田中成泰 Tanaka Shigeyasu

研究者番号	70217032
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所属 (現在)	2025年度: 中部大学, 生命健康科学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2018年度 – 2023年度: 中部大学, 生命健康科学部, 教授 2015年度 – 2016年度: 中部大学, 生命健康科学部, 教授 2013年度 – 2014年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授 2007年度 – 2010年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授 2005年度 – 2006年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 講師 … もっと見る 2004年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 助教授 2004年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究機構, 講師 2002年度 – 2003年度: 名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 講師 2002年度: 名古屋大学, 理工科学研究センター, 講師 1997年度 – 2001年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助手 1997年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助手 1993年度 – 1996年度: 名古屋大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 電子・電気材料工学 / 小区分90110:生体医工学関連 / 小区分21050:電気電子材料工学関連研究代表者以外応用物理学一般 / 表面界面物性 / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・機器工学 / 応用光学・量子光工学 / 工学 / 理工系 / 応用物性・結晶工学 / 薄膜・表面界面物性
キーワード	研究代表者 SEM / 走査型電子顕微鏡 / シリコン / p-n接合 / 電子線誘起電流 / 半導体 / TEM / 画像修復 / 反射電子像 / 走査電子顕微鏡 … もっと見る / 最大エントロピー法 / コントラスト / 電位コントラスト / 不純物濃度 / EBIC / PN接合 / 電子顕微鏡 / 作成・評価技術 / イオン研磨法 … もっと見る研究代表者以外 Electron Microscopy / 電子顕微鏡 / Quantum Noise / 電子レンズ / 球面収差補正 / 量子ノイズ / 薄膜レンズ / 収差補正 / 球面収差 / 電子線ホログラフィ / GaN / Image Restoration / Maximum Entropy Method / 画像修復 / 最大エントロピー法 / YAG / 透過電子顕微鏡 / Scanning Transmission Electron Microscopy / Foil Lens / Spherical Aberration / 走査透過電子顕微鏡 / カーボンナノチューブ / シリコン基板 / 光導波路 / 面間拡散 / ファセット成長 / 選択成長 / MOVPE / electron holography / transmission electron microscope / real time observation / stereoscopy / 透過型電子顕微鏡 / ステレオ位相顕微鏡 / 実時間ステレオ電子顕微鏡 / 実時間ステレオ観察 / 立体像観察 / ステレオ電子線ホログラフィ / 電子線実体位相顕微鏡 / 透過電子顕微鏡観察 / ステレオ法 / 立体観察 / 実時間観察 / ステレオ電子顕微鏡 / focused ion beam (FIB) / precise diamond cutter / surface decomposition of SiC / field emission electron gun / carbon nano-tube / SiC / 電界放出形電子銃 / FIB / 精密ダイヤモンドカッター / 炭化珪素 / 表面分解法 / 配向成長 / 収束イオンピーム(FIB)加工 / 収束イオンビーム(FIB)加工 / 精密ダイアモンドカッター / 炭化珪素表面分解法 / 電界放出電子銃 / Quantum dot / HVPE / Surface diffusion / Growth on facets / Selective growth / Hetero-epitaxy / 異種基板 / 緩衝層 / 三族窒化物 / 伝導性制御 / 量子細線 / ダブルヘテロ構造 / 量子ドット / HVPE法 / MOVPE法 / 表面拡散 / 選択成長法 / ヘテロエピタキシ / Resolution / Electron Lens / Correction / 超高分解能 / 高分解能 / 5次球面収差 / 対物レンズ / 分解能 / Complex Wave Function / Contrast Transfer Function / Structure Analysis / Random Noise Constraint / ランダム空間分布制約条件 / 複素波動関数 / コントラスト伝達関数 / 構造解析法 / ランダム空間分布制約 / 電子顕微鏡像 / electron beam annealing / Lorentz microscopy / granular film / fine magnetic structure / ローレンツ電顕法 / 電子ビーム加熱 / ローレンツ電子顕微鏡法 / グラニュラー膜 / 微細磁気構造 / 弱位相物体 / lens coupling system / glass hemisphere / high efficient scintillator / TV-system / high voltage electron microscope / 高効率シンチ-タ / レンズカップリング / 半球ガラス / 高効率シンチレータ / TVシステム / 超高圧電子顕微鏡 / electron lens / foil lens / spherical aberration correction / transmission electron microscopy / 球面収差測定法 / Electron Probe / Shadow Image / Aberration Correction / 信号演算処理 / 統計ノイズ / 非回転対称収差 / プローブフォーミングレンズ / 電子プローブ / 陰影像 / 電子線励起電流 / 電子線励起深紫外レーザ / ソーラーブラインド紫外線検出器 / バルクAlN / ナノカーボン電極 / 分極半導体 / グラフェン / 低加速電圧SEM / 分極電荷エンジニアリング / バルクAlN基板 / 深紫外発光素子 / ナノワイヤ / 深紫外 / 分極ドーピング / 熱処理 / ナノカーボン / 結晶成長その場観察 / AlGaN / AlN / 電気・電子材料 / 電子線ホログラフィー / 界面構造 / Si基板 / 時間分解分光 / 光デバイス / ナノヘテロ構造 / 不純物ドーピング / ナノへテロ構造 / 窒化物半導体 / 高干渉性電子線 / 制限視野電子回折 / 酸化ニッケル / 巨大磁気抵抗効果 / 電子線回析 / Cu / Co / 磁性金属多層膜 / 電子回折 / 反強磁性体隠す

