KATAOKA Toshihiko 片岡俊彦

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片岡秀彦タカオカトシヒコ

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Researcher Number	50029328
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2007 – 2008: Osaka University, 大学院・工学研究科, 教授 2005 – 2006: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1998 – 2005: Osaka University, Graduate School of Engineering, Professor, 大学院・工学研究科, 教授 1998: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1989 – 1997: 大阪大学, 工学部, 教授 1986 – 1988: 大阪大学, 工学部, 助教授 1987: Faculty og Engineering, Univ. of Osaka
Review Section/Research Field	Principal Investigator 機械工作・生産工学 / Physical properties of metals / Applied optics/Quantum optical engineering / Production engineering/Processing studies / 機械工作・生産工学 Except Principal Investigator 機械工作・生産工学 / Applied optics/Quantum optical engineering / Science and Engineering / Aerospace engineering / 機械工作 … More / Materials/Mechanics of materials / 電子デバイス・機器工学 / Electron device/Electronic equipment / Physical properties of metals / 機械材料工学 Less
Keywords	Principal Investigator 走査型近接場光学顕微鏡 / シングルモード光ファイバ / フォトレジスト / 回折球面波 / 光散乱 / 転位 / 塩化カリウム単結晶 / 大気圧・高周波プラズマ / 時空間分解発光分光計測 / 非発光励起種 … More / シース / 負グロー / 準安定粒子 / エバネセント場 / Tiサファイアレーザー / 微小共振球 / 極微小突起 / WGMモード / HeCdレーザー / SNOM / 点光源 / 位相シフト干渉法 / He-Neレーザー / 光干渉計測 / 高精度絶対形状計測 / 計測の再現性 / 光ファイバ / 位相シフト干渉計 / 近接場 / レーザ / scanning near-field optical microscope / 高空間分解能 / Helium / フェムト秒レーザー / 絶対形状計測 / fiber optic plate / トポグラフィ- / 共焦点法 / 破壊靭性 / 平均自由工程 / 吸収分光計測 / ボルツマン方程式 / 衝突断面積 / 輸送係数 / キャビティーリングダウン分光 / 近接場局所分光 / 点光源回折干渉計 / point diffraction interferometer / phase-shifting interferometer / デジタルホログラフ / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / 表面形状計測 / デジタルホログラフィー / ガラスレスCCDカメラ / 非球面形状計測 / 放物面計測 / トポグラフィ / レ-ザ- / その場観察 / アルゴンイオンレーザー / イメージインテンシファイヤー / 表面粗さ / 圧電素子 / 絶縁体表面 / 超精密加工表面 / ニアフィールド / near-field / surface roughness / piezo actuator / laser / surface of insulator / ultra precision machined surface / near field / 境界要素法 / ラテックス球プローブ / 高分解能 / 微小突起 / 光による微細加工 / Scanning Near-field Optical Microscope / Polystirene Latex Sphere / High Spatial Resolution / Boundary Element Method / 平均自由行程 / 吸収分光 / 温度計測 / 粒子密度計測 / 容量結合型プラズマ / 時空間分解発光分光 / 中性Heラジカル / 局所電界近似法 / プラズマシミュレーション / プラズマシース / Atmospheric VHF plasma / Spatiotemporal optical emission spectroscopy / Mean free path / Sheath / Free radicals / 極微小突起プローブ / 紫外線硬化性樹脂 / 3次元境界要素法 / 多光子吸収過程 / 光の近接場 / ポリスチレン微小球 / 進行波共振 / チタンサファイアレーザー / 極微細光加工 / evanescent field / femto-second laser / micro protrusion probe / ultraviolet resins / 3-dimensional finite element method / multi photon absorption process / high spatial resolution / 点光源回折干渉法 / EUVL露光装置 / diffracted Spherical wavefront / point light source / phase shift interferometry / single mode optical fiber / Helium-Neon laser / optical interferometry / absolute shape measurement / repeatability / 点回折干渉計測 / 位相シフト干渉計測 / 非球面計測 / 計測誤差 / 非球面観測 / 点回折球面波干渉計 / Point Diffraction Inteferometer / HeNeレーザー / 大口径光学素子 / 点回折干渉計測法 / 位相シフト干渉計測法 / 7フレームアルゴリズム / デジタルCCDカメラ / point diffraction