森田瑞穂 MORITA Mizuho

研究者番号	50157905
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2016年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授 2011年度 – 2016年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 2013年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授 2007年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る 2009年度 – 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1997年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 1998年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1997年度: 大阪大学, 工学部, 教授 1996年度: 東北大学, 工学部, 助教授 1993年度 – 1995年度: 東北大学, 大学院・情報科学研究科, 助教授 1994年度: 東北大学, 大学院情報科学研究科, 助教授 1994年度: 東北大学大学院, 情報科学研究科, 助教授 1991年度 – 1992年度: 東北大学, 工学部, 助教授 1987年度 – 1990年度: 東北大学, 工学部, 助手 1986年度: 東北大, 工学部, 助手 1985年度: 広島大学, 工, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 表面界面物性 / 電子・電気材料工学 / 電子材料工学 / 生産工学・加工学 / 理工系研究代表者以外電子材料工学 / 電子・電気材料工学 / 生産工学・加工学
キーワード	研究代表者シリコン酸化膜 / シリコン / SILICON / 半導体表面 / 微小空隙 / トンネル分光 / 極薄シリコン酸化膜 / 半導体プロセス / プロセス / デバイス … もっと見る / SILICON DIOXIDE / SEMICONDUCTOR PROCESS / 量子井戸 / 発光デバイス / センシングデバイス / 電子応答 / シリコン酸化 / 半導体デバイス / Silicon Oxidation / Low Temperature Oxidation / 光酸化 / 弗素触媒 / 低温酸化 / CONDUCTANCE / CAPACITANCE / ULTRAPURE WATER / SENSING / NANO-GAP / ナノギャップ構造 / コンダクタンス / 静電容量 / 超純水 / センシング / ナノギャップ / LIGHT IRRADIATION / OXYGEN / WATER / HEATING / CLEANING / SILICON SURFACE / 光照射効果 / ウルトラクリーン洗浄 / シリコン表面反応制御 / 光照射 / 酸素 / 水 / 昇温 / 洗浄 / シリコン表面 / SURFACE REACTION / SEMICONDUCTOR SURFACE / 表面反応 / SILICON ON INSULATOR / SEMICONDUCTOR DEVICE / シリコン・オン・インシュレータ / Thin Film Growth / Oxidation / Semiconductor Surface / 半導体薄膜成長 / 薄膜成長 / 酸化 / トンネル効果 / ナノマイクロ加工 / 光エッチング / 三次元形状 / フッ素化剤 / トンネル現象 / 電荷分析 / ダブルバリア / マイクロセンサ構造 / 原子レベル制御 / 精密制御熱酸化 / 共鳴トンネル / 酸化膜 … もっと見る研究代表者以外低エネルギイオン照射 / 超高速LSI / 銅配線 / エッチング / 形状創成 / シリコン / 光エッチング / N-フルオロピリジニウム塩 / フッ素化剤 / スパッタリング / EEPROM / 超LSI / エピタキシャルシリコン / 低温エピタキシャル成長 / スパッタ成膜 / EEM / CMOS / ニューロンMOSトランジスタ / Neuron MOS Transistor / A / 超高密度LSI / 界面 / 塗布 / 半導体表面 / 3次元形状 / 光転写 / 多値メモリ / 半導体 / MOSFET / 低温プロセス / Ultralarge scale integration / Aluminum interconnect / Copper interconnect / Low energy ion bombardment / Silicon epitaxy / Low temperature processing / Sputtering / 薄膜形成 / 二周波励起 / RFバイアス / 静電チャック / Al配線 / Cu配線 / シリコンエピタキシャル成長 / hillock-free / pure aluminum metalization / low temperature epitaxy / thin film formation / bias-sputtering / アルミ薄膜 / ヒロックフリー / Al薄膜 / バイアススパッタ / SPUTTERING / COPPER METALLIZATION / ALUMINUM METALLIZATION / INTERCONNECTS / ULTRA HIGH SPEED LSI / ショットキダイオード / 金属薄膜のエピタキシャル成長 / エピタキシャル成長 / アルミニウム配線 / LSI用配線技術 / hydrophilic surface / hydrophobic surface / exposure / applying / fluorination agent / N-fluoropyridinium salt / silicon / photo-etching / 干渉計 / 近赤外光 / 固相反応 / 親水性 / 疎水性 / 露光 / Ultra clean technology / First-principles molecular dynamics simulation / Electrochemical machining in ultrapure water / Atmospheric pressure plasma CVD / Plasma CVM / Ultra precision machining / Perfect surfaces / STM / 第一原理分子動力学シュミレーション / 超純粋電解加工 / ウルトラクリーンテクノロジー / 第一原理分子動力学シミュレーション / 超純水電解加工 / 大気圧プラズマCVD / プラズマCVM / 超精密加工 / 完全表面 / Tantalum / Amorphous silicon / Interconnection / Antifuse / High speed programming / Current-Drive Silicidation / 超高速書き込み / タンタル / アモルファスシリコン / 配線接続 / アンチヒューズ / 超高速書込み / 電流駆動シリサイド化反応 / GENERALIZATION / BACK PROPAGATION / SYNAPSE / NEURON MOS TRANSISTOR / HARDWARE LEARNING / SELF LEARNING / NEURAL NETWORK / ハードウェア学習アルゴリズム / フローティングゲート / アナログニューラルネットワーク / 自己学習 / ヘブルール / 学習アルゴリズム / 汎化能力 / 自己学習機能 / バックプロパゲーション / シナプス / ニューラルネットワーク / threshold voltage / SOI MOSFET / copper interconnect / contact resistance / metal-substrate / high-permittivity gate-insulator / metal-gate / イオンビームミキシング / コンタクト / 高誘電体膜 / メタルゲートMOS / SOI / タンタルゲート / 低抵抗コンタクト / 高誘電率絶縁膜 / メタルゲート / SOIデバイス / 閾値 / SOIMOSEFT / コンタクト抵抗 / 金属基板 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / メタルゲート電極 / Search Engine / Multi-Valued Memory / Data Matching / Multi-Valued Logic / Soft Hardware / Functional Device / MOSLSI / コンピュータアーキテクチャ / 加算器 / ソフトハードウェアロジック / 論理LSI / CMOS LSI / 連想メモリ / データマッチング / 多値情報処理 / ソフト・ハードウェア / 機能デバイス / Full adder / Floating gate / D converter / Soft Hard ware Logic / Binary Logic Circuits / Neuron / Neural Network / ニュ-ラルネットワ-ク / Aコンバ-タ / D / 可変閾値素子 / 可変閾値トランジスタ / フラッシュA / フロ-ティングゲ-ト / 信号空間加算 / 全加算器 / Dコンバ-タ / ニュ-ロンMOSトランジスタ / ニュ-ロン / ソフトハ-ドウェア論理回路 / Self-Aligne Metal-Gate Mosfet / Ion Implantation / H_2-Plasma Cleaning / Low-Energy Ion Bombardment / Ultra Clean Technology / Metal-Silicon Contact / Low Temperature Processing / Ultra-High Speed Integrated Circuit / アウトガスフリ-レジストプロセス / 低エネルギイオンエッチング / 金属・半導体接合 / 自己整合金属ゲ-トMOSFET / ウルトラクリ-ンイオン注入 / NON ALLOYING CONTACT / 低エネルギイオン照射プロセス / エレクトロマイグレ-ション / 超高速配線 / Cu配線技術 / イオン注入層低温アニ-ル / メタルゲ-ト自己整合MOSFET / 修正加工 / 創成加工 / フォトエッチング / Ｎ－フルオロピリジニウム塩 / 表面 / インクジェット / 高しきい値ニューロンMOS / MSB先行ビットフロー / データフローパスミニマム / フレックスウェア / 四端子デバイス / LCD / TFT / 原子状水素 / 低エネルギイオン / CVD / プラズマ / 多結晶シリコン / アナログベクトル / 連想記憶 / VERIFY動作 / WRITE / ニューロンMOS / Fowler-Nordheimトンネル / 特徴ベクトル / 知能システム / FN注入 / アナログメモリ / 不揮発性メモリ / 酸化 / 水素ラジカル / DRAMメモリセル / 超高真空技術 / プロセス装置技術 / 二周波励起プラズマ / 完全自動化ライン / ゲート酸化 / 静電気障害 / イオン注入 / 半導体製造装置 / ドライプロセス隠す

