    • 発表場所
      宮崎大学
    • 年月日
      2014-05-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Synthesize of ZnO-based Semiconductor with Tunable Band Gap and Its Application in Multi-Quantum-Well Solar Cells2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center
    • 年月日
      2014-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation2014

    • 著者名/発表者名
      K.Koga, Y.Morita, K.Kamataki, D.Yamashita, N.Itagaki, G.Uchida, and M.Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-02-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Sputtering Growth of ZnO-based semiconductors with Band Gap Tunability over the Entire Visible Spectrum2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces (PacSurf 2014)
    • 発表場所
      Hapuna Beach Prince Hotel, Hawaii, USA
    • 年月日
      2014-12-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Sputteing Growth of High-Quality ZnO-based Semiconductors for Optoelectronic Applications2014

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      American Vacuum Society 61st International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Baltimore, Maryland, USA
    • 年月日
      2014-11-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] ZnO based semiconductors fabricated by impurity mediated crystallization (tentative)2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2014
    • 発表場所
      San Francisco, California, United States
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications2014

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, K.Kamataki
    • 学会等名
      The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
    • 年月日
      2014-01-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] c面サファイア基板上への単結晶ZnO膜の形成 : 格子不整合系ヘテロエピタキシーにおける成長初期過程の表面形態の影響2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 井出智章, 松島宏一, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Sputter-Deposition of Pseudobinary ZnO-InN Alloys with Tunable Bandgap for Photovoltaic Application2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, R. Shimizu, and T. Ide
    • 学会等名
      International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2014 (ICMAP2014)
    • 発表場所
      Gunsan Saemangeum Convention Center, Gunsan, Korea
    • 年月日
      2014-07-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] RFスパッタリングによるInナノ粒子の作製とその体内動態2014

    • 著者名/発表者名
      天野孝昭、古閑一憲、Thapanut Sarinont, 板垣奈穂、白谷正治、林 信哉、中津可道、續 輝久、平田美由紀、田中昭代
    • 学会等名
      第61回応用物理学会 春季大学
    • 発表場所
      相模原
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] ZnInON系太陽電池材料の探索2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第5回薄膜太陽電池セミナー
    • 発表場所
      名古屋
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] 非平衡極限-窒素添加法による高移動度・非晶質In2O3:Sn膜の作製-2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 中西貴彦, スハリアディ イピン, 山下大輔, ソウ ヒョンウォン, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] スパッタリング成膜法による高品質酸化亜鉛薄膜の形成2014

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第30回 九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      ラグナガーデンホテル、沖縄
    • 年月日
      2014-11-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Subacute toxicity of gallium arsenide, indium arsenide and arsenic trioxide following intermittent intratracheal instillations to the lung of rats2014

    • 著者名/発表者名
      Tanaka A, Hirata M, Koga K, Itagaki N, Shiratani M, Hayashi N, Uchida G
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing, February 3-7
    • 発表場所
      福岡コンベンションセンター(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Sputtering Growth of Pseudobinary ZnO-InN Alloys with Tunable Band Gap for Application in Multi-Quantum Well Solar Cells2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Ide, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston, USA
    • 年月日
      2014-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Fabrication of Pseudo-binary ZnO-InN Alloys with Tunable Bandgap by Low-Temperature Magnetron Sputtering2014

    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki
    • 学会等名
      15th IUMRS-International Conference in Asia
    • 発表場所
      Fukuoka University
    • 年月日
      2014-08-29
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Sputtering growth of single-crystalline ZnO-based semiconductors on lattice mismatched substrates2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, I. Suhariadi, D. Yamashita, H. Seo, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Society for Optics and Photonics, Photonics West 2014
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] スパッタリングにおけるZnNOx膜の初期成長制御とグリーンデバイスへの展開2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      学振153、154、131合同研究会
    • 発表場所
      名古屋大学,愛知
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Fluctuation in Plasma Processes2013