細胞内微細構造のSEM反射電子像の高解像化のための画像処理法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分90110:生体医工学関連
- 研究機関
  中部大学
SEM像電位コントラストの原理解明と定量化手法の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21050:電気電子材料工学関連
- 研究機関
  中部大学
次世代半導体デバイスのための不純物分布計測技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  中部大学
   名古屋大学
分極を有する半導体の物理構築と深紫外発光素子への展開
- 研究代表者
  
  天野浩
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  名古屋大学
次世代デバイス評価のための不純物分布計測技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
加工シリコン基板上への窒化物半導体の選択再成長法によるナノヘテロ構造の創製
- 研究代表者
  
  澤木宣彦
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  名古屋大学
反強磁性薄膜材料の電子波による研究
- 研究代表者
  
  丹司敬義
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
電子線実体位相顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  丹司敬義
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究
- 研究代表者
  
  澤木宣彦 (沢木宣彦)
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
カーボンナノチューブ電界放出型電子銃を透過電子顕微鏡へ搭載するための研究
- 研究代表者
  
  丹司敬義
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
薄膜レンズを用いた球面収差補正による電子顕微鏡の高分解能化
- 研究代表者
  
  花井孝明
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  名古屋大学
電子顕微鏡像の最大エントロピー修復による構造解析法の研究
- 研究代表者
  
  花井孝明
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  名古屋大学
微細構造グラニュラー膜作製のための基礎的研究
- 研究代表者
  
  丹司敬義
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
高品質な高分解能電顕像を得るための半導体試料の薄片化法の検討研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
高輝度・高解像度電子顕微鏡観察YAGスクリーンに関する基礎研究
- 研究代表者
  
  日比野倫夫
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  名古屋大学
最大エントロピー法を用いた画像修復による電子顕微鏡の高解像化に関する研究
- 研究代表者
  
  花井孝明
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  名古屋大学
高品質な高分解能電顕像を得るための半導体試料の薄片化法の検討研究代表者
- 研究代表者
  
  田中成泰
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
球面収差補正用サイドエントリ-薄膜レンズによる走査透過電子顕微鏡の高分解能化
- 研究代表者
  
  花井孝明
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  名古屋大学
薄膜レンズを用いた透過電子顕微鏡用対物レンズの球面収差補正に関する基礎研究
- 研究代表者
  
  花井孝明
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  名古屋大学

[雑誌論文] Sectioning of Cultured Cells by Ar Ion Beam Milling for SEM Observations2020
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka and Y. Ohmi
- 雑誌名
  
  Microsc. Microanal.
  
  巻: 26 号: S2 ページ: 2692-2693
- DOI
  10.1017/s1431927620022448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[雑誌論文] Application of Ar Ion Beam Milling on Sectioning of Cells for SEM Observations2019
- 著者名/発表者名
  Shigeyasu Tanaka, Yusuke Ohmi
- 雑誌名
  
  Microsc. Microanal.
  
  巻: 25 (Suppl 2) 号: S2 ページ: 902-903
- DOI
  10.1017/s1431927619005245
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[雑誌論文] SEM observation and analysis of InGaN/GaN multiple quantum well structure using obliquely polished sample2017
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, T. Karumi
- 雑誌名
  
  Microscopy
  
  巻: 66 ページ: 131-135
- DOI
  10.1093/jmicro/dfw101
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[雑誌論文] Observation of the Potential Distribution in GaN-based Devices by Scanning Electron2015
- 著者名/発表者名
  T.Karumi, S.Tanaka
- 雑誌名
  
  Microsc. Microanal.
  