求電子型フッ素化剤光反応による機能デバイス半導体表面の三次元形状創成加工研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
極薄シリコン／シリコン酸化膜二次元量子構造への電子トンネル注入発光デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
フッ素化剤－シリコン界面反応によるシリコン表面の精密位置合わせ光転写形状創成加工
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
極薄シリコン/シリコン酸化膜系による二次元量子構造発光デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
金属／微小空隙／半導体構造アレイによる生体の電荷・準位分布分析デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の光転写・形状創成一括加工
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
横型ダブルバリア構造によるナノ材料・ナノ生体分子の共鳴トンネル分光法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
金属/微小空隙/半導体構造の電子応答による生体のエネルギー準位分析デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
固体フッ素化剤―シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
極薄シリコン酸化膜スペーサを用いたナノギャップ構造トンネル分光デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
仮想多層膜形成条件熱酸化による高機能極薄シリコン酸化膜の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2001
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
シリコン/微小空隙/シリコン構造を用いたトンネル分光マイクロセンサの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  大阪大学
シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  大阪大学
シリコン/シリコン酸化膜系ダブルバリヤ構造を用いた共鳴トンネル分光法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  大阪大学
縦型共鳴トンネル構造の共鳴/非共鳴条件による動作機能可変SOI量子デバイスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪大学
完全クローズド系の酸素フリー水/水フリー酸素とのシリコン表面反応機構制御の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  大阪大学
極限集積化デバイスのしきい値支配因子自己収束酸化プロセスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  大阪大学
ニューロンMOSを用いた任意演算・処理機能の実時間可変型ユニバーサルALU
- 研究代表者
  
  小谷光司
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
極限集積化デバイスのしきい値支配因子自己収束プロセスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1996
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
過去の経験をコードで記憶する高精度アナログ不揮発性メモリの研究
- 研究代表者
  
  柴田直 (柴田道)
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
   東北大学
超精密制御スパッタリング・CVD融合成膜を駆使した高品質多結晶SiTFTプロセス
- 研究代表者
  
