梅本宏信 Umemoto Hironobu

研究者番号	80167288
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2015年度 – 2017年度: 静岡大学, 工学部, 教授 2014年度: 静岡大学, 工学研究科, 教授 2013年度 – 2014年度: 静岡大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2012年度: 静岡大学, 工学部, 教授 2006年度 – 2008年度: 静岡大学, 工学部, 教授 … もっと見る 2005年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 2002年度 – 2003年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 1999年度 – 2000年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 1994年度 – 1997年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 1996年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 情報科学研究科, 助教授 1994年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学, 助教授 1991年度 – 1993年度: 東京工業大学, 理学部, 助手 1986年度 – 1987年度: 東京工業大学, 理学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者物理化学 / 物理化学 / 物理化学一般研究代表者以外物理化学一般 / 薄膜・表面界面物性 / 応用物性・結晶工学
キーワード	研究代表者同位体効果 / isotope effect / nitrous oxide / 一酸化二窒素 / Rotational Distribution / 初期振動状態分布 / 初期回転状態分布 / 項間交差 / 亜鉛原子 / 水素原子 … もっと見る / 化学気相堆積 / 初期状態分布 / メタン / 準安定状態 / 水素 / Polysilazane / Silica Coating / Transportation of Radicals / Remote Chemical Vapor Deposition / Mass Spectrometry / Organic Silicon / Silicon Nitride / Chemical Vapor Deposition / 質量分析 / 活性窒素 / 炭窒化シリコン薄膜 / ポリシラザン / 石英ガラスコート / ラジカル輸送 / リモート化学気相堆積法 / 質量分析法 / 有機窒化シリコン / 窒化シリコン薄膜 / intersystem crossing / two-photon excitation / quantum yield / atomic hydrogen / reactive process / metastable state / molecular nitrogen / 水分子 / 増幅自然放出 / キセノン原子 / 二光子励起 / 量子収率 / 反応過程 / 窒素分子 / atmospheric chemistry / photodissociation / 大気化学 / 光分解過程 / Doppler profile / action spectra / two-photon dissociation / nitric oxide / 亜酸化窒素 / 前期解離 / ドップラースペクトル / アクションスペクトル / 二光子光分解 / 一酸化窒素 / Nascent Vibrational Distribution / Zine / 脱励起過程 / Vibrational Distribution / Intersystem Crossing / Intramultiplet Mixing / Zinc / 非共鳴的光励起 / 同多重度内遷移 / 化学気相堆積過程 / 化学反応 / 単体ホウ素 / ボラザン / 不純物ドーピング / 触媒分解 / ホウ素原子 / ジボラン / タングステン触媒 / イリジウム触媒 / OHラジカル / 酸素原子 / 金属触媒 / 酸化性ガス / 窒素原子 / 分岐比 / 励起状態 / 半衝突過程 / ファンデアワールス錯体 / カドミウム … もっと見る研究代表者以外薄膜 / Cd and Zn / close-coupling / quenching / intramultiplet mixing / energy pooling / NH radicals / 回転温度 / 初期状態分布 / レーザー誘起蛍光 / 波長可変色素レーザー / エキシマレーザー / NH(C^1Π)ラジカル / エキシマーレーザー / エネルギープーリング / 色素レーザー / 時間分解測定 / エキシマ-レ-ザ- / 量子力学的緊密結合法 / 遷移断面積 / 励起三重項状態 / カドミウムと亜鉛 / 緊密結合法 / 消光断面積 / 多重項内遷移 / エネルギ-プ-リング / NHラジカル / 酸化亜鉛 / 酸化亜鉛薄膜 / 触媒反応 / 化学気相堆積法 / 太陽電池 / 窒化シリコン / 微結晶シリコン / アモルファスシリコン / ホットワイアCVD / Cat-CVD / 触媒化学気相成長隠す

加熱金属触媒体上でのジボラン等水素化物の分解過程研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  静岡大学
触媒反応生成高エネルギー水分子ビームを用いた高品位酸化亜鉛薄膜成長技術の構築
- 研究代表者
  