  巻: 21 号: S3 ページ: 275-276
- DOI
  10.1017/s1431927615002172
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[雑誌論文] Observation of the potential distribution in GaN-based devices by a scanning electron microscope2014
- 著者名/発表者名
  T. Karumi, T. Tanji and S. Tanaka
- 雑誌名
  
  Microscopy
  
  巻: 63 号: suppl 1 ページ: i22.1-i23
- DOI
  10.1093/jmicro/dfu051
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011, KAKENHI-PROJECT-25420285
[雑誌論文] A simple way to obtain backscattered electron images in a scanning transmission electron microscope2014
- 著者名/発表者名
  H. Tsuruta, S. Tanaka, T. Tanji and C. Morita:
- 雑誌名
  
  Microscopy
  
  巻: 63 号: 4 ページ: 333-336
- DOI
  10.1093/jmicro/dfu017
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[雑誌論文] Determination of piezoelectric fields across InGaN/GaN quantum wells by means of electron holography2010
- 著者名/発表者名
  M.Deguchi, S.Tanaka, T.Tanji
- 雑誌名
  
  Journal of Electronic Materials
  
  巻: 39 ページ: 815-818
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[雑誌論文] Determination of Piezoelectric Fields Across InGaN/GaN Quantum Wells by Means of Electron Holography2010
- 著者名/発表者名
  M.Deguchi, S.Tanaka, T.Tanji
- 雑誌名
  
  Journal of Electronic Materials 39
  
  ページ: 815-818
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[雑誌論文] Growth and properties of semi-polar GaN on a patterned silicon substrate2009
- 著者名/発表者名
  N. Sawaki, T. Hikosaka, N. Koide, Y. Honda, M. Yamaguchi and T. Tanaka
- 雑誌名
  
  J. Crystal Growth Online 14 Jan. doi.10.1016
  
  ページ: 1-8
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16106001
[雑誌論文] EBIC imaging using scanning transmission electron microscopy : experiment and analysis2008
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, H.Tanaka, T.Kawasaki, M.Ichihashi, T.Tanji, K.Arafune, Y.Ohshita, M.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Journal of Materials Science-Materials in Electronics 19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[雑誌論文] Development of a Real-Time Stereo Transmission Electron Microscope.2005
- 著者名/発表者名
  T.Tanji, H.Tanaka, T.Kojima
- 雑誌名
  
  J.Electron Microsc. Vol.54(in press)
- NAID
  10016856151
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Development of a real-time stereo TEM.2005
- 著者名/発表者名
  H.Tanaka, T.Kojima, H.Tsuruta, J.Chen, T.Tanji, M.Ichihashi
- 雑誌名
  
  J.Materials Science (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656011
[雑誌論文] Development of a Real-Time Stereo Transmission Electron Microscope.2005
- 著者名/発表者名
  T.Tanji, H.Tanaka, T.Kojima
- 雑誌名
  
  J.Electron Microsc 54・3
  
  ページ: 215-222
- NAID
  10016856151
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15656011
[雑誌論文] Transmission Electron Microscopy Study of an AlN Nucleation layer for the Growth of GaN on a 7-Degree Off-Oriented (001) Si Substrate by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy.2004
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, T.Tanji, M.Ichihasi 他4名
- 雑誌名
  
  J.Crystal Growth 260
  
  ページ: 360-365
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Electron holography study of a GaN/AlGaN interface and a GaN crystal on Si substrates2004
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka
- 雑誌名
  
  Proc. 8th Asia-Pacific Electron Microscopy Conference
  
  ページ: 507-508
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16106001
[雑誌論文] Transmission Electron Microscopy Study of an AlN Nucleation layer for the Growth of GaN on a 7-Degree Off-Oriented (001) Si Substrate by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy.2004
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, Y.Honda, N.Kameshiro, R.Iwasaki, N.Sawaki, T.Tanji, M.Ichihashi
- 雑誌名
  
  J.Crystal Growth Vol.260
  
  ページ: 360-365
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Electron Holography Study of a GaN/AlGaN Interface and a GaN Crystal on Si Substrates.2004
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, T.Tanji, M.Ichihashi ほか2名
- 雑誌名
  
  Proc.8th Asia-Pacific Electron Microscopy Conference, Kanazawa
  
  ページ: 507-508
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Transmission Electron Microscopy Study of the Microstucture in Selective-Area-Grown GaN and an AlGaN/GaN Heterostructure on a 7-Degree Off-Oriented (001) Si Substrate.2002
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, T.Tanji, 他4名
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 41
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Transmission Electron Microscopy Study of the Microstructure in Selective-Area-Grown GaN and an AlGaN/GaN Heterostructure on a 7-Degree Off-Oriented (001) Si Substrate.2002
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, Y.Honda, N.Kameshiro, R.Iwasaki, N.Sawaki, T.Tanji
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. Vol.41Part2-No.7B
- NAID
  110004081100
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205008
[雑誌論文] Defect structure in selective area growth GaN pyramid on (111)Si substrate.2000
- 著者名/発表者名
  Shigeyasu Tanaka
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 76
  