  丁剛洙
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
完全表面の創成
- 研究代表者
  
  森勇藏 (森勇蔵)
- 研究期間 (年度)
  1996 – 2002
- 研究種目
  
  特別推進研究(COE)
- 研究機関
  大阪大学
極限集積化デバイスのしきい値支配因子自己収束プロセスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
電流駆動シリサイド化反応を用いた超高速超微細フィールドプログラマブル集積回路
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
超清浄金属表面の触媒作用による高効率水素ラジカル発生プロセスの研究
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
オンチップ学習回路装備・完全電圧モード動作ニューラルネットワークLSIの試作研究
- 研究代表者
  
  柴田道 (柴田直)
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  試験研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
超LSIの完全ドライ・トータル低温製造ラインシステムの試作研究
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  試験研究(A)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
やわらかいハードウェアを有する新しい論理LSI
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
表面キャリア伝導モジュレーションによる半導体表面反応の精密分析・制御の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
単一素子でニュ-ロン機能を実現する新しいMOS型デバイスの研究
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1989
- 研究種目
  
  試験研究
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
超高速LSI対応配線構造の研究
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1988
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
RF-DC結合バイアススパッタ装置
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1988
- 研究種目
  
  試験研究
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  森田瑞穂
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1986
- 研究種目
  
  試験研究
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  東北大学
   広島大学

[図書] 赤外線加熱工学ハンドブック極薄シリコン酸化膜形成への応用2003
- 著者名/発表者名
  森田瑞穂
- 出版者
  アグネ技術センター
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[図書] 赤外線加熱工学ハンドブック極薄シリコン酸化膜形成への応用2003
- 著者名/発表者名
  森田瑞穂
- 出版者
  アグネ技術センター
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Electroluminescence in metal-oxide-semiconductor tunnel diodes with a crystalline silicon/silicon dioxide quantum well2022
- 著者名/発表者名
  Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Cassia Tiemi Azevedo, Ayano Tsuchida, Miho Morita, Yasushi Oshikane, Junichi Uchikoshi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Micro and Nanostructures
  
  巻: 166 ページ: 207228-207228
- DOI
  10.1016/j.micrna.2022.207228
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630130
[雑誌論文] Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area2017
- 著者名/発表者名
  Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Cassia Tiemi Azevedo, Miho Morita, Junichi Uchikoshi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[雑誌論文] Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area2017
- 著者名/発表者名
  Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Cassia Tiemi Azevedo, Miho Morita, Junichi Uchikoshi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630130
[雑誌論文] Effect of metal particles on the Si etching rate with N-fluoropyridinium salts2016
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Kentaro Kawai, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 10 ページ: 1080031-3
- DOI
  10.7567/jjap.55.108003
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-26289017, KAKENHI-PROJECT-16K14133
[雑誌論文] Absolute flatness measurements of silicon mirrors by a three-intersection method by near-infrared interferometry2013
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Nanoscale Research Letters
  
  巻: 8 号: 1 ページ: 2751-7
- DOI
  10.1186/1556-276x-8-275
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123, KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020
[雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: 12
- URL
  http://www.sciencedirect.com/science/journal/15671739/12/supp/S4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: 12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[雑誌論文] Photoetching of Silicon by N-Fluoro pyridinium Salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Shigeharu Goto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters 13
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Photoetching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Shigeharu Goto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters
  
  巻: 13
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing D e v i c e s2009
- 著者名/発表者名
  Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO, Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  ANALYTICAL SCIENCES 25(Peer-reviewed)
  
  ページ: 101-104
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing Devices2009
- 著者名/発表者名
  Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO, Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI and Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  ANALYTICAL SCIENCES(Peer-reviewed) 25
  
  ページ: 101-104
- NAID
  10025209631
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Pinhole in Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Transmission Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Journal of The Electrochemical Society 155(11)(Peer-reviewed)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Absolute Line Profile Measurements of Silicon Plane Mirrors by Near-Infrared Inte rferometry2008
- 著者名/発表者名
  Junichi UCHIKOSHI, Amane TSUDA, Noritaka AJARI, Taichirou OKAMOTO, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 8978-8981
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing WU, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Ryuta YAMADA, Akihiro TAKEUCHI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(4)(Peer-reviewed.)
  
  ページ: 2511-2514
- NAID
  10022549248
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Pinhole in Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Transmission Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Journal of The Electrochemical Society 155
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656079
[雑誌論文] Sensing of λDNA solutions by metal-gap-semiconductor devices2008
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Surface and Interface Analysis(Peer-reviewed) 40
  
  ページ: 1131-1133
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films by Different-Metal Gates Method2008
- 著者名/発表者名
  Takaaki HIROKANE, Naoto YOSHII, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 8317-8320
- NAID
  40016346939
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(inpress)
- NAID
  10022549248
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Sensing Devices2008
- 著者名/発表者名
  Takaaki HIROKANE, Hideaki HASHIMOTO Daisuke KANZAKI, Shinichi URABE Kenta ARIMA. Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  ANALYTICAL SCIENCES 25
  
  ページ: 101-104
- NAID
  10025209631
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing WU, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Ryuta YAMADA, Akihiro TAKEUCHI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 3041-3045
- NAID
  10022549248
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Sensing ofλDNA solutions by metal-gap-semiconductor devices2008
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Surface and Interface Analysis 40(Peer-reviewed.)
  
  ページ: 1131-1133
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor Structure for Biological Sensors2008
- 著者名/発表者名
  Hideaki Hashimoto, Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 11(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Void in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Controlling Coherence Length of Light Source using Near-Infrared Microscope2007
- 著者名/発表者名
  Noritaka AJARI, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 46(4B)(Peer-reviewed.)
  