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2013)
    • 発表場所
      Gero Synergy Center, Japan
    • 年月日
      2013-02-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 高効率太陽電池の実現に向けた新規酸窒化物半導体ZnInONのバンドギャップエンジニアリング2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      第5回 革新的太陽光発電国際シンポジウム
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,石川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter deposition of zinc-indium oxynitride semiconductors with narrow bandgap for excitonic transistors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      Nagoya University, Japan
    • 年月日
      2013-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter Deposition of Atomically-Flat ZnO Films on Lattice Mismatched Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, S. Iping, K. Oshikawa, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, and M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The Korea Japan Workshop and AJC Meeting
    • 発表場所
      自然科学研究機構 岡崎コンファレンスセンター,愛知
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter deposition of high quality ZnO based semiconductors in Ar/N2 atmosphere (tentative)2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      he 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter Deposition of Single Crystal ZnO Films on 18% Lattice mismatched c-Al2O3 Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
    • 発表場所
      Kyoto Research Park, Kyoto, Japan
    • 年月日
      2013-07-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Safety issues on plasma life science2013

    • 著者名/発表者名
      Shiratani M, Koga K., Tanaka A, Hirata M. Hayashim H. Itagaki N. Uchida G
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Jeju Iland, Korea.
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Sputter Deposition of Atomically-Flat ZnO Films on Lattice Mismatched Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The Korea Japan Workshop and AJC Meeting
    • 発表場所
      Okazaki Conference Center, Japan
    • 年月日
      2013-01-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] スパッタリングにおけるZnNOx膜の初期成長制御とグリーンデバイスへの展開2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      学振153、154、131合同研究会
    • 発表場所
      名古屋大学,愛知
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Band-Gap Engineering of ZnO Based Semiconductors Deposited by Sputtering2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University, Kyoto, Japan
    • 年月日
      2013-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter Deposition of Single Crystal ZnO Films on 18% Lattice mismatched c-Al2O3 Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, S. Iping, K. Oshikawa, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      International Symposium on Sputtering and Plasma Processe
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Sputter deposition of zinc-indium oxynitride semiconductors with narrow bandgap for excitonic transistors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋大学,愛知
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter Deposition of Single Crystal ZnO Films on 18% Lattice Mismatched c-Al2O3 Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, S. Iping, K. Oshikawa, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, and M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] 不純物添加結晶化法による酸化亜鉛の高品質成長と新規2次元材料への展開2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第29回九州山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      大分
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Novel Application of Ar/N2 Discharges to Sputtering Growth of High Quality Oxide Semiconductors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The XXXI edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada, Spain
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Novel Application of Ar/N2 Discharges to Sputtering Growth of High Quality Oxide Semiconductors (Invited)2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The XXXI edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada, Spain
    • 年月日
      2013-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Novel Approach to Sputtering Growth of Single Crystalline Oxide Semiconductors for Optoelectronic Applications2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Band-Gap Engineering of ZnO Based Semiconductors Deposited by Sputtering2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University, Kyoto
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] スパッタ法による C 面サファイア基板上への原子平坦 ZnO 薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Tuning nanostructures of plasma CVD films (Plenary)2013

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo, Kunihiro Kamataki
    • 学会等名
      The Korea Japan Workshop and AJC Meeting
    • 発表場所
      岡崎市
    • 年月日
      2013-01-26
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] 振幅変調放電プラズマ中のナノ粒子成長初期におけるナノ粒子量の時空間分布2013