  安井寛治
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  長岡技術科学大学
触媒化学気相堆積法の酸化性ガスヘの適用研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  静岡大学
窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程-有機窒化シリコン分子を原料として-研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  静岡大学
   北陸先端科学技術大学院大学
一重項準安定窒素分子の選択的生成法の確立とその反応過程の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
触媒化学気相成長法によるシリコン系薄膜の成長プロセス
- 研究代表者
  
  松村英樹
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
一酸化二窒素の光分解過程における同位体効果研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
励起窒素原子の全衝突反応過程と半衝突反応過程研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1996
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
一酸化窒素の二光子光分解過程研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
金属原子-水素分子錯体の光励起ダイナミクス研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
励起亜鉛原子と水分子から生成する水素化亜鉛・水酸ラジカルの初期状態分布とその相関研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  北陸先端科学技術大学院大学
   東京工業大学
非共鳴的光励起による励起亜鉛原子の反応ダイナミクス研究代表者
- 研究代表者
  
  梅本宏信
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1992
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  物理化学一般
- 研究機関
  東京工業大学
気相反応中間体の動的挙動レ-ザ-誘起蛍光・位相差法による研究
- 研究代表者
  
  佐藤伸
- 研究期間 (年度)
  1986 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学一般
- 研究機関
  千葉大学
   東京工業大学

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すべて雑誌論文学会発表図書産業財産権その他

[図書] 触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 総ページ数
  13
- 出版者
  シーエムシー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[図書] 「触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-」(中山弘(監修)第1章第2節)2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 出版者
  シーエムシー出版(株)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Decomposition processes of photoresist polymers by H atoms produced on hot wire surfaces2017
- 著者名/発表者名
  Umemoto Hironobu、Kato Teruto、Takiguchi Masayuki、Takagi Seiji、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 635 ページ: 27-31
- DOI
  10.1016/j.tsf.2016.12.013
- NAID
  120006534758
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B Atoms2017
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto and A. Miyata
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 印刷中ページ: 78-81
- DOI
  10.1016/j.tsf.2016.11.054
- NAID
  120006534757
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Decomposition Processes of H3NBH3 (borazane), (BH)3(NH)3 (borazine), and B(CH3)3 (trimethylboron) on Heated W Wire Surfaces2015
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, A. Miyata, and T. Nojima
- 雑誌名
  
  Chem. Phys. Lett.
  
  巻: 639 ページ: 7-10
- DOI
  10.1016/j.cplett.2015.08.071
- NAID
  120006342465
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Gas-phase Diagnoses in Catalytic Chemical Vapor Deposition (Hot-Wire CVD) Processes2015
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 575 ページ: 3-8
- DOI
  10.1016/j.tsf.2014.10.014
- NAID
  120005538023
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Decomposition Processes of Diborane and Borazane (Ammonia-borane Complex) on Hot Wire Surfaces2015
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto and A. Miyata
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 595 ページ: 231-234
- DOI
  10.1016/j.tsf.2015.04.084
- NAID
  120006228209
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Dependence of the Catalytic Decomposition of PH3 on Wire Material2015
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 575 ページ: 9-11
- DOI
  10.1016/j.tsf.2014.10.015
- NAID
  120005538024
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Production of B Atoms and BH Radicals from B2H6/He/H2 Mixtures Activated on Heated W Wires2014
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, T. Kanemitsu, and A. Tanaka,
- 雑誌名
  