  ページ: 1994-1996
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Pinhole in Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2007
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 11
  
  ページ: 173-182
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656079
[雑誌論文] Liquid Sensing by Nano-Gap Device with Treated Surface2006
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Tatsuya Takegawa, Satoru Morita, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 900-901
- NAID
  10022547108
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Absolute line profile measurements of plane silicon mirrors with an anti-reflection film using near-infrared ray interferometry2006
- 著者名/発表者名
  N.Ajari, J.Uchikoshi, A.Tsuda, T.Okamoto, T.Hirokane, A.Funamoto, K.Arima, M.Morita
- 雑誌名
  
  PROGRAM and ABSTRACTS, Second International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology. Tokyo, 2006
  
  ページ: 25-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Absolute straightness measurements of plane silicon mirrors with wedge by near-infrared ray interferometry2006
- 著者名/発表者名
  Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Amane Tsuda, Akihiro Funamoto, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 127-128
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] 近赤外干渉計によるシリコンミラーの絶対形状測定-ウェッジ付きシリコンミラーの絶対形状測定-2006
- 著者名/発表者名
  阿砂利典孝, 打越純一, 津田周, 廣兼孝亮, 有馬健太, 森田瑞穂
- 雑誌名
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
  
  ページ: 57-58
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Characterization of Void in Bonded SOI Wafers by Controlling Coherence Length of Near-Infrared Microscope2006
- 著者名/発表者名
  Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials, Yokohama, 2006
  
  ページ: 486-487
- NAID
  10022545814
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes with λDNA Molecules on SiO_2/Si Substrate after Elongating Treatment2006
- 著者名/発表者名
  Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Abstracts, 210th Meeting of The Electrochemical Society
  
  ページ: 2099-2099
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Characterization of Void in Bonded SOI Wafers by Controlling Coherence Length of Near-Infrared Microscope2006
- 著者名/発表者名
  Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 486-487
- NAID
  10022545814
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Metal-Gap-Semiconductor Sensing Devices for DNA Solutions2006
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Abstracts, 210th Meeting of The Electrochemical Society
  
  ページ: 1185-1185
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Photo current through SnO_2/SiC/p-Si(100) structures2006
- 著者名/発表者名
  Syuhei Nishikawa, Hideaki Hashimoto, Motonori Chikamoto, Kosuke Horikoshi, Minoru Aoki, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 508
  
  ページ: 385-388
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Photodetective Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Tunneling Structure with Aluminum Grid Gate2006
- 著者名/発表者名
  Hideaki Hashimoto, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 860-861
- NAID
  10022546987
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Terminated Si(100) Surfaces with Oxygen at Very Low Pressures during Heating2005
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Syuhei NISHIKAWA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 44・11
  
  ページ: 8091-8095
- NAID
  10016871640
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Electrical Properties of SiC/p-Si(100) Structure2005
- 著者名/発表者名
  Syuhei Nishikawa, Hideaki Hashimoto, Motonori Chikamoto, Minoru Aoki, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Program and Abstracts, Fourth International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures
  
  ページ: 148-149
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Terminated Si(100) Surfaces with Oxygen at Very Low Pressures during Heating2005
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Syuhei NISHIKAWA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 44(11)
  
  ページ: 8091-8095
- NAID
  10016871640
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Development of Nano-Gap Device for Biosensor2005
- 著者名/発表者名
  Satoru Morita, Takaaki Hirokane, Tatsuya Takegawa, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 828-829
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] CHARACTERIZATIUN OF TUNNELING CURRENT THROUGH ULTRATHIN SILICON DIOXIDE FILMS BY DIFFERENT-METAL GATES MRTHOD2005
- 著者名/発表者名
  Naoto Yoshii, Tatsuya Okazaki, Takaaki Hirokane, Shinichi Urabe, Kazuo Nishimura, Satoru Morita, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  The Physics and Chemistry of SiO_2 and the Si-SiO_2 Interface - 5, ECS Transactions, The Electrochemical Society 1・1
  
  ページ: 277-282
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] PHOTODETECTION CHARACTERISTICS OF SnO_2-ULTRATHIN SiO_2-Si STRUCTURES2005
- 著者名/発表者名
  Motonori Chikamoto, Hideaki Hashimoto, Kosuke Horikoshi, Akihito Shinozaki, Satoru Morita, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  The Physics and Chemistry of SiO_2 and the Si-SiO_2 Interface - 5, ECS Transactions, The Electrochemical Society 1・1
  
  ページ: 97-102
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Photodetector Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Tunneling Structures with Transparent Conductive Tin Oxide Gate2005
- 著者名/発表者名
  Motonori Chikamoto, Hideaki Hashimoto, Kosuke Horikoshi, Akihito Shinozaki, Satoru Morita, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 734-735
- NAID
  10022543080
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43・11B
  
  ページ: 7857-7860
- NAID
  10014215132
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tasuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of 2004 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES-SCIENCE AND TECHNOLOGY
  
  ページ: 77-78
- NAID
  10014215132
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Desorbed Si(100) Surfaces with Water during Heating and Cooling2004
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43(12)
  
  ページ: 8242-8247
- NAID
  10014216654
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Desorbed Si(100) Surfaces with Water during Heating and Cooling2004
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43・12
  
  ページ: 8242-8247
- NAID
  10014216654
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43(11B)
  
