KATAOKA Toshihiko 片岡俊彦

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片岡秀彦タカオカトシヒコ

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Researcher Number	50029328
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2007 – 2008: Osaka University, 大学院・工学研究科, 教授 2005 – 2006: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1998 – 2005: Osaka University, Graduate School of Engineering, Professor, 大学院・工学研究科, 教授 1998: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1989 – 1997: 大阪大学, 工学部, 教授 1986 – 1988: 大阪大学, 工学部, 助教授 1987: Faculty og Engineering, Univ. of Osaka
Review Section/Research Field	Principal Investigator 機械工作・生産工学 / Production engineering/Processing studies / Applied optics/Quantum optical engineering / Physical properties of metals / 機械工作・生産工学 Except Principal Investigator 機械工作・生産工学 / 機械材料工学 / Physical properties of metals / Electron device/Electronic equipment / 電子デバイス・機器工学 … More / Materials/Mechanics of materials / 機械工作 / Aerospace engineering / Science and Engineering / Applied optics/Quantum optical engineering Less
Keywords	Principal Investigator シングルモード光ファイバ / 走査型近接場光学顕微鏡 / 回折球面波 / フォトレジスト / fiber optic plate / 絶対形状計測 / フェムト秒レーザー / Helium / 高空間分解能 / scanning near-field optical microscope … More / レーザ / 近接場 / 位相シフト干渉計 / 光ファイバ / 計測の再現性 / 高精度絶対形状計測 / 光干渉計測 / He-Neレーザー / 位相シフト干渉法 / 点光源 / SNOM / HeCdレーザー / WGMモード / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 準安定粒子 / 負グロー / シース / 非発光励起種 / 時空間分解発光分光計測 / 大気圧・高周波プラズマ / 塩化カリウム単結晶 / 転位 / 光散乱 / spherical diffraction wave / measurement error / aspherical surface measurement / absolute surface figure measurement / single-mode optical fiber / phase-shifting interferometry / point diffraction interferometry / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 位相シフト干渉計測法 / 点回折干渉計測法 / 大口径光学素子 / HeNeレーザー / Point Diffraction Inteferometer / 点回折球面波干渉計 / 非球面観測 / 計測誤差 / 非球面計測 / 位相シフト干渉計測 / 点回折干渉計測 / repeatability / absolute shape measurement / optical interferometry / Helium-Neon laser / single mode optical fiber / phase shift interferometry / point light source / diffracted Spherical wavefront / EUVL露光装置 / 点光源回折干渉法 / high spatial resolution / multi photon absorption process / 3-dimensional finite element method / ultraviolet resins / micro protrusion probe / femto-second laser / evanescent field / 極微細光加工 / チタンサファイアレーザー / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / 光の近接場 / 多光子吸収過程 / 3次元境界要素法 / 紫外線硬化性樹脂 / 極微小突起プローブ / Free radicals / Sheath / Mean free path / Spatiotemporal optical emission spectroscopy / Atmospheric VHF plasma / プラズマシース / プラズマシミュレーション / 局所電界近似法 / 中性Heラジカル / 時空間分解発光分光 / 容量結合型プラズマ / 粒子密度計測 / 温度計測 / 吸収分光 / 平均自由行程 / Boundary Element Method / High Spatial Resolution / Polystirene Latex Sphere / Scanning Near-field Optical Microscope / 光による微細加工 / 微小突起 / 高分解能 / ラテックス球プローブ / 境界要素法 / near field / ultra precision machined surface / surface of insulator / laser / piezo actuator / surface roughness / near-field / ニアフィールド / 超精密加工表面 / 絶縁体表面 / 圧電素子 / 表面粗さ / イメージインテンシファイヤー / アルゴンイオンレーザー / その場観察 / レ-ザ- / トポグラフィ / 放物面計測 / 非球面形状計測 / ガラスレスCCDカメラ / デジタルホログラフィー / 表面形状計測 / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / デジタルホログラフ / phase-shifting interferometer / point diffraction interferometer / 点光源回折干渉計 / 近接場局所分光 / キャビティーリングダウン分光 / 輸送係数 / 衝突断面積 / ボルツマン方程式 / 吸収分光計測 / 平均自由工程 / 破壊靭性 / 共焦点法 / トポグラフィ- … More Except Principal Investigator EEM / STM / 転位 / STS / Dislocation / 超精密加工 / Fracture Toughness / 破壊じん性 / 負荷速度 / 塑性変形 / 極低温 / HeCdレーザー / WGMモード / フォトレジスト / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 走査型近接場光学顕微鏡 / Si(001)2×1表面 / 局所状態密度 / 第一原理分子動力学 / Thermal Activation Theoty / Yield Stress / Flow Stress / High Strain Rate / Cryogenic Temperature / 双晶 / 熱活性化過程 / 降伏応力 / 変形応力 / 高ひずみ速度 / Grain Boundary / Lattice Defects / Strength / Ceramics / 辷り系 / パイエルス力 / 塑性 / 粒界 / 格子欠陥 / 強度 / セラミックス / Pulse-power / Laser / Plasma / Extreme-ultraviolet (EUV) / Semiconductor production / パルス放電 / デバイス設計・製造プロセス / パルスパワー / レーザー / プラズマ / 極端紫外光 / 半導体デバイス製造 / surface defect / surface morphology / high-frequency pulse / surface characterization / ultra-precision machining / insulator / scanning tunneling spectroscopy / scanning tunneling microscope / 表面欠陥 / 表面微細構造 / 高周波パルス / 表面キャラクタリゼーション / 絶縁体 / 走査トンネル分光法 / 走査トンネル顕微鏡 / three dimensional boundary element method / micro protrusion / HeCd laser / photoresist / Morphology Dependent Resonances / Whispering Gallery Modes / spherical micro resonator / Scanning Near-field Optical Microscope / 時間領域差分法 / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / SNOM / 走査系近接場光学顕微鏡 / 光の近接場 / 三次元境界要素法 / MDRs / WGMs / Ultra clean technology / First-principles molecular dynamics simulation / Electrochemical machining in ultrapure water / Atmospheric pressure plasma CVD / Plasma CVM / Ultra precision machining / Perfect surfaces / 第一原理分子動力学シュミレーション / 超純粋電解加工 / ウルトラクリーンテクノロジー / 第一原理分子動力学シミュレーション / 超純水電解加工 / 大気圧プラズマCVD / プラズマCVM / 完全表面 / two-photon absorption / crystalline silicon / silane / excimer laser / cryogenic substrate / condensed phase / deposition / photochemical reaction / ダイヤモンド成膜 / 原子状水素 / 凝集用 / KrF / ArF / 無定形炭素 / ダイヤモンド合成 / μc-Si / 凝集相 / C系薄膜 / Si系薄膜 / エキシマレーザー / 1光子吸収 / 2光子吸収 / 低温凝集相 / 光化学反応 / Si wafer / Elementary analysis / Si (001) 2*1 surface / Local density of states / First principle MD / H-terminated Si surface / Ab-inito MO / 電子構造 / 表面分析 / 金属汚染物 / シリコンウェーハ / 走査型トンネル分光法 / 水素終端化 / 走査型トンネル分光 / 走査型トンネル顕微鏡 / Siウェーハ / 元素分析 / Si (001) 2×1表面 / 水素終端化Si表面 / Ab-initio分子軌道法 / Low temperature deposition / Thin film / Silicon / Surface modification / Ion gun / 表面制御 / 薄膜用基板 / イオン照射 / シリコン薄膜 / 低温成膜 / 薄膜 / シリコン / 表面改質 / イオンガン / coating / surface preparation / ultra-fine particle / plasma CVD / マイクロ波プラズマ / コーティング / 表面処理 / 粉末粒子 / プラズマCVD / Termal Activation Mechanism / Brittle-to-Ductile Transition / Birefringence Observation / Alkali Halide Single Crystal / Dislocation Emission / 延性-ぜい遷移 / Kcl単結晶 / 延性ーぜい性遷移 / 応力遮蔽効果 / KClーKBr固溶体単結晶 / KCl単結晶 / 破壊じん性試験法 / 引張試験法 / 構造材料 / 超電導マグネット / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 非球面計測 / HeNeレーザー / 位相シフト干渉計測法 / シングルモード光ファイバ / 点回折干渉計測法 / 回折球面波 / 3次元境界要素法 / 高空間分解能 / 極微小突起プローブ / フェムト秒レーザー / 退色 / 微小共振器 / 相転移 / ファイバ / 顕微鏡 / 二光子 / 蛍光 / 細胞 / 共振 / 相変化 / プローブ / 近接場 / ZrN,AlN / Si単結晶薄膜 / スパッタリング成膜 / 反応性イオンエッチング / プラズマプロセス / 表面反応素過程 Less

