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宇佐美 晶  USAMI Akira

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

宇佐見 晶  ウサミ アキラ

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研究者番号 90024265
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1987年度 – 1992年度: 名古屋工業大学, 工学部, 助教授
1986年度: 名古屋工大, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子材料工学
キーワード
研究代表者
表面再結合速度 / Photoconductive decay / Surface recombination velocity / He-Ne laser pulse / 注入レベル / レーザ光・ビーム径 / イオン注入工程 / 過渡応答特性 / HeーNeレーザ光パルス / Light-Induced-Diffusion … もっと見る / non-contact and non-destructiue method / LBIC / S・I-GaAs / 光拡散(光ドーピング)技術 / 非接触非破壊方法 / LB1C / thermal donor in epitaxial layer / photodiode / lifetime and reverse current / buffer layer / lifetime of the interface / in-depth profile / lifetime measurement system / lifetime of epitaxial Si / エピ層中の酸素ドナ- / バッファ-層 / エピタキシー・ウェーハ / 再結合ライフタイム / サーマル・ドナー / エピ層中の酸素ドナー / ホトダイオード / ライフタイム及び逆方向電流の改善 / バッファー層 / エピ層と基板界面付近のライフタイム / 三次元分布 / ライフタイム測定システム / エピタキシャルSi層のライフタイム / BRMI / Impedance mismatching / SRMI / Residual resist pattern / Residual organic solvent / Contaminated pattern / Focused micro-wave / 残留有機溶剤 / 表面汚染 / 集束マイクロ波系 / シリコンウェ-ハ工程 / 残留レジストパタ-ン / インピ-ダンス不整合の除去 / SRM1 / BRM1 / インピ-ダンス不整合 / SRM1信号 / 残留レジストパタ-ン検出 / 残留有機溶済パタ-ン / 表面汚染パタ-ン検出 / 集収マイクロ波系 … もっと見る
研究代表者以外
相互拡散 / 格子不整 / ヘテロエピタキシー / ラマン分光法 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  顕微ラマン分光によるヘテロエピタキシャル成長層の歪緩和の研究

    • 研究代表者
      市村 正也
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  評価テストパターンを用いたエピタキシャルSiライフタイムの三次元分布計測技術研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 晶
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  半導体ウェ-ハの表面再結合速度の非接触評価技術開発に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 晶 (宇佐見 晶)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  半導体ドライプロセスの非接触評価技術開発に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 晶
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  光拡散技術を用いた太陽電池の高効率化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 晶
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  • 1.  市村 正也 (30203110)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  和田 隆夫 (60023040)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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