  ページ: 7857-7860
- NAID
  10014215132
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA.Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Nizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43・11B
  
  ページ: 7857-7860
- NAID
  10014215132
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43・11B
  
  ページ: 7857-7860
- NAID
  10014215132
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004
- 著者名/発表者名
  Satoru, MORITA, Tatsuya, TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstract of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 704-705
- NAID
  10022539806
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43(11B)
  
  ページ: 7857-7860
- NAID
  10014215132
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Desorbed Si(100) Surfaces with Water during Heating and Cooling2004
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43・12
  
  ページ: 8242-8247
- NAID
  10014216654
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004
- 著者名/発表者名
  Satoru, MORITA, Tatsuya, TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 704-705
- NAID
  10022539806
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Reaction of Hydrogen-Desorbed Si(100) Surfaces with Water during Heating and Cooling2004
- 著者名/発表者名
  Shinichi URABE, Kazuo NISHIMURA, Satoru MORITA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43(12)
  
  ページ: 8242-8247
- NAID
  10014216654
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Nano-Gap Device for Liquid Sensing2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Tatsuya TAKEGAWA, Takaaki HIROKANE, Shinichi URABE, Kenta ARIMA, Junichi UCHIKOSHI, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 704-705
- NAID
  10022539806
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultrathin Silicon Dioxide Films under Light Exposure2004
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Akihito SHINOZAKI, Yuuki MORITA, Kazuo NISHIMURA, Tatsuya OKAZAKI, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of 2004 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES-SCIENCE AND TECHNOLOGY
  
  ページ: 77-78
- NAID
  10014215132
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] FTIR-ATR Evaluation of Organic Contaminant Cleaning Methods for SiO_2 Surfaces2003
- 著者名/発表者名
  Akihito SHINOZAKI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA, Isao KOJIMA, Yasushi AZUMA
- 雑誌名
  
  ANALYTICAL SCIENCES 19
  
  ページ: 1557-1559
- NAID
  10012534238
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Energy Barrier Heights of Ultra-thin Silicon Dioxide Films with Different Metal Gates2003
- 著者名/発表者名
  Naoto Yoshii, Satoru Morita, Akihito Shinozaki, Minoru Aoki, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator 2003
  
  ページ: 96-97
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] FTIR-ATR Evaluation of Organic Contaminant Cleaning Methods for SiO_2 Surfaces2003
- 著者名/発表者名
  Akihito SHINOZAKI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA, Isao KOJIMA, Yasushi AZUMA
- 雑誌名
  
  ANALYTICAL SCIENCES 19
  
  ページ: 1557-1559
- NAID
  10012534238
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350166
[雑誌論文] Study on temperature calibration of a silicon substrate in a temperature programmed desorption analysis2001
- 著者名/発表者名
  N.Hirashita, T.Jimbo, T.Matsunaga, M.Matsuura, M.Morita, I.Nishiyama, M.Nishizuka, H.Okumura, A.Shimazaki, N.Yabumoto
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology A 19(4)
  
  ページ: 1255-1260
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Study on temperature calibration of a silicon substrate in a temperature programmed desorption analysis2001
- 著者名/発表者名
  N.Hirashita, T.Jimbo, T.Matsunaga, M.Matsuura, M.Morita, I.Nishiyama, M.Nishizuka, H.Okumura, A.Shimazaki, N.Yabumoto
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology A 19・4
  
  ページ: 1255-1260
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[雑誌論文] Tunneling Current through Ultra-Thin Silicon Dioxide Films Formed by Controlling Preoxide in Heating-up2001
- 著者名/発表者名
  Satoru MORITA, Tatsuya OKAZAKI, Kazuo NISHIMURA, Shinichi URABE, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator
  