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 森田康彦, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,厚木市
    • 年月日
      2013-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Synthesis and Characterization of Oxynitride Semiconductor ZnInON with Tunable Bandgap2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G.Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Fukuoka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Crystallinity Control of Sputtered ZnO:Al Transparent Conducting Films by Utilizing Buffer Layers Fabricated2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Oshikawa, I. Suhariadi, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Solid State Devices and Materials 2013 (SSDM)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] 高効率太陽電池の実現に向けた新規酸窒化物半導体ZnInONのバンドギャップエンジニアリング2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第10回 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム,
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,石川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Novel Approach to Sputtering Growth of Single Crystalline Oxide Semiconductors for Optoelectronic Applications (Invited)2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Jeju, korea
    • 年月日
      2013-08-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] スパッタ法によるC面サファイア基板上への原子平坦ZnO薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 桑原和成, 山下大輔, 徐鉉雄, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter Deposition of Semiconductor-Grade ZnO Based Materials on Lattice Mismatched Substrates for Optoelectronic Applications2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The Collaborative Conference on Materials Research 2013
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2013-06-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Novel Application of Ar/N2 Discharges to Sputtering Growth of High Quality Oxide Semiconductors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The XXXI edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada, Spain
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Novel metal oxinitride materials for optoelectronic applications2013

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, N.Itagaki, K.Matsushima, R.Shimizu, H.Seo, K.Koga
    • 学会等名
      2013 EMN Fall Meeting
    • 発表場所
      Orland, Florida, USA
    • 年月日
      2013-12-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Observation of growth of nano-particles using a high speed camera2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      The 15th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Sungkyunkwan University, Korea
    • 年月日
      2012-06-07
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Semiconductors for Piezo-Electric-Field Effect MQW Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      IUMRS‐ICEM 2012
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter deposition of Epitaxial Zinc-Indium Oxynitride Films for Excitonic Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The 34th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      the University of Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Piezo-electric-field effect MQW solar cells based on novel oxynitride semiconductors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      JST-PRESTO International Joint Symposium on Photo-Science Leading to a Sustainable Society: Environment, Energy, Functional Materials
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2012-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Thin Films for Multiple-Quantum Well Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto University, Japan
    • 年月日
      2012-10-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Epitaxial Growth of ZnO Based Semiconductors via Impurity-Additive Mediated2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, T. Hirose, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      2012 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, United States
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス2012

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, Hyunwoong Seo, 白谷正治
    • 学会等名
      第28回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      由布院倶楽部, 由布市
    • 年月日
      2012-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 板垣奈穂, Iping Suhariadi, 桑原和成, 山下大輔, 徐鉉雄, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治,窒素添加結晶化バッファー層によるZnO:Al 薄膜の結晶性制御: 窒素供給量の影響2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, Iping Suhariadi, 桑原和成, 山下大輔, 徐鉉雄, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学、東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Thin Films for Multiple-Quantum–Well Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] 高効率量子井戸型太陽電池のための新規酸窒化物半導体薄膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂、松島宏一、桑原和成、押川晃一郎、Iping Suhariadi、山下大輔、徐鉉雄、鎌滝晋礼、内田儀一郎、古閑一憲、白谷正治 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      第9回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
    • 発表場所
      京都テルサ, 京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Sputter deposition of Epitaxial Zinc-Indium Oxynitride Films for Excitonic Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The 34th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Novel fabrication method for ZnO films via nitrogen-mediated crystallization2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, K. Oshikawa
    • 学会等名
      SPIE(international society for optics and photonics) photonics west 2012(招待講演)
    • 発表場所
      The Moscone Center, San Francisco, United States of America
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Optical Trapping of Single Fine Particle in Plasmas for study of interactions between a fine particle and plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Satoshi Kitazaki, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      NANOSMAT 2012
    • 発表場所
      AquaPalace Hotel in Prague, Czech Republic
    • 年月日
      2012-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 反応性プラズマ中でのナノ粒子成長の時空間分布2012

    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第16回支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟,春日市
    • 年月日
      2012-12-22
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Interaction between amplitude modulated reactive plasmas and nanoparticles growth in the plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, M.Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
    • 発表場所
      中部大学,春日井市
    • 年月日
      2012-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Piezo-electric-field effect MQW solar cells based on novel oxynitride semiconductors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      JST-PRESTO International Joint Symposium on Photo-Science Leading to a Sustainable Society: Environment, Energy, Functional Materials
    • 発表場所
      慶應義塾大学、横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Semiconductors for Piezo-Electric-Field Effect MQW Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      IUMRS‐ICEM 2012
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama, Japan
    • 年月日
      2012-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Control of size distribution of nanoparticles produced in reactive plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto University ROHM Plaza, Japan
    • 年月日
      2012-10-03
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] A Theoretical Model of a Relationship between Plasma Fluctuation and Nanostructure Fluctuation2012