interferometry / phase-shifting interferometry / single-mode optical fiber / absolute surface figure measurement / aspherical surface measurement / measurement error / spherical diffraction wave … More Except Principal Investigator STM / EEM / STS / 転位 / 第一原理分子動力学 / 局所状態密度 / Si(001)2×1表面 / 走査型近接場光学顕微鏡 / エバネセント場 / Tiサファイアレーザー / 微小共振球 / 極微小突起 / フォトレジスト / WGMモード / HeCdレーザー / 極低温 / 塑性変形 / 負荷速度 / 破壊じん性 / Fracture Toughness / 超精密加工 / Dislocation / 表面反応素過程 / プラズマプロセス / 反応性イオンエッチング / スパッタリング成膜 / Si単結晶薄膜 / ZrN,AlN / 近接場 / プローブ / 相変化 / 共振 / 細胞 / 蛍光 / 二光子 / 顕微鏡 / ファイバ / 相転移 / 微小共振器 / 退色 / フェムト秒レーザー / 極微小突起プローブ / 高空間分解能 / 3次元境界要素法 / 回折球面波 / 点回折干渉計測法 / シングルモード光ファイバ / 位相シフト干渉計測法 / HeNeレーザー / 非球面計測 / 7フレームアルゴリズム / デジタルCCDカメラ / 超電導マグネット / 構造材料 / 引張試験法 / 破壊じん性試験法 / KCl単結晶 / KClーKBr固溶体単結晶 / 応力遮蔽効果 / 延性ーぜい性遷移 / Kcl単結晶 / 延性-ぜい遷移 / Dislocation Emission / Alkali Halide Single Crystal / Birefringence Observation / Brittle-to-Ductile Transition / Termal Activation Mechanism / プラズマCVD / 粉末粒子 / 表面処理 / コーティング / マイクロ波プラズマ / plasma CVD / ultra-fine particle / surface preparation / coating / イオンガン / 表面改質 / シリコン / 薄膜 / 低温成膜 / シリコン薄膜 / イオン照射 / 薄膜用基板 / 表面制御 / Ion gun / Surface modification / Silicon / Thin film / Low temperature deposition / Ab-initio分子軌道法 / 水素終端化Si表面 / Si (001) 2×1表面 / 元素分析 / Siウェーハ / 走査型トンネル顕微鏡 / 走査型トンネル分光 / 水素終端化 / 走査型トンネル分光法 / シリコンウェーハ / 金属汚染物 / 表面分析 / 電子構造 / Ab-inito MO / H-terminated Si surface / First principle MD / Local density of states / Si (001) 2*1 surface / Elementary analysis / Si wafer / 光化学反応 / 低温凝集相 / 2光子吸収 / 1光子吸収 / エキシマレーザー / Si系薄膜 / C系薄膜 / 凝集相 / μc-Si / ダイヤモンド合成 / 無定形炭素 / ArF / KrF / 凝集用 / 原子状水素 / ダイヤモンド成膜 / photochemical reaction / deposition / condensed phase / cryogenic substrate / excimer laser / silane / crystalline silicon / two-photon absorption / 完全表面 / プラズマCVM / 大気圧プラズマCVD / 超純水電解加工 / 第一原理分子動力学シミュレーション / ウルトラクリーンテクノロジー / 超純粋電解加工 / 第一原理分子動力学シュミレーション / Perfect surfaces / Ultra precision machining / Plasma CVM / Atmospheric pressure plasma CVD / Electrochemical machining in ultrapure water / First-principles molecular dynamics simulation / Ultra clean technology / WGMs / MDRs / 三次元境界要素法 / 光の近接場 / 走査系近接場光学顕微鏡 / SNOM / ポリスチレン微小球 / 進行波共振 / 時間領域差分法 / Scanning Near-field Optical Microscope / spherical micro resonator / Whispering Gallery Modes / Morphology Dependent Resonances / photoresist / HeCd laser / micro protrusion / three dimensional boundary element method / 走査トンネル顕微鏡 / 走査トンネル分光法 / 絶縁体 / 表面キャラクタリゼーション / 高周波パルス / 表面微細構造 / 表面欠陥 / scanning tunneling microscope / scanning tunneling spectroscopy / insulator / ultra-precision machining / surface characterization / high-frequency pulse / surface morphology / surface defect / 半導体デバイス製造 / 極端紫外光 / プラズマ / レーザー / パルスパワー / デバイス設計・製造プロセス / パルス放電 / Semiconductor production / Extreme-ultraviolet (EUV) / Plasma / Laser / Pulse-power / セラミックス / 強度 / 格子欠陥 / 粒界 / 塑性 / パイエルス力 / 辷り系 / Ceramics / Strength / Lattice Defects / Grain Boundary / 高ひずみ速度 / 変形応力 / 降伏応力 / 熱活性化過程 / 双晶 / Cryogenic Temperature / High Strain Rate / Flow Stress / Yield Stress / Thermal Activation Theoty Less