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical MirrorsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2007 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Osaka University
Development of High Performance EUV Light Source Using Condensed Cone-center-axis Plasma Generated by Laser with Nano-second Pulse-power
- Principal Investigator
  
  NAKANO Motohiro
- Project Period (FY)
  2005 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Osaka University
大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型2光源PDI形状計測装置の応用
- Principal Investigator
  
  押鐘寧
- Project Period (FY)
  2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  Osaka University
Absolute surface figure measurement of aspherical surfaces with diffracted wavefronts as reference waves emitted from two optical fibersPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2004 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Osaka University
回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  2002 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Characterization of insulator surfaces after ultra-precision machining by STM/STS with high-frequency pulses
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Development of a superior PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) for Absolute Shape Measurement of Large-Diameter SurfacesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Graduate School of Engineering, Osaka University
微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法
- Principal Investigator
  
  押鐘寧
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1999 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
Application of optical near-field excited with ultra fast laser pulses to microfabricationPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Applied optics/Quantum optical engineering
- Research Institution
  Osaka University
Development of scanning near-field optical microscope with a micro rasonator and a optical resonator
- Principal Investigator
  
  OSHIKANE Yasushi
- Project Period (FY)
  1998 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
- Research Field
  
  電子デバイス・機器工学
- Research Institution
  Osaka University
ニアフィールドのマイクロスコピー
- Principal Investigator
  
  大津元一
- Project Period (FY)
  1997 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- Research Institution
  Tokyo Institute of Technology
粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1997 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1996 – 1997
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Spatiotemporal optical emission spectroscopy of atmospheric VHF plasma processPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Creation of Perfect Surfaces
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1996 – 2002
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for COE Research
- Research Institution
  Osaka University
Experimental Study of Photochemical Deposition in a Condensed Phase on a Cryogenic Substrate
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1995 – 1997
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Elementary Analysis of a single Metallic Atom on Si Wafer Surface by STM/STS
- Principal Investigator
  
  ENDO Katsuyoshi
- Project Period (FY)
  1994 – 1996
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Study on substrate surface modification by ion beam irradiation
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1993 – 1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Materials/Mechanics of materials
- Research Institution
  Osaka University
Micro-Machining by Nearfield OpticsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Estimation of ultra precision machined surface by Scanning Near-field Optical MicroscopePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KATOAOKA Toshihiko
- Project Period (FY)
  1992 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Osaka University
Study on surface coating of ultra-fine particles for EEM machining.
- Principal Investigator
  
  MORI Yuzo
- Project Period (FY)
  1992 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作
- Research Institution
  Osaka University
き裂先端での転位の生成と運動ー光散乱トポグラフィ-によるその場観察Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦 (片岡秀彦)
- Project Period (FY)
  1990 – 1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Osaka University
Temperature Dependence of Fracture Toughness and Dislocation Emission at Crack Tip
- Principal Investigator
  
  KISHIDA Keizo
- Project Period (FY)
  1989 – 1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Aerospace engineering
- Research Institution
  Osaka University
光散乱を利用した運動転位のその場観察Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  片岡俊彦
- Project Period (FY)
  1988 – 1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Osaka University
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価
- Principal Investigator
  
  岸田敬三
- Project Period (FY)
  1986
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Fusion Research
- Research Institution
  Osaka University
Deformatio and Fracture of Materials at High Strain Rates and Cryogenic Temperature
- Principal Investigator
  
  KISHIDA Keizo
- Project Period (FY)
  1986 – 1987
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  機械材料工学
- Research Institution
  Osaka University
Strength and Lattice Defects of Ceramics
- Principal Investigator
  
  SUZUKI Takayoshi
- Project Period (FY)
  1985 – 1987
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
- Research Field
  
  Physical properties of metals
- Research Institution
  Institute of Industrial science, University of Tokyo

All 2008 2007 2006 2005 2004

All Journal Article Patent

[Journal Article] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008
- Author(s)
  Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
- Journal Title
  
  Surface and Inter face Analysis Vol. 40
  
  Pages: 1028-1032
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[Journal Article] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-繰り返し発光特性の評価-2007
- Author(s)
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 井上晴行, 押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 773-774
- NAID
  130005028703
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007
- Author(s)
  Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
- Journal Title
  