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      International Union of Material Research Societies International Conference on Electronic Material 2012
    • 発表場所
      PACIFICO YOKOHAMA, Japan
    • 年月日
      2012-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法による高品質酸化亜鉛薄膜の作成とその応用2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      次世代太陽電池研究会
    • 発表場所
      和多屋別荘、嬉野
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] 高効率量子井戸型太陽電池のための新規酸窒化物半導体薄膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第9回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
    • 発表場所
      京都テルサ
    • 年月日
      2012-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] 窒素添加結晶化バッファー層による ZnO:Al 薄膜の結晶性制御: 窒素供給量の影響2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Epitaxial Growth of ZnO Based Semiconductors via Impurity-Additive Mediated2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      2012 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, USA
    • 年月日
      2012-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] A simplified model of a relationship between plasma fluctuation and size distribution of nanoparticles formed in reactive plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      13th Workshop on Fine Particle Plasma
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Japan
    • 年月日
      2012-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 放電電力変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長の時空間構造の観測2012

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第29回年会
    • 発表場所
      春日クローバープラザ,春日市
    • 年月日
      2012-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Crystallinity control of sputtered ZnO films by utilizing buffer layers fabricated via nitrogen mediated crystallization: Effects of nitrogen flow rate2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      13th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2012-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Impacts of plasma fluctuation on nanostructure formation using plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      The Third International Symposium on Plasma Nanoscience
    • 発表場所
      Johor, Malaysia and Nanyang Technological University,シンガポール
    • 年月日
      2012-02-29
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Novel fabrication method for ZnO films via nitrogen-mediated crystallization2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      SPIE(international society for optics and photonics) photonics west 2012
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2012-01-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] 高周波放電のAM変調によるナノ粒子サイズ分布の制御2011

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 鎌滝晋礼, 西山雄士, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成23年度(第64回)電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      佐賀大学本庄キャンパス,佐賀市
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Ar/N2 マグネトロンスパッタによる低抵抗ZnO:Al膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂
    • 年月日
      2011-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Fabrication of highly conducting ZnO:Al films utilizing solid-phase crystallized seed layer2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Nakahara, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      E-MRS 2011 SPRING MEETING
    • 発表場所
      Congress Center, Nice, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] プラズマCVD中におけるナノ粒子成長に対するプラズマ揺らぎの効果2011

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマエレクトロニクス文科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学野依記念学術交流会館,名古屋市
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] ZINC OXIDE-BASED TRANSPARENT CONDUCTING FILMS WITH BUFFER LAYERS FABRICATED VIA NITROGEN-MEDIATED CRYSTALLIZATION2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      シーホークホテル、福岡
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Low resistive ZnO:Al films with ZnO buffer layers fabricated by Ar/N2 magnetron sputtering2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, K. Oshikawa
    • 学会等名
      PLASMA2011 conference
    • 発表場所
      石川県立音楽堂、金沢
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Control of size distribution of nanoparticles in reactive plasmas by using AM rf discharges2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga
    • 学会等名
      12th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      核融合科学研究所,土岐市
    • 年月日
      2011-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法による超均一・低抵抗酸化亜鉛薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂
    • 学会等名
      第27回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,金沢市
    • 年月日
      2011-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2011

    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
    • 発表場所
      大阪大学銀杏会館,吹田市
    • 年月日
      2011-07-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Multi-hollow discharge plasma CVD : Si deposition2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2011)
    • 発表場所
      Queen's University Belfast, Belfast (英国)(プレナリー講演)
    • 年月日
      2011-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Zinc oxide-based transparent conducting films with buffer layers fabricated via nitrogen-mediated crystallization2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama, Japan
    • 年月日
      2011-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Three growth modes of nanoparticles generated in reactive plasmas2011