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical MirrorsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2007 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Osaka University
Development of High Performance EUV Light Source Using Condensed Cone-center-axis Plasma Generated by Laser with Nano-second Pulse-power
- Principal Investigator
  
  NAKANO Motohiro
- Project Period (FY)
  2005 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Osaka University
大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型2光源PDI形状計測装置の応用
- Principal Investigator
  
  押鐘寧
- Project Period (FY)
  2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  Osaka University
Absolute surface figure measurement of aspherical surfaces with diffracted wavefronts as reference waves emitted from two optical fibersPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2004 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Osaka University
回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  2002 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Characterization of insulator surfaces after ultra-precision machining by STM/STS with high-frequency pulses
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Development of a superior PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) for Absolute Shape Measurement of Large-Diameter SurfacesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Graduate School of Engineering, Osaka University
微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法
- Principal Investigator
  
  押鐘寧
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1999 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
Application of optical near-field excited with ultra fast laser pulses to microfabricationPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
Development of scanning near-field optical microscope with a micro rasonator and a optical resonator
- Principal Investigator
  
  OSHIKANE Yasushi
- Project Period (FY)
  1998 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
- Research Field
  
  電子デバイス・機器工学
- Research Institution
  Osaka University
ニアフィールドのマイクロスコピー
- Principal Investigator
  
  大津元一
- Project Period (FY)
  1997 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- Research Institution
  Tokyo Institute of Technology
粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1997 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1996 – 1997
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Spatiotemporal optical emission spectroscopy of atmospheric VHF plasma processPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Creation of Perfect Surfaces
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1996 – 2002
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for COE Research
- Research Institution
  Osaka University
Experimental Study of Photochemical Deposition in a Condensed Phase on a Cryogenic Substrate
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1995 – 1997
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Elementary Analysis of a single Metallic Atom on Si Wafer Surface by STM/STS
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1994 – 1996
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Study on substrate surface modification by ion beam irradiation
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1993 – 1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Materials/Mechanics of materials
- Research Institution
  Osaka University
Micro-Machining by Nearfield OpticsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Estimation of ultra precision machined surface by Scanning Near-field Optical MicroscopePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATOAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1992 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Study on surface coating of ultra-fine particles for EEM machining.
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1992 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作
- Research Institution
  Osaka University
き裂先端での転位の生成と運動ー光散乱トポグラフィ-によるその場観察Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦 (片岡秀彦)
- Project Period (FY)
  1990 – 1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Osaka University
Temperature Dependence of Fracture Toughness and Dislocation Emission at Crack Tip
- Principal Investigator
  
  KISHIDA Keizo
- Project Period (FY)
  1989 – 1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Aerospace engineering
- Research Institution
  Osaka University
光散乱を利用した運動転位のその場観察Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1988 – 1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Osaka University
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価
- Principal Investigator
  
  岸田敬三
- Project Period (FY)
  1986
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Fusion Research
- Research Institution
  Osaka University
Deformatio and Fracture of Materials at High Strain Rates and Cryogenic Temperature
- Principal Investigator
  
  KISHIDA Keizo
- Project Period (FY)
  1986 – 1987
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  機械材料工学
- Research Institution
  Osaka University
Strength and Lattice Defects of Ceramics
- Principal Investigator
  
  SUZUKI Takayoshi
- Project Period (FY)
  1985 – 1987
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Institute of Industrial science, University of Tokyo

All 2008 2007 2006 2005 2004

All Journal Article Patent

[Journal Article] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008
- Author(s)
  Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
- Journal Title
  