  ページ: 2701-2703
- NAID
  120000979659
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-11650055
[雑誌論文] Defect structure in selective area growth GaN pyramid on (111)Si substrate.2000
- 著者名/発表者名
  田中成泰
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 76
  
  ページ: 2701-2703
- NAID
  120000979659
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-11650055
[学会発表] 半導体p-n接合のSEMドーパントコントラストの検討2023
- 著者名/発表者名
  田中成泰
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第79回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12808
[学会発表] 半導体p-n接合のSEMドーパントコントラストの検討2023
- 著者名/発表者名
  田中成泰
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第79回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] 半導体p-n接合のSEMドーパントコントラストの検討2023
- 著者名/発表者名
  田中成泰
- 学会等名
  日本顕微鏡学会　第79回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12808
[学会発表] SEM観察のための液中生物試料の簡便な調整法2022
- 著者名/発表者名
  田中成泰、丹羽麻琴、湯川絹叶
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第78回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12808
[学会発表] SEM観察のための液中生物試料の簡便な調整法2022
- 著者名/発表者名
  田中成泰、丹羽麻琴、湯川絹叶
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第78回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] Ar イオンビームによるSEM観察のための培養細胞断面試料の作製2020
- 著者名/発表者名
  田中成泰, 大海雄介
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第76回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] Application of Ar Ion Beam Milling on Sectioning of Cells for SEM Observations2019
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, Y. Ohmi
- 学会等名
  Microscopy & Microanalysis 2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] Preparation of Biological Samples for SEM Observations using Ionic Liquid2018
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, S. Nakayama. K. Niimi, H. Miyake
- 学会等名
  19th International Microscopy Congress
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] 培養細胞断面SEM観察のためのArイオンビームによる試料作製2018
- 著者名/発表者名
  田中成泰、長岡祥平、大海雄介
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第74回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04246
[学会発表] 斜め研磨によるInGaN/GaN量子井戸構造のSEM観察と解析2017
- 著者名/発表者名
  田中成泰、新實幸樹
- 学会等名
  第73回日本顕微鏡学会学術講演会
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター（北海道・札幌）
- 年月日
  2017-05-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] 電子線ホログラフィ法による窒化物半導体超格子内のピエゾ電界の解析2014
- 著者名/発表者名
  長尾俊介, 田中成泰, 丹司敬義, 天野浩
- 学会等名
  電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2014-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] Observation of the potential distribution in GaN-based devices by a scanning electron microscope2014
- 著者名/発表者名
  T. Karumi, S. Tanaka and T. Tanji
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第58回シンポジウム
- 発表場所
  福岡市
- 年月日
  2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] 走査型電子顕微鏡による半導体ポテンシャル分布の観察2014
- 著者名/発表者名
  軽海貴博, 田中成泰, 丹司敬義, 天野浩
- 学会等名
  電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2014-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] 低加速電圧SEM-EBIC法によるAlGaN系深紫外発光素子断面の電気的特性の解析2013
- 著者名/発表者名
  軽海貴博, 田中成泰, 丹司敬義, 天野浩, 古澤優太
- 学会等名
  平成25年電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  浜松
- 年月日
  2013-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] 低加速電圧SEM-EBIC によるシリコン中のドーパント濃度分布の可視化2013
- 著者名/発表者名
  丹羽辰嗣，田中成泰，軽海貴博，丹司敬義
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第69回学術講演会
- 発表場所
  吹田市
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] BSE detector incorporated in STEM sample holder and its application2013
- 著者名/発表者名
  H. Tsuruta, S. Tanaka, T. Tanji and C. Morita
- 学会等名
  9th International Symposium on Atomic Level Characterizations　for New Materials and Devices ’13
- 発表場所
  Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] 低加速SEM-EBIC法によるAlGaN系深紫外発光素子断面の電気的特性の解析2013
- 著者名/発表者名
  軽梅貫博, 田中成泰, 丹司敬義, 天野浩, 古澤優太
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第57回シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2013-11-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] Electrical characterization of AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diode by low-voltage cross-sectional SEM-EBIC2013
- 著者名/発表者名
  T. Karumi, S. Tanaka, T. Tanji, H. Amano, Y. Furusawa
- 学会等名
  International Symposium on Ecotopia Science '13
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2013-12-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25000011
[学会発表] Application of Electron-Beam-Induced-Current Technique in Scanning Transmission Electron Microscope to Observation of Si p-n Junction2010
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, T.Niwa, T.Tanji
- 学会等名
  International Microscopy Congress 17
- 発表場所
  リオデジャネイロ(ブラジル)
- 年月日
  2010-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] Application of Electron-Beam-Induced-Current Technique in Scanning Transmission Electron Microscope to Observation of Si p-n Junction2010
- 著者名/発表者名
  T.Niwa, S.Tanaka, T.Tanji
- 学会等名
  International Microscopy Congress 17
- 発表場所
  Rio, Brazil
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] STEM-EBIC法によるシリコンpn接合の観察2010
- 著者名/発表者名
  丹羽辰嗣、田中成泰、丹司敬義
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第66回学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場(愛知県)
- 年月日
  2010-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] Determination of Piezoelectric Fields across InGaN/GaN Quantum Wells by Mwans of Electron Holography2009
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, M.Deguchi, T.Tanji
- 学会等名
  13th Int.Conf.on Defects Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors
- 発表場所
  Wheeling, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] Determination of piezoelectric fields across InGaN/GaN quantum wells by means of electron holography2009
- 著者名/発表者名
  田中成泰
- 学会等名
  13th Int. Conf. on Defects Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors
- 発表場所
  Wheeling, USA
- 年月日
  2009-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] Characterization of a-Si/c-Si Junctions by Electron Holography2008
- 著者名/発表者名
  S.Tanaka, M.Deguchi, T.Tanji
- 学会等名
  The 9th Asia-Pasific Microscopy Conference
- 発表場所
  Jeju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560296
[学会発表] 走査型電子顕微鏡による半導体ポテンシャル分布の観察
- 著者名/発表者名
  軽海貴博，田中成泰，丹司敬義，天野浩
- 学会等名
  平成26年度電気・電子・情報関係学会　東海支部連合大会
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2014-09-08 – 2014-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] STEM用試料ホルダー組み込み型の反射電子検出器（2）
- 著者名/発表者名
  鶴田浩貴，田中成泰，丹司敬義，森田千明
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第70回記念学術講演会
- 発表場所
  千葉市
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] 電子線ホログラフィ法による窒化物半導体超格子内のピエゾ電界の解析
- 著者名/発表者名
  長尾俊介，田中成泰，丹司敬義，天野浩
- 学会等名
  平成26年度電気・電子・情報関係学会　東海支部連合大会
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2014-09-08 – 2014-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] An attempt to visualize dopant distribution in Si by low-voltage SEM-EBIC
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, T. Niwa and T. Tanji
- 学会等名
  IMC2014（18th International Microscopy Congress）
- 発表場所
  Prague, Czech Republic
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285
[学会発表] A simple way to obtain BSE image in STEM
- 著者名/発表者名
  H. Tsuruta, S. Tanaka, T. Tanji and C. Morita
- 学会等名
  IMC2014（18th International Microscopy Congress）
- 発表場所
  Prague, Czech Republic
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420285