    • 著者名/発表者名
      K.Koga, K.Kamataki, S.Nunomura, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratanil, U.Czarnetzki
    • 学会等名
      DPG Spring Meeting of the Section AMOP (SAMOP)
    • 発表場所
      University of Stuttgart,シュトゥットガルト(ドイツ)
    • 年月日
      2011-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 窒素添加結晶化法による超均一・低抵抗酸化亜鉛薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂,桑原和成,中原賢太,山下 大輔,鎌滝晋礼, 内田儀一郎,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第26回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      柳川 かんぽの宿、柳川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Fabrication of high quality ZnO films via nitrogen-mediated crystallization2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学、大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Spatial distribution of resistivity of ZnO:Al thin films fabricated on solid-phase crystallized seed layers2011

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, D. Yamashita, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      E-MRS 2011 Fall MEETING
    • 発表場所
      Warsaw University of Technology, Poland
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] ZnO:Al薄膜の抵抗率の面内均一性に対する固相結晶化シード層の効果2011

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂,桑原和成,中原賢太,山下 大輔,鎌滝晋礼, 内田儀一郎,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学、山形市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285
  • [学会発表] Manipulation of Nano-objects Uusing Plasmas for a Plasma Nano-factory2010

    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      The 11th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2010-11-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する電力摂動の効果2010

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼、宮田大嗣、古閑一憲、内田儀一郎、板垣奈穂、山下大輔、松崎秀文、白谷正治
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎県長崎市
    • 年月日
      2010-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Band gap control of nc-Si thin films deposited multi-hollow discharge plasma CVD

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki
    • 学会等名
      The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] ナノ粒子含有振幅変調放電プラズマ中のAr準安定原子密度

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 森田康彦, 伊東鉄平, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      日本物理学会 第69回年次大会
    • 発表場所
      東海大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Formation of self-organized nanostructures using high pressure CH4+Ar plasmas

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani and U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering
    • 発表場所
      Haeundae Grand Hotel, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Selective removal of clusters in silane plasmas by cluster eliminating filter

    • 著者名/発表者名
      Y. Hashimoto, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Nanoparticle amount in reactive plasmas with amplitude modulation detected by twodimensional laser light scattering method

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Amplitude modulation frequency dependence of nanoparticle amount in plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Infrared Laser Manipulation of Single Fine Particle Levitated at Plasma/Sheath Boundary

    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Coupling between radicals in plasmas and nanoparticle growth in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Combinatorial evaluation of optical properties of crystalline Si nanoparticle embedded Si films deposited by a multi-hollow discharge plasma CVD method

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子成長のバイスペクトル解析

    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 伊東鉄平, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲 , 白谷正治
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるナノ粒子量空間分布の変調周波数依存性

    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVDにおけるa-Si:H膜中クラスター混入量に対する振幅変調放電の効果

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 橋本優史, 金光善徳, 鳥越祥宏, 徐鉉雄, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第17回支部大会
    • 発表場所
      佐世保工業高等専門学校
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Sputter Deposition of Semiconductor-Grade ZnO Based Materials on Lattice Mismatched Substrates for Optoelectronic Applications

    • 著者名/発表者名
      aho Itagaki, Kazunari Kuwahara, Kouichi Matsushima, Kouichiro Oshikawa, and Iping Suarihadi
    • 学会等名
      The Collaborative Conference on Materials Research 2013
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630127
  • [学会発表] Combinatorial plasma CVD of Si nanoparticle composite films for band gap control

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Effects of Amplitude Modulation on Stability of Hydrogenated Amorphous Silicon Films Deposited using Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method

    • 著者名/発表者名
      Y. Torigoe,Y. Hashimoto, S. Toko, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      2014 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Subacute toxicity of gallium arsenide, indium arsenide and arsenic trioxide following intermittent intrantracheal instillations to the lung of rats

