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中村 義春  NAKAMURA Yoshiharu

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90051763
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1994年度: 慶応大学, 理工学部, 教授
1994年度: 慶應義塾大学, 理工学部, 教授
1993年度: 慶応義塾大学, 理工学部, 助教授
1993年度: 慶応義塾大学, 理工学部, 教授
1989年度 – 1990年度: 慶応大学, 理工学部, 助教授 … もっと見る
1988年度: 慶應義塾大学, 理工学部, 助教授
1988年度: 慶鷹義塾大学, 理工学部, 助教授
1987年度 – 1988年度: 慶応義塾大学, 理工学部, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者以外
電子機器工学 / 表面界面物性 / 応用物理学一般
キーワード
研究代表者
電子輸送係数 / モノシラン / 電子スオーム研究
研究代表者以外
衝突断面積 / プラズマプロセス / モンテカルロ法 / 電子スオーム / プラズマ診断 / プラズマモデリング / 反応性RFプラズマ … もっと見る / VACUUM ULTRVIOLET LIGHT SOURCE / ULTRVIOLET LIGHT SOURCE / MICROWAVE DISCHARGE / EXCIMER / マイクロ波放電 / パルス放電 / フラッシュランプ / エキシマ / 真空紫外光源 / 紫外光源 / RF plasma / Particle growth / Modeling / Non-equilibrium plasma / VHF plasma / Narrow gap RIE / Plasma processing / Dry etching / 狭ギャップRIE / VHFプラズマ / rfプラズマ / 微粒子成長 / モデリング / 非平衡プラズマ / VHPプラズマ / 狭ギャップ・RIE / ドライエッチング / Electron Energy Distribution / ICP Plasma / Plasma Display / Dissociation / Collision Crosssection / Ion swarm / Electron Swarm / Swarm / 緩和特性 / 過渡特性 / 電子-電子衝突 / 運動量移行断面積 / 原子衝突 / 電子衝突 / 電子衝突断面積 / rf非平衡プラズマ / 緩和現象 / クーロン相互作用 / イオンスオーム / 気体エレクトロニクス / プラズマディスプレイ / 誘導結合プラズマ / 電子エネルギー分布 / 解離 / イオンスゥオーム / 電子スゥオーム / スゥオーム / 電子スオ-ム / プラズマシミュレ-ション / プラズマシミュレーション 隠す
  • 研究課題

    (6件)
  • 共同研究者

    (15人)
  •  次世代ドライエッチ用,狭ギャップVHFエッチャの物理とプロセス最適制御

    • 研究代表者
      真壁 利明
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      慶応義塾大学
  •  電子およびイオンスウオームの機構とその応用

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衡プラズマのモデリング

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衝プラズマのモデリング

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  電子スオーム法による半導体製造ガス分子の電子衝突断面積の決定研究代表者

    • 研究代表者
      中村 義春
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      慶応義塾大学
  •  新しい高効率高輝度紫外・真空紫外光源(エキシマ・フラッシュランプ)の研究開発

    • 研究代表者
      小原 寛 (小原 實)
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      慶応義塾大学
  • 1.  真壁 利明 (60095651)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  田頭 博昭 (10001174)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  生田 信皓 (30035802)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  小原 実 (90101998)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  北守 一隆 (40153134)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  佐藤 信安 (20001290)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  藤本 孝 (90026203)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  橘 邦英 (40027925)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  籏野 嘉彦 (90016121)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  武部 雅汎 (30005392)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  神成 文彦 (40204804)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  野口 晃 (90051648)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  林 眞 (40024179)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  近藤 敬一 (10043978)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  山口 由岐夫
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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