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小野 昭一  ONO Shoichi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00005232
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1986年度 – 1993年度: 東北大学, 電気通信研究所, 教授
1985年度: 東北大学, 電通研, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
広領域 / プラズマ理工学
研究代表者以外
電子材料工学 / 電子機器工学 / プラズマ理工学
キーワード
研究代表者
マイクロ波管 / Gyrotron / Peniotron / 自由電子レーザ / プラズマ加熱 / ジャイロトロン / ペニオトロン / ジヤイロトロン / サイクロトロン共鳴 / Plasma heating … もっと見る / Free electron laser / 自由電子レ-ザ / Microwave tube / ジャイロトロ / 自由電子レ-ザ- / Cyclotron Resonance / Microwave Tube / Free Electron Laser / Plasma diagnostics / Microwave / Cyclotron fast wave tube / Auto-resonance / ECH / 自由電子レーザー / ミリ波管 / サイクロトロン高速波管 / 核融合 / 加熱 / プラズマ … もっと見る
研究代表者以外
CVD / レーザー加速器 / 逆スミス・パーセル効果 / 共鳴トンネル / Si / GeH_4 / SiH_4 / MOSFET / ヘテロ構造 / シリコン / ECR Plasma / ECRプラズマ / マイクロ波管 / Submillimeter wave laser / Laser-driven linac / Inverse Smith-Purcell effect / サブミリ波レーザー / 回折格子 / サブミリ波レ-ザ- / 回析格子 / レ-ザ-加速器 / 逆スミス・パ-セル効果 / Vacuum Tube / Insulator Film / Vacuum ICs / Resonance Tunnelling / Tunnelling Phenomenon / 分子層エピタキシ / 真空管IC / トンネル現像 / 絶縁薄膜 / 真空IC / トンネル現象 / EQ-Switched CO_2 Laser / Submillimeter Wave Laser / Metallic Grating / Laser-Driven Linac / Invers Dmith-Purcell Effect / サブミリ波 / 粒子加速器 / メカニカルチョッパー式EQスイッチCO_2レーザー / サプミリ波レーザー / 金属回析格子 / ISP効果 / Ion Irradiation / Radical / Adsorption & Reaction / Epitaxy / Etching / Plasma CVD / Selectivity / イオン照射 / ラジカル / 吸着・反応 / エピタキシ / エッチング / プラズマCVD / 選択性 / Resonant Tunneling / Flash Heating / Chemical Vapor Deposition / Atomic Layr Epitaxy / エピタキシャル成長 / 集積回路 / ゲルマニウム / 瞬時加熱 / 原子層成長 / MOS devices / Vacuum microelectronics / Cold cathode / Field emission / Tunnel effect / MOSデバイス / 真空マイクロエレクトロニクス / 冷陰極 / 電界放射 / トンネル効果 / Ultrasmall Device / Heterodevice / Heterostructure / Silicon-Germanium / Silicon / 超微細デバイス / ヘテロデバイス / シリコン-ゲルマニウム / Nitrogen Addition / Ultraclean / Selective Epitaxy / Anisotropy / Perfect Selectivity / Etching Delay Time / Langmuir's Adsorption / 窒素添加効果 / 超高清浄化 / 選択エピタキシ / 異方性 / 完全選択性 / エッチング遅れ時間 / ラングミュア吸着 / Plasma heating / Microwave tube / Electron cyclotron resonance / Free electron laser / Peniotron / Gyrotron / 自由電子レ-ザ- / プラズマ加熱 / サイクロトロン共鳴 / 自由電子レ-ザ / ペニオトロン / ジャイロトロン 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 共同研究者

    (17人)
  •  ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究

    • 研究代表者
      室田 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  真空マイクロエレクトロニクス用微小冷陰極に関する研究

    • 研究代表者
      横尾 邦義
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究

    • 研究代表者
      室田 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究

    • 研究代表者
      松浦 孝
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  サイクロトロン高周波自己共鳴ペニオトロン発振管に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      小野 昭一
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      広領域
    • 研究機関
      東北大学
  •  ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

    • 研究代表者
      松浦 孝
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  自己共鳴ペニオトロン発振管に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      横尾 邦義
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  周波数可変強力サブミリ波光源に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      小野 昭一
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      広領域
    • 研究機関
      東北大学
  •  レ-ザ-光を用いた電子加速器の基礎的研究

    • 研究代表者
      水野 皓司 (水野 晧司)
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  真空管ICに関する基礎的研究

    • 研究代表者
      横尾 邦義
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  140GHzサイクロトロン3倍波ジャイロ・ペニオトロンの試作研究代表者

    • 研究代表者
      小野 昭一
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  レーザー光を用板電子加速器の基礎的研究

    • 研究代表者
      水野 皓司
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ジャイロトロンの超高周波数化とジャイロ・ペニオトロン動作研究代表者

    • 研究代表者
      小野 昭一
    • 研究期間 (年度)
      1985
    • 研究種目
      エネルギー特別研究(核融合)
    • 研究機関
      東北大学
  • 1.  横尾 邦義 (60005428)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  佐藤 信之 (10178759)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  室田 淳一 (70182144)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  松浦 孝 (60181690)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  〓 鐘石 (20165525)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  水野 晧司 (30005326)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  曄道 恭 (50025384)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  大見 忠弘 (20016463)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  畠山 力三 (00108474)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  嶋脇 秀隆 (80241587)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  佐藤 徳芳 (40005252)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  立川 敏明 (00020206)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  出原 敏孝 (80020197)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  佐藤 武敏
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  中村 直人
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  黒河 治重
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  BAE Jongsuck
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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