  J. Phys. Chem. A
  
  巻: 118 号: 28 ページ: 5156-5163
- DOI
  10.1021/jp5046063
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[雑誌論文] Electrical properties of ZnO thin films grown on a-plane sapphire substrates using catalytically generated high-energy H2O2013
- 著者名/発表者名
  N. Yamaguchi, T. Takeuchi, E. Nagatomi, T. Kato, H. Umemoto, Kanji Yasui
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 549 ページ: 18-21
- DOI
  10.1016/j.tsf.2013.06.035
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360014
[雑誌論文] Detection of Radical Species Produced by Catalytic Decomposition of H_2, 0_2 and their Mixtures on Heated Ir Surfaces2009
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, et al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (In press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Detection of Radical Species Produced by Catalytic Decomposition of H_2, O_2 and their Mixtures on Heated Ir Surfaces2009
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, H. Kusanagi, K. Nishimura, and M. Ushijima
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 517, [12]
  
  ページ: 3446-3448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Photoresist Removal Using Atomic Hydrogen Generated by Hot-Wire Catalyzer and Effects on Si-wafer Surface2009
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, H. Horibe, H. Umemoto, K. Takao, E. Kusano, M. Kase, S. Tagawa
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 48[2]026503
  
  ページ: 7-7
- NAID
  40016464779
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Catalytic Decomposition of O_2, NO, N_2O and N0_2 on a Heated Ir Filament to Produce Atomic Oxygen2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, et al.
- 雑誌名
  
  J. Phys. D : Appl. Phys. 41
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Future Prospect of Remote Cat-CVD on the Basis of Gas-phase Diagnoses2008
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto, et, al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516
  
  ページ: 500-502
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Catalytic Decomposition of O_2, NO, N_2O and NO_2 on a Heated Ir Filament to Produce Atomic Oxygen2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto and H. Kusanagi
- 雑誌名
  
  J.Phys.D : Appl.Phys. 41[22]225505
  
  ページ: 5-5
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Production and Detection of Reducing and Oxidizing Radicals in the Catalytic Decomposition of H_2/O_2 Mixtures on Heated Tungsten Surfaces2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto and M. Moridera
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys. 103, [3]034905
  
  ページ: 6-6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Production and Detection of Reducing and Oxidizing Radicals in the Catalytic Decomposition of H_2/O_2 Mixtures on Heated Tungsten Surfaces2008
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto, et. al.
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys. 103
  
  ページ: 34905-34905
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Coverage Properties of SiN_x Films Prepared by Catalytic Chemical Vapor Deposition on Trenched Substrates below 80℃2008
- 著者名/発表者名
  A. Heya, T. Minamikawa, T. Niki, S. Minami, A. Masuda, H. Umemoto, N. Matsuo,and H. Matsumura
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516, [10]
  
  ページ: 3000-3004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Coating Techniques of Metal Chambers for Remote Catalytic Chemical Vapor Deposition Applications2008
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto, et. al.
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Tech.A 26
  
  ページ: 309-311
- NAID
  120000796463
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Future Prospect of Remote Cat-CVD on the Basis of Gas-phase Diagnoses2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto and H. Matsumura
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516, [5]
  
  ページ: 500-502
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Cat-CVD SiN Passivation Films for OLEDs and Packaging2008
- 著者名/発表者名
  A. Heya, T. Minamikawa, T. Niki, S. Minami, A. Masuda, H. Umemoto, N. Matsuo,and H. Matsumura
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516, [5]
  
  ページ: 553-557
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Catalytic CVD Processes of Oxidizing Species and the Prevention of Oxidization of Heated Tungsten Filaments by H_22008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, S.G. Ansari, T. Morimoto, S. Setoguchi, H. Uemura,and H. Matsumura
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516, [5]
  
  ページ: 829-831
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Catalytic CVD Processes of Oxidizing Species and the Prevention of Oxidization of Heated Tungsten Filaments by H_22008
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto, et. al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516
  
  ページ: 829-831
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] 有機ELの保護膜形成技術2008
- 著者名/発表者名
  部家彰、松尾直人、南川俊治、仁木敏一、南茂平、増田淳、梅本宏信、松村英樹
- 雑誌名
  
  月間ディスプレイ Vol.14, No.9
  
  ページ: 49-56
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Coating Techniques of Metal Chambers for Remote Catalytic Chemical Vapor Deposition Applications2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, S. Setoguchi, H. Uemura,and H. Matsumura
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Tech.A 26, [2]
  