  ページ: 110-113
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13555007
[産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2016
- 発明者名
  川合　健太郎、森田　瑞穂、足達　健二、永井　隆文
- 権利者名
  ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2016-03-04
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2015
- 発明者名
  足達　健二、永井　隆文、森田　瑞穂、川合　健太郎
- 権利者名
  ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-043031
- 出願年月日
  2015-03-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[産業財産権] エッチング方法2012
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、永井隆文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2012-044861
- 出願年月日
  2012
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] エッチング方法2012
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、永井孝文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-044861
- 出願年月日
  2012-02-29
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] エッチング方法2011
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、永井孝文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2011-264131
- 出願年月日
  2011-12-01
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] エッチング方法2011
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2011-264131
- 出願年月日
  2011
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] 少なくとも片面が粗面化された太陽電池用基板2009
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2009-273464
- 出願年月日
  2009-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[産業財産権] 特許権2009
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権番号
  2008-085942
- 出願年月日
  2009-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[産業財産権] エッチング方法2008
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学、ダイキン工業株式会社
- 産業財産権番号
  2008-085942
- 出願年月日
  2008-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[産業財産権] 検出素子およびそれを用いた検出装置2007
- 発明者名
  森田瑞穂, 廣兼孝亮
- 権利者名
  森田瑞穂
- 産業財産権番号
  2007-248433
- 出願年月日
  2007-09-26
- 取得年月日
  2007-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[産業財産権] 検出装置2007
- 発明者名
  森田瑞穂
- 権利者名
  森田瑞穂
- 取得年月日
  2007-03-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[産業財産権] 検出装置2007
- 発明者名
  森田瑞穂
- 権利者名
  森田瑞穂
- 出願年月日
  2007-03-23
- 取得年月日
  2007-03-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成2016
- 著者名/発表者名
  熊田　竜也、川合　健太郎、永井　隆文、足達　健二、有馬　健太、森田　瑞穂
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  東京工業大学　大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[学会発表] 光エッチングによる均一層厚を有する極薄SOIの形成2015
- 著者名/発表者名
  宮田　優希、中向　保徳、Cassia Tiemi Azevedo、押鐘　寧、川合　健太郎、有馬　健太、森田　瑞穂
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  東海大学　湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630130
[学会発表] Photoluminescence in Si/SO2 Single Quantum Wells2015
- 著者名/発表者名
  Cassia Azevedo, Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Yasushi Oshikane, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630130
[学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2014
- 著者名/発表者名
  Kenji Adachi, Takabumi Nagai, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Kentaro Kawai, Mizuho Morita
- 学会等名
  INTERNATIONAL CONFERENCE ON FLUORINE CHEMISTRY
- 発表場所
  Pacifico Yokohama(Kanagawa・Yokohama)
- 年月日
  2014-05-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[学会発表] Texturing Low Reflecting Surface of Random Double Inverted Pyramids Using N-fluoropyridinium Salt2014
- 著者名/発表者名
  Tatsuya Kumada, Kentaro Kawai, Toshinori Hirano, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  40th IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE
- 発表場所
  Denver(USA)
- 年月日
  2014-06-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[学会発表] Mask-less formation of anti-reflecting inverted-pyramids to single-crystal Si solar cell by N-fluoropyridinium salts2014
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Tatsuya Kumada, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  EMN Summer Meeting
- 発表場所
  Cancun(Mexico)
- 年月日
  2014-06-10
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289017
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  第36回フッ素化学討論会
- 発表場所
  つくば国際会議場(つくば市)
- 年月日
  2013-10-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013
- 著者名/発表者名
  平野利典、打越純一、大谷真輝、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木市
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System for biomedical applications2013
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PROGRAM AND ABSTRACT, Collaborative Conference on 3D & Materials Research
- 発表場所
  Jeju, South Korea
- 年月日
  2013-06-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System for biomedical applications2013
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PROGRAM AND ABSTRACT, Collaborative Conference on 3D & Materials Research
- 発表場所
  Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, South Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] NOMALLY-CLOSED VALVE INTEGRATION FOR PNEUMATIC ACTUATORS2013
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  TRANSDUCERS 2013 & EUROSENSORS XXVII
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- 年月日
  2013-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon Surface by Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Toshinori Hirano, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面テクスチャの形成2012
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、平野利典、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  八王子市
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Electroluminescence in Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes with an Ultrathin Silicon Layer2012
- 著者名/発表者名
  A. Tsuchida, K. Matsumura, R. Yamada, Y. Oshikane, K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima and M. Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Not peer-reviewed,Osaka
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656217
[学会発表] Non-FET electrochemical DNA detection using metal-gap-oxide-silicon structures2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Abstract, PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Electroluminescence in Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes with an Ultrathin Silicon Layer2012
- 著者名/発表者名
  A. Tsuchida, K. Matsumura, R. Yamada, Y. Oshikane, K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima and M. Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656217
[学会発表] Absolute Flatness Measurements of Silicon Mirrors by A Three-Intersections Method Using Near-Infrared Interferometry2012
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Katsumi Oda, Taro Arai, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Electroluminescence in Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes with Nanometer-Thick Silicon2012
- 著者名/発表者名
  Mizuho Morita, Ayano Tsuchida, Kei Matsumura, Ryuta Yamada, Yasushi Oshikane, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, and Kenta Arima
- 学会等名
  ECS Transactions, 45(5), The Electrochemical Society
- 発表場所
  Seattle
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656217
[学会発表] Electroluminescence in Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes with Nanometer-Thick Silicon2012
- 著者名/発表者名
  Mizuho Morita, Ayano Tsuchida, Kei Matsumura, Ryuta Yamada, Yasushi Oshikane, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, and Kenta Arima
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Seattle, USA
- 年月日
  2012-05-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656217
[学会発表] Label-Free Detection of DNA Using Metal-Gap-Metal-Insulator-Semiconductor Devices2012
- 著者名/発表者名
  Takashi Furukawa, Yasunori Nakamukai, Yuichi Doi, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Label-Free Detection of DNA Hybridization Using Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures2012
- 著者名/発表者名
  Yuichi Doi, Sonoko Nishiue, Takashi Furukawa, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with Nfluoropyridinium salts2012
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii, U.S.A.
- 年月日
  2012-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Metal-gap-oxide-silicon sensor for electrochemical DNA detection by flat band voltage shift2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Takuya Juro, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  38th International Conference on Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  Toulouse, France
- 年月日
  2012-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Photo-etching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Kenji Adachi, Takabumi Nagai, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Masaki Otani, and Mizuho Morita
- 学会等名
  20th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FLUORINE CHEMISTRY 2012
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2012-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成2012
- 著者名/発表者名
  平野利典、打越純一、大谷真輝、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  北九州市
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Formation of Si Random Inverted-Pyramids by Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Toshinori Hirano, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Non-FET electrochemical DNA detection using metal-gap-oxide-silicon structures2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, USA
- 年月日
  2012-10-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Nanogap electrochemical DNA sensor using flat band voltage shift2012
- 著者名/発表者名
  Takuya Juro, Kentaro Kawai, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PROGRAM AND ABSTRACTS, 8th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2012-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Metal-gap-oxide-silicon sensor for electrochemical DNA detection by flat band voltage shift2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Takuya Juro, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Abstracts, 38th International Conference on Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  Toulouse, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の3次元形状の作製2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京都
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-Fluoropyridinium Salts2011
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Electroluminescence in Ultrathin Silicon-on-Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel Diodes2011
- 著者名/発表者名
  A. Tsuchida, K. Matsumura, R. Yamada, Y. Oshikane, K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima and M. Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-10-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656217
[学会発表] Electrical Characteristics of Metal-Gap-Silicon and Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures2011
- 著者名/発表者名
  Takashi Furukawa, Yuuichi Doi, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Cu assisted etching with N-fluoropyridinium salts2011
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani,Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-fluoropyridinium Salts2011
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi,Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Cu assisted etching of Si with N-fluoropyridinium salt2011