  Optical Review Vol. 14
  
  Pages: 401-405
- NAID
  10020010020
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[Journal Article] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007
- Author(s)
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130005028613
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007
- Author(s)
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma-Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- Author(s)
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 133-134
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- Author(s)
  中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- Author(s)
  岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 161-161
- NAID
  130004658297
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma -Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- Author(s)
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 133-134
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-2006
- Author(s)
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 585-586
- NAID
  130004658236
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] ナノ秒レーザ誘起円錐孔アプレーション・プラズマの発光計測2006
- Author(s)
  中野元博, 細谷明弘, 吉川隆弥, 大谷祐子, 山内良昭, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-2006
- Author(s)
  吉川隆弥, 大谷祐子, 中野元博, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 73-74
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] Absolute surface profiling of large diameter mirror by point diffraction interferometer2006
- Author(s)
  S.Okagaki, T.Nakamura, T.Matsuura, Y.0shikane, T.Kataoka, H.Inoue, M.Nakanao
- Journal Title
  
  Extended abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  Pages: 121-122
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005
- Author(s)
  岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004657236
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- Author(s)
  井上晴行, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16,No.2
  
  Pages: 36-41
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16,No.1
  
  Pages: 49-55
- NAID
  40006560304
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] EUV光源開発のためのパルスレーザーによる高密度プラズマ生成と発光計測2005
- Author(s)
  細谷明弘, 吉川隆弥, 中野元博, 山内良昭, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
- NAID
  130004656964
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[Journal Article] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16, No.1
  
  Pages: 49-55
- NAID
  40006560304
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- Author(s)
  井上晴行, 片岡俊彦
- Journal Title
  
  光アライアンス Vol.16, No.2
  
  Pages: 36-41
- NAID
  40006601718
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004655911
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[Journal Article] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- Author(s)
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[Patent] レーザプラズマ光源2007
- Inventor(s)
  中野元博, 片岡俊彦
- Industrial Property Rights Holder
  大阪大学
- Industrial Property Number
  2007-213321
- Filing Date
  2007-08-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17360161

1. ENDO Katsuyoshi (90152008)

# of Collaborated Projects: 16 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. OSHIKANE Yasushi (40263206)

# of Collaborated Projects: 14 results

# of Collaborated Products: 13 results
3. INOUE Haruyuki (30304009)

# of Collaborated Projects: 9 results

# of Collaborated Products: 12 results
4. NAKANO Motohiro (40164256)

# of Collaborated Projects: 7 results

# of Collaborated Products: 17 results
5. MORI Yuzo (00029125)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. KISHIDA Keizo (00029068)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. YAMAUCHI Kazuto (10174575)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. 山内良昭 (00252619)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 2 results
9. YAMAMURA Kazuya (60240074)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. MATSUURA Toshiaki (60525145)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
11. HIROSE Kikuji (10073892)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. YOSHII Kumayasu (30029152)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
13. MORITA Mizuho (50157905)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. SUZUKI Takayoshi (70013208)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. MAEDA Kyoji (10107443)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. FUJITA Hiroshi (30028930)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. YOKOYAMA Takashi (60093944)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
18. 大津元一 (70114858)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. 中村收 (90192674)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
20. 楠見明弘 (50169992)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. 腰原伸也 (10192056)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
22. 前川一郎 (70018464)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
23. 庄子哲雄 (80091700)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
24. 山田朝治 (80028919)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
25. 佐野泰久 (40252598)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
26. 青野正和 (10184053)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
27. 安武潔 (80166503)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
28. 吉永日出男 (40005856)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
29. 角野浩二 (50005849)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
30. 石田洋一 (60013108)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
31. TAKEUCHI Shin (60013512)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
32. IMURA Toru (50022968)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
33. 島本進

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

KATAOKA Toshihiko 片岡 俊彦

片岡 秀彦 タカオカ トシヒコ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical MirrorsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Absolute surface figure measurement of aspherical surfaces with diffracted wavefronts as reference waves emitted from two optical fibersPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of a superior PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) for Absolute Shape Measurement of Large-Diameter SurfacesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Application of optical near-field excited with ultra fast laser pulses to microfabricationPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

KATAOKA Toshihiko 片岡俊彦

片岡秀彦タカオカトシヒコ