  ページ: 309-311
- NAID
  120000796463
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Future Prospect of Remote Cat-CVD on the basis of gas-phase diagnoses2007
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (In press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Future Prospect of Remote Cat-CVD on the basis of gas-phase diagnoses2007
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press.)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Catalytic CVD Processes of Oxidizing Species and the Prevention of Oxidization of Heated Tungsten Filaments by H_22007
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (In press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Production Yields of H(D)Atoms in the Reactions of N_2 (A^3Σ_u^+) with C_2H_4,C_2H_2 and their Deuterated Variants2007
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto
- 雑誌名
  
  J.Chem.Phys. 127
  
  ページ: 14307-14307
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Production Yields of H(D) Atoms in the Reactions of N_2(A ^3Σ_u^+)with C_2H_4, C_2H_2 and their Deuterated Variants2007
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto
- 雑誌名
  
  J.Chem.Phys. 127, [1]014304
  
  ページ: 7-7
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[雑誌論文] Catalytic CVD Processes of Oxidizing Species and the Prevention of Oxidization of Heated Tungsten Filaments by H22007
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press.)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] H(D)-atom Yields in the Quenching of Xe(6s [3/2]_1) by Methane, Ethane, Ethene, Ethyne, and their Isotopologues2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto
- 雑誌名
  
  J. Chem. Phys. 125,[3]
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Rotational and Vibrational State Distributions of H_2 Activated on a Heated Tungsten Filament2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys. 99, [4]
- NAID
  120000861413
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Rotational and Vibrational State Distributions of H_2 Activated on a Heated Tungsten Filament2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys. 99,[4]
- NAID
  120000861413
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] H(D)-atom Yields in the Quenching of Xe(6s[3/2]_1) by Methane, Ethane, Ethene, Ethyne, and their Isotopologues2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto
- 雑誌名
  
  J. Chem. Phys. 125, [3]
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Rotational and Vibrational State Distributions of H_2 Activated on a Heated Tungsten Filament2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys. 99,[4]
  
  ページ: 43510-43510
- NAID
  120000861413
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] H(D)-atom Yields in the Quenching of <Xe(6s[3/2]i)> by Methane, Ethane, Ethene, Ethyne, and their Isotopologues2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto
- 雑誌名
  
  J. Chem. Phys. 125, [3] 034306
  
  ページ: 7-7
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[雑誌論文] Rotational and Vibrational State Distributions of H2 Activated on a Heated Tungsten Filamen2006
- 著者名/発表者名
  H.Umemoto et al.
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys. 99, [4] 043510
  