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikosh, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi,Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Continuous Generation of Femtoliter Droplets Using Multistage Dividing Microfluidic Channel2011
- 著者名/発表者名
  Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Shuichi Shoji and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ3次元形状創成2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢市
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Electrical Characteristics of Metal-Gap-Oxide-Silicon Structures2011
- 著者名/発表者名
  Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Electrical Sensing of DNA Solutions by Lateral Silicon-Oxide-Gap-Oxide-Silicon Structure on Silicon-on-Insulator Substrate2011
- 著者名/発表者名
  Taiji Kamiya, Takashi Furukawa, Yuichi Doi, Ryuta Yamada, Kentarou Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2011-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の3次元形状の作製2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京都)(講演会は中止)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ３次元形状創成2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] シリコン-酸化膜-空隙-酸化膜-シリコン構造による液体センシング2010
- 著者名/発表者名
  神谷泰次, 山田隆太, 打越純一, 有馬健太, 森田瑞穂
- 学会等名
  応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川県平塚市
- 年月日
  2010-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656079
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング機構の考察2010
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、打越純一、後藤栄晴、大谷真輝、永井隆文、足達健二、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎市
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2010
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、森田瑞穂
- 学会等名
  第34回フッ素化学討論会
- 発表場所
  札幌サンプラザ(札幌市)
- 年月日
  2010-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Electrical Characterization of DNA Solutions Using Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Devices2010
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Yuichi Doi, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] Consideration of photo-etching mechanism of Si with N-fluoropyridinium salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Shigeharu Goto, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  大阪大学中之島センター(大阪市)
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Photonic and Biosensing Devices Using Silicon Technologies2010
- 著者名/発表者名
  Mizuho Morita, Junichi Uchikoshi and Kenta Arima
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2010-11-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2010
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、森田瑞穂
- 学会等名
  第34回フッ素化学討論会
- 発表場所
  札幌市
- 年月日
  2010-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Consideration of photo-etching mechanism of Si with N-fluoropyridinium salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Shigeharu Goto, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Sensing of DNA Solution by Silicon-Oxide-Gap-Oxide-Silicon Structure2010
- 著者名/発表者名
  Taiji Kamiya, Ryuta Yamada, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360125
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング機構の考察2010
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、打越純一、後藤栄晴、大谷真輝、永井隆文、足達健二、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎市)
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching with N-Fluoropyridinium Salts2009
- 著者名/発表者名
  K.Tsukamoto, J.Uchikoshi, S.Goto1, T.Nagai, K.Adachi, K.Arima, M.Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Electrical Detection of ExtendedλDNA Molecules with Gap Electrodes by Ultraviolet Radiation2009
- 著者名/発表者名
  Takamichi Hanada, Yoshifumi Okamoto, Katsuhiro Hashimoto, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shinichiro Kajiyama, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology- Surface and Thin Film Processing-
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2009-02-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Sensing of DNA solution with Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Device, Extended Abstracts of First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology2009
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  - Surface and Thin Film Processing-
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2009-02-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Direct immobiliszation of DNA oligomers onto an aminosilane-attached SiO_2 surface2009
- 著者名/発表者名
  Yoshifumi Okamoto, Takaaki Hirokane, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomicalluy Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Suita, Osaka
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Sensing of DNA solution with Metal-Gap-Insulator-Semiconductor Device2009
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka
- 年月日
  2009-02-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Direct immobilization of DNA oligomers onto an aminosilane-attached SiO2 surface2009
- 著者名/発表者名
  Yoshifumi Okamoto, Takaaki Hirokane, Takashi Furukawa, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの3次元形状の作製2009
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、後藤重晴、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  神戸市、日本
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching withN-Fluoropyridinium Salts2009
- 著者名/発表者名
  K.Tsukamoto, J.Uchikoshi, S.Goto, T.Nagai, K.Adachi, K.Arima, M.Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Photo-etching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salt2009
- 著者名/発表者名
  Shigeharu Goto, Kentaro Tsukamoto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Abstracts of 216th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 年月日
  2009-10-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Characterization of Pinhole in Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2009
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  212th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Washington, DC
- 年月日
  2009-10-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19656079
[学会発表] Surface Shape Measurements of Silicon Photo-etched with N-fluoropyridinium salts by Near-infrared Transmission Interferometry2009
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Noritaka Ajari, Kentaro Tsukamoto, Shigeharu Goto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International Workshop on X-ray Mirror Design, Fabrication, and Metrology
- 発表場所
  Suita, Osaka, Japan
- 年月日
  2009-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2009
- 著者名/発表者名
  後藤栄晴、塚本健太郎、川瀬達也、阿砂利典孝、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  応用物理学会2009年度春季関係連合講演会
- 発表場所
  つくば市
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの3次元形状の作製2009
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、後藤重晴、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  神戸市
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semicondu ctor Device for Biosensors2007
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulat or Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2007
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  The 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Ibaraki, Japan
- 年月日
  2007-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] Electrical Detection of Damage of ExtendedλDNA Molecules by Ultraviolet Radiation2007
- 著者名/発表者名
  Takamichi Hanada, Katsuhiro Hashimoto, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shinichiro Kajiyama, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] 近赤外光トポグラフィと赤外顕微鏡による貼り合わせSOIウエハのパターン付埋め込み酸化膜の評価2007
- 著者名/発表者名
  打越純一呉幸、廣兼孝亮、山田隆太、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪府大東市、大阪産業大学
- 年月日
  2007-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] Sensing Device with Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor for Biological Sensors, Abstracts2007
- 著者名/発表者名
  Hideaki Hashimoto, Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe and Mizuho Morita
- 学会等名
  212th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Washington, DC(Not peer-reviewed)
- 年月日
  2007-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Sensing ofλDNA Solutions by Metal-Gap-Semiconductor Device2007
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Hideaki Hashimoto, Shinichi Urabe, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2007-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Sensing Device with Metal-Insulator-Gap-Insulator- Semiconductor for Biological Sensors, Abstracts2007
- 著者名/発表者名
  Hideaki Hashimoto, Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Mizuho Morita
- 学会等名
  212th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Washington, DC(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2007-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Sensing Device with Metal-Insulator-Gap-Insulator-Semiconductor for Biological Sensors2007
- 著者名/発表者名
  Hideaki Hashimoto, Takaaki Hirokane, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, and Mizuho Morita
- 学会等名
  212th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Washington, DC
- 年月日
  2007-11-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Liquid Sensing by Nano-Gap Device with Treated Surface2006
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Tatsuya Takegawa, Satoru Morita, Shinichi Urabe, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Yokohama(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2006-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Metal-Gap-Semiconductor Device for Biosensors2006
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2006-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Metal-Gap-Semiconductor Sensing Devices for DNA Solutions, Abstracts2006
- 著者名/発表者名
  Takaaki Hirokane, Hideaki Hashimoto, Daisuke Kanzaki, Shinichi Urabe, Mizuho Morita
- 学会等名
  210th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Not peer-reviewed.
- 年月日
  2006-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes with ExtendedλDNA Molecules2006
- 著者名/発表者名
  Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2006-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] Current-Voltage Characteristics of Gap Electrodes withλDNA Molecules on SiO2/Si Substrate after Elongating Treatment, Abstracts2006
- 著者名/発表者名
  Katsuhiro Hashimoto, Takamichi Hanada, Yasuhumi Ochi, Takaaki Hirokane, Shigeki Kawakami, Susumu Uchiyama, Kiichi Fukui, Kenta Arima, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  210th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Cancun(Not peer-reviewed.)
- 年月日
  2006-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18360148
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  第36回フッ素化学討論会
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  平野利典，打越純一，大谷真輝，塚本健太郎，永井隆文，足達健二，川合健太郎，有馬健太，森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with N-fluoropyridinium salts
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  平野利典，打越純一，大谷真輝，永井隆文，足達健二，川合健太郎，有馬健太，森田瑞穂
- 学会等名
  第60 回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123