    • 著者名/発表者名
      Akiyo Tanaka, Miyuki Hirata, Kazunori Koga, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Nobuya Hayashi, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      福岡コンベンションセンター(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [学会発表] Observation of nanoparticle growth process using high speed camera

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, K. Koga, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, D. Yamashita and M. Shiratani
    • 学会等名
      21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] プラズマ中に光捕捉した単一微粒子を用いたプラズマと界面の相互作用評価

    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 森田康彦, 岩下伸也, 山下大輔, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in reactive plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長とプラズマ揺らぎ

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Transport of nanoparticles produced in reactive plasmas using a positively-biased collector

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Bispectrum analysis of nanoparticle growth in reactive dusty plasmas

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Production of SiC nanoparticles for Li-ion battery applications by using a high pressuremulti-hollow discharge plasma CVD

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, D. Ichida, Y. Kanemitsu, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, T. Ishihara, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Carbon Nanostructure formed by high pressure methane plasmas

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Time evolution of spatial profile of nanoparticle amount in amplitude modulated capacitively coupled reactive plasmas

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, Y. Morita, S. Iwashita, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
    • 学会等名
      23rd Annual Meeting of MRS-JAPAN 2013
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, and K. Koga
    • 学会等名
      21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Plasma Etching of Single Fine Particle Trapped By Optical Tweezers

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, D. Yamashita, K. Koga, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida
    • 学会等名
      The 26th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-26)
    • 発表場所
      Centennial Hall Kyushu University School of Medicine, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Effects of plasma incident angle of dust production due to interactions between hydrogen plasmas and carbon wall

    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group d, S. Bornholdte, H. Kersten
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Analysis of fluctuation of Ar metastable density and nanoparticle amount in capacitively coupled discharges with amplitude modulation

    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Correlation between Plasma Fluctuation and Nanoparticle Amount in Initial Growth Phase in Reactive Plasmas with Amplitude Modulation

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, Y. Morita, K. Kamataki, D. Yamashita, N. Itagaki, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      14th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Toki, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Evaluation of Interactions between Plasmas and Interface using Optically Trapped Single Fine Particle

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, N. Itagaki, H. Seo, K. Kamataki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Raman spectroscopy of a fine particle optically trapped in plasma

    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] Novel metal oxinitride materials for optoelectronic applications

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, N. Itagaki., K. Matsushima, R. Shimizu, H. Seo, K. Koga
    • 学会等名
      2013 EMN Fall Meeting
    • 発表場所
      Orland, Florida, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] High Pressure Nonthermal Methane Plasmas for Nanoparticle Production

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Kamataki, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • [学会発表] ハイスピードカメラを用いたナノ粒子成長プロセスの観測

    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第7回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005
  • 1.  白谷 正治 (90206293)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 197件
  • 2.  古閑 一憲 (90315127)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 116件
  • 3.  内田 儀一郎 (90422435)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 83件
  • 4.  木山 治樹 (80749515)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 8件
  • 5.  鎌滝 晋礼 (60582658)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 80件
  • 6.  徐 鉉雄 (00618499)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 60件
  • 7.  田中 昭代 (10136484)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 17件
  • 8.  續 輝久 (40155429)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 9.  作道 章一 (10397672)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  後藤 昌昭 (10145211)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  平田 美由紀 (30156674)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 26件
  • 12.  柳生 義人 (40435483)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  米須 章 (90220764)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  北崎 訓 (70713147)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 15.  林 信哉 (40295019)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 16.  山下 佳雄 (50322300)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 17.  井上 弘士 (80341410)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  田中 雅光 (10377864)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  中村 宏 (20212102)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  川上 哲志 (20845523)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  谷本 輝夫 (60826353)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  浜屋 宏平 (90401281)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  太田 裕道
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 24.  Attri Pankaj
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件
  • 25.  奥村 賢直
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 26.  内田 諭
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 27.  片瀬 貴義
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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