  ページ: 6-6
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17550009
[産業財産権] ホウ素を含む化学的活性種の発生方法、及び表面処理方法2015
- 発明者名
  梅本宏信
- 権利者名
  梅本宏信
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-208012
- 出願年月日
  2015-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果2017
- 著者名/発表者名
  滝智洋，山本雅史，長岡史郎、梅本宏信、大平圭介、西山聖、堀邊英夫
- 学会等名
  第１４回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] ラジカル発生とその反応2017
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 学会等名
  第１４回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds2017
- 著者名/発表者名
  Hironobu Umemoto
- 学会等名
  82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers, Japan
- 発表場所
  Shibaura Institute of Technology, Toyosu, Koto, Tokyo
- 年月日
  2017-03-07
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性2017
- 著者名/発表者名
  城井智弘，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，大平圭介，西山聖，堀邊英夫
- 学会等名
  第１４回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] A clean source of B atoms without using explosive boron compounds2016
- 著者名/発表者名
  Atsushi Miyata and Hironobu Umemoto
- 学会等名
  32nd Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
- 発表場所
  Omiya Sonic City, Saitama City, Saitama
- 年月日
  2016-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] ボラザンによりホウ素化したタングステンワイヤからのホウ素原子放出2016
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、宮田篤
- 学会等名
  第１３回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- 発表場所
  北見工業大学、北見市、北海道
- 年月日
  2016-07-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] Hot metal wires as sinks and sources of B atoms2016
- 著者名/発表者名
  Hironobu Umemoto and Atsushi Miyata
- 学会等名
  9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference
- 発表場所
  Philadelphia, USA
- 年月日
  2016-09-06
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 加熱タングステン触媒体上でのホウ素化合物からのＢ原子生成過程2015
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、宮田篤、野島拓翔
- 学会等名
  第７６回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場、名古屋
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] Catalytic decomposition processes of borazane and borazine on heated W wire surfaces2015
- 著者名/発表者名
  Atsushi Miyata and Hironobu Umemoto
- 学会等名
  31st Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
- 発表場所
  Hokkaido Univ., Sapporo
- 年月日
  2015-06-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 加熱タングステンワイヤ表面でのホウ素化合物分解過程2015
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、宮田篤、野島拓翔
- 学会等名
  第１２回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋
- 年月日
  2015-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] アンモニアの加熱金属触媒による分解過程と後続気相反応過程2015
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 学会等名
  化学工学会反応工学部会 CVD反応分科会主催第23回シンポジウム
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- 年月日
  2015-05-22
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] Decomposition processes of diborane and borazane (ammonia-borane complex) on hot W wire surfaces2014
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, T. Kanemitsu, and A. Miyata
- 学会等名
  8th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference
- 発表場所
  Braunschweig, Germany
- 年月日
  2014-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] Production of B atoms from B2H6/He/H2 mixtures activated on heated W wires2014
- 著者名/発表者名
  Taijiro Kanemitsu, Akihito Tanaka, and Hironobu Umemoto
- 学会等名
  30th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
- 発表場所
  Egret Himeji, Himeji, Hyogo, Japan
- 年月日
  2014-06-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 加熱タングステンワイヤで活性化されたジボラン／水素混合物からのＢ原子およびＢＨラジカルの生成過程2014
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、金光泰二郎、田中晃人
- 学会等名
  第１１回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- 発表場所
  東北大学、仙台、宮城
- 年月日
  2014-07-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] アンモニア－ボラン錯体の加熱タングステンワイヤ上での触媒分解2014
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、宮田篤
- 学会等名
  第１１回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会
- 発表場所
  東北大学、仙台、宮城
- 年月日
  2014-07-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] 加熱タングステンワイヤ上でのジボランからのＢ原子およびＢＨラジカルの発生機構2014
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、金光泰二郎
- 学会等名
  第７５回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学、札幌、北海道
- 年月日
  2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26410010
[学会発表] Electrical properties of the ZnO thin films grown on a-plane sapphire substrates using catalytically generated high-energy H2O2013
- 著者名/発表者名
  N. Yamaguchi, T. Takeuchi, E. Nagatomi, T. Kato, H. Umemoto, K. Yasui
- 学会等名
  40th Int. Conf. on Metallurgical Coatings & Thin Films
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360014
[学会発表] 触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて成長したZnO/a-Al_2O_3膜の電気伝導特性(二層モデルによる解析)2012
- 著者名/発表者名
  永冨瑛智, 山口直也, 加藤孝弘, 梅本宏信, 安井寛治
- 学会等名
  電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ材料デバイスサマーミーティング
- 発表場所
  機械振興会館、東京
- 年月日
  2012-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360014
[学会発表] H_2-O_2触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて堆積したZnO/a-Al_2O_3の電気伝導特性の解析2012
- 著者名/発表者名
  永冨瑛智,山口直也,清水英彦,梅本宏信,加藤孝弘,安井寛治
- 学会等名
  2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学、松山大学
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360014
[学会発表] 加熱イリジウム触媒体上における水蒸気分子分解過程2009
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、草薙弘樹
- 学会等名
  春季第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  つくば
- 年月日
  2009-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 化学気相堆積過程における気相、表面反応2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 学会等名
  第5回Cat-CVD研究会
- 発表場所
  相模原
- 年月日
  2008-06-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 加熱イリジウム触媒体上における酸化性分子分解過程2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、草薙弘樹、西村和晃、牛島満
- 学会等名
  第5回Cat-CVD研究会
- 発表場所
  相模原
- 年月日
  2008-06-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 原子状水素原子の濃度とレジスト除去速度との関係2008
- 著者名/発表者名
  山本雅史、梅本宏信、堀邊英夫、三浦敏特、田川精一
- 学会等名
  春季第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  船橋
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] Detection of radical species produced by catalytic decomposition of H_2, O_2 and their mixtures on heated Ir surfaces2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, et al.
- 学会等名
  5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process
- 発表場所
  Cambridge, MA(USA)
- 年月日
  2008-08-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] Detection of radical species produced by catalytic decomposition of H_2, O_2 and their mixtures on heated Ir surfaces2008
- 著者名/発表者名
  H. Umemoto, H. Kusanagi, K. Nishimura,and M. Ushijima
- 学会等名
  5th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process
- 発表場所
  Cambridge
- 年月日
  2008-08-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 加熱イリジウム触媒体上における水素分子、酸素分子の分解過程2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、草薙弘樹、西村和晃、牛島満
- 学会等名
  春季第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  船橋
- 年月日
  2008-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 加熱金属触媒体による酸化性および還元性ラジカルの生成2008
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、草薙弘樹
- 学会等名
  第24回化学反応討論会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2008-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] Resist removal and evaluation of Si-wafer by atomic hydrogen2008
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, H. Horibe, H. Umemoto, E. Kusano,and S. Tagawa
- 学会等名
  30th International Symposium on Dry Process
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2008-11-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 酸素/水素混合系触媒分解過程における酸化性および還元性ラジカルの検出2007
- 著者名/発表者名
  梅本宏信、森寺真司
- 学会等名
  秋季第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 酸素/水素混合系触媒分解過程における水素原子の検出2007
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 学会等名
  第4回Cat-CVD研究会
- 発表場所
  北九州
- 年月日
  2007-06-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[学会発表] 最低励起三重項状態の窒素分子とC_2H_2(C_2D_2)との反応におけるH(D)原子の収率2007
- 著者名/発表者名
  梅本宏信
- 学会等名
  第23回化学反応討論会
- 発表場所
  神戸
- 年月日
  2007-06-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19550015
[]