1. 柴田直 (00187402)

共同の研究課題数: 14件

共同の研究成果数: 0件
2. 大見忠弘 (20016463)

共同の研究課題数: 12件

共同の研究成果数: 0件
3. 小谷光司 (20250699)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 0件
4. 有馬健太 (10324807)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 41件
5. 打越純一 (90273581)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 48件
6. 川合健太郎 (90514464)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 27件
7. 福井希一 (00311770)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
8. 三林浩二 (40307236)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 足達健二 (60521739)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
10. 森勇藏 (00029125)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 広瀬喜久治 (10073892)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 片岡俊彦 (50029328)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 芳井熊安 (30029152)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 遠藤勝義 (90152008)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 丁剛洙 (60250700)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 青野正和 (10184053)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 安武潔 (80166503)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

森田 瑞穂 MORITA Mizuho

研究課題

研究成果

共同研究者

求電子型フッ素化剤光反応による機能デバイス半導体表面の三次元形状創成加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極薄シリコン／シリコン酸化膜二次元量子構造への電子トンネル注入発光デバイスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極薄シリコン/シリコン酸化膜系による二次元量子構造発光デバイスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金属／微小空隙／半導体構造アレイによる生体の電荷・準位分布分析デバイスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

横型ダブルバリア構造によるナノ材料・ナノ生体分子の共鳴トンネル分光法の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金属/微小空隙/半導体構造の電子応答による生体のエネルギー準位分析デバイスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極薄シリコン酸化膜スペーサを用いたナノギャップ構造トンネル分光デバイスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

仮想多層膜形成条件熱酸化による高機能極薄シリコン酸化膜の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

シリコン/微小空隙/シリコン構造を用いたトンネル分光マイクロセンサの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シリコン/シリコン酸化膜系ダブルバリヤ構造を用いた共鳴トンネル分光法の研究研究代表者

森田瑞穂 MORITA Mizuho