1. 花井孝明 (00156366)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
2. 丹司敬義 (90125609)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 8件
3. 日比野倫夫 (40023139)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
4. 室岡義栄 (40273263)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
5. 木村啓子 (60262862)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
6. 本田善央 (60362274)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 1件
7. 市橋幹夫 (90345869)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 3件
8. 澤木宣彦 (70023330)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 1件
9. 山口雅史 (20273261)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 1件
10. 丹羽辰嗣

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 5件
11. 天野浩 (60202694)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
12. 出来真斗 (80757386)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 大野雄高 (10324451)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 三宅秀人 (70209881)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 成塚重弥 (80282680)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 竹内哲也 (10583817)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 岩谷素顕 (40367735)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 福山博之 (40252259)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 杉山せつ子 (00115586)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 陳軍 (90308338)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 川崎忠寛 (10372533)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 出口将士

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
23. 櫛田拓也

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. 手島基裕

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 軽海貴博

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
26. 長尾俊介

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
27. 楠美智子

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 岡本篤人

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. OKAMAOT Atsuto

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

田中 成泰 Tanaka Shigeyasu

研究課題

研究成果

共同研究者

細胞内微細構造のSEM反射電子像の高解像化のための画像処理法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

SEM像電位コントラストの原理解明と定量化手法の確立研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

次世代半導体デバイスのための不純物分布計測技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

次世代デバイス評価のための不純物分布計測技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高品質な高分解能電顕像を得るための半導体試料の薄片化法の検討研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

田中成泰 Tanaka Shigeyasu