1. 安井寛治 (70126481)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
2. 清水英彦 (00313502)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
3. 佐藤伸 (30016042)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 綱島滋 (20016108)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 松村英樹 (90111682)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 増田淳 (30283154)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 和泉亮 (30223043)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 野々村修一 (80164721)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 小長井誠 (40111653)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 加藤孝弘

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件

梅本 宏信 Umemoto Hironobu

研究課題

研究成果

共同研究者

加熱金属触媒体上でのジボラン等水素化物の分解過程研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

触媒反応生成高エネルギー水分子ビームを用いた高品位酸化亜鉛薄膜成長技術の構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

触媒化学気相堆積法の酸化性ガスヘの適用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程-有機窒化シリコン分子を原料として-研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

一重項準安定窒素分子の選択的生成法の確立とその反応過程の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

触媒化学気相成長法によるシリコン系薄膜の成長プロセス

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

一酸化二窒素の光分解過程における同位体効果研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

励起窒素原子の全衝突反応過程と半衝突反応過程研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

一酸化窒素の二光子光分解過程研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金属原子-水素分子錯体の光励起ダイナミクス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

励起亜鉛原子と水分子から生成する水素化亜鉛・水酸ラジカルの初期状態分布とその相関研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

非共鳴的光励起による励起亜鉛原子の反応ダイナミクス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

気相反応中間体の動的挙動レ-ザ-誘起蛍光・位相差法による研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

梅本宏信 Umemoto Hironobu