  Surface and Inter face Analysis Vol. 40
  
  Pages: 1028-1032
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[Journal Article] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-繰り返し発光特性の評価-2007
- Author(s)
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 井上晴行, 押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 773-774
- NAID
  130005028703
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007
- Author(s)
  Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
- Journal Title
  
  Optical Review Vol. 14
  
  Pages: 401-405
- NAID
  10020010020
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[Journal Article] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007
- Author(s)
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130005028613
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007
- Author(s)
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma-Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- Author(s)
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 133-134
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- Author(s)
  中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- Author(s)
  岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 161-161
- NAID
  130004658297
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma -Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- Author(s)
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 133-134
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-2006
- Author(s)
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 585-586
- NAID
  130004658236
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] ナノ秒レーザ誘起円錐孔アプレーション・プラズマの発光計測2006
- Author(s)
  中野元博, 細谷明弘, 吉川隆弥, 大谷祐子, 山内良昭, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-2006
- Author(s)
  吉川隆弥, 大谷祐子, 中野元博, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 73-74
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] Absolute surface profiling of large diameter mirror by point diffraction interferometer2006
- Author(s)
  S.Okagaki, T.Nakamura, T.Matsuura, Y.0shikane, T.Kataoka, H.Inoue, M.Nakanao
- Journal Title
  
  Extended abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 121-122
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005
- Author(s)
  岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004657236
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- Author(s)
  井上晴行, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16,No.2
  
  Pages: 36-41
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16,No.1
  
  Pages: 49-55
- NAID
  40006560304
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] EUV光源開発のためのパルスレーザーによる高密度プラズマ生成と発光計測2005
- Author(s)
  細谷明弘, 吉川隆弥, 中野元博, 山内良昭, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
- NAID
  130004656964
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16, No.1
  
  Pages: 49-55
- NAID
  40006560304
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- Author(s)
  井上晴行, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16, No.2
  
  Pages: 36-41
- NAID
  40006601718
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004655911
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Patent] レーザプラズマ光源2007
- Inventor(s)
  中野元博, 片岡俊彦
- Industrial Property Rights Holder
  大阪大学
- Industrial Property Number
  2007-213321
- Filing Date
  2007-08-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161

1. ENDO Katsuyoshi (90152008)

# of Collaborated Projects: 16 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. OSHIKANE Yasushi (40263206)

# of Collaborated Projects: 14 results

# of Collaborated Products: 13 results
3. INOUE Haruyuki (30304009)

# of Collaborated Projects: 9 results

# of Collaborated Products: 12 results
4. NAKANO Motohiro (40164256)

# of Collaborated Projects: 7 results

# of Collaborated Products: 17 results
5. MORI Yuzo (00029125)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. KISHIDA Keizo (00029068)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. YAMAUCHI Kazuto (10174575)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. 山内良昭 (00252619)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 2 results
9. YAMAMURA Kazuya (60240074)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. MATSUURA Toshiaki (60525145)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
11. HIROSE Kikuji (10073892)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. YOSHII Kumayasu (30029152)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
13. MORITA Mizuho (50157905)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. SUZUKI Takayoshi (70013208)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. MAEDA Kyoji (10107443)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. FUJITA Hiroshi (30028930)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. YOKOYAMA Takashi (60093944)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
18. 大津元一 (70114858)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. 中村收 (90192674)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
20. 楠見明弘 (50169992)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. 腰原伸也 (10192056)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
22. 前川一郎 (70018464)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
23. 庄子哲雄 (80091700)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
24. 山田朝治 (80028919)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
25. 佐野泰久 (40252598)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
26. 青野正和 (10184053)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
27. 安武潔 (80166503)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
28. 吉永日出男 (40005856)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
29. 角野浩二 (50005849)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
30. 石田洋一 (60013108)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
31. TAKEUCHI Shin (60013512)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
32. IMURA Toru (50022968)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
33. 島本進

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

KATAOKA Toshihiko 片岡 俊彦

片岡 秀彦 タカオカ トシヒコ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical MirrorsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Absolute surface figure measurement of aspherical surfaces with diffracted wavefronts as reference waves emitted from two optical fibersPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of a superior PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) for Absolute Shape Measurement of Large-Diameter SurfacesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Application of optical near-field excited with ultra fast laser pulses to microfabricationPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

KATAOKA Toshihiko 片岡俊彦

片岡秀彦タカオカトシヒコ