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霜垣 幸浩  Shimogaki Yukihiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60192613
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2012年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2010年度 – 2012年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
2007年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授
2004年度: 国立大学法人東京大学, 大学院・工学系研究課, 助教授
1998年度 – 2003年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 … もっと見る
2000年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
1998年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授
1997年度 – 1998年度: 東京大学, 工学系研究科, 助教授
1996年度: 東京大学, 工学系研究科, 講師
1995年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師
1991年度 – 1994年度: 東京大学, 工学部, 講師 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
反応・分離工学 / 応用物性・結晶工学 / 材料加工・処理 / 反応工学・プロセスシステム / 材料加工・処理 / 理工系
研究代表者以外
応用光学・量子光工学 / 電子デバイス・機器工学 / エネルギー学一般 / 応用物性・結晶工学 / 電子材料工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
化合物半導体 / MOVPE / CVD / 変調操作 / 核発生 / 低誘電率 / ステップカバレッジ / プラズマCVD / シミュレーション / エッチング … もっと見る / Integration / Simulation / In Situ Monitoring / Reaction Mechanism / Selective Growth / Crystal Growth / Compound Semiconductor / 集積化 / シュミレーション / その場観察 / 反応機構 / 選択成長 / 結晶成長 / Resistivity / Impurity Control / Crystallization / Thin Film Growth / Nucleation / Sequential Process / Barrier Metal / CDV / 比抵抗 / 不純物制御 / 結晶化 / 薄膜成長 / バリアメタル / 金属・酸化膜積層構造形成 / 薄膜形成 / メモリーデバイス / 電極金属 / 超臨界 / BiTiO3 / SrTiO3 / SrRuO3 / 電極形成 / ナノキャパシタ / 強誘電体 / 超臨界流体薄膜合成 / 強 誘電体 / 高誘電体 / 電極 / FeRAM / DRAM / プロセス開発 / 薄膜合成 / 超臨界流体 / Coナノ粒子 / 高密度核発生 / 超臨界流体製膜 / カーボンナノチューブ配線 / ULSI配線形成 / 薄膜作製 / 吸着・表面反応 / 半導体超微細化 / 表面・界面物性 / デバイス製造プロセス / InP / ECR-RIBE / エッチングプロセス / SiO_2 / CVD法 / シリコン酸化膜 / 膜組成 / 気相中間体 / 気相反応 / 温度勾配 / タングステンシリサイド / 熱CVD / マイクロロ-ディング効果 / 塩素ラジカル / ECRプラズマ … もっと見る
研究代表者以外
MOVPE / InP / DFBレーザ / 分布帰還型レーザ / 半導体レーザ / 光フリップフロップ / WDM / GDC / MOVE / 選択成長 / MOCVD / 波長トリミング / 量子細線 / 歪み量子井戸 / 進行波型光変調器 / SEED / InGaAs / DFB laser / semiconductor laser / 利得結合 / Polarization independent optical modulation / Quantum well with mass dependent width / Coupled quantum well / 偏光無依存 / 量子井戸 / 偏光無依存光変調 / 結合量子井戸 / all-optical flip-flop / optical logic gate / bistable laser diode / multimode interference coupler / passive integration / active / selective area growth / metal-organic vapor phase epitaxy / 方向性結合器 / 電界吸収光非線形性 / 有機金属気相エピタキシー / 光論理ゲート / 双安定半導体レーザ / 多モード干渉カプラ / 受動集積 / 能動 / 有機金属気相エピキタシー / optical flip-flop / optical bistability / wavelength trimming / DFB laser array / distributed feedback laser / quantum wire / 波長変換 / 波長多重 / 光双安定 / DFBレーザアレイ / anode reaction mechanism / fuel cell / solid oxide / dry methane / hydrocarbon fuel / fuel cell electric vehicle / ドライメタン燃料 / 電気自動車 / 燃料極反応機構 / 燃料電池 / 固体酸化物 / ドライメタン / 炭化水素燃料 / 燃料電池自動車 / Blue-chip optical modulator / Polarization-independent optical modulator / Traveling-wave optical modulator / Potential-tailored quantum well / Modified-potential quantum well / Quantum well / Optical switch / Optical modulator / マッハツェンダー干渉計 / 電界光吸収 / 屈折率変調 / 半導体光スイッチ / 半導体光変調器 / 非対称結合量子井戸 / InPドライエッチング / 光制御デバイス / ブルーチャープ光変調器 / 偏光無依存光変調器 / ポテンシャル制御量子井戸 / 変調ポテンシャル量子井戸 / 光スイッチ / 光変調器 / Optical amplifier gate switch / MMI coupler / Growth simulation / Spectroscopic ellipsometry / Selective-area growth / 気相拡散 / シミュレーション / MOVE2 / 光アンプゲートスイッチ / MMIカプラ / 成長シミュレーション / 分光エリプソメトリ / Quantum wire / Analog modulation distortion / Laser triode / Wavelength trimming / Absorptive grating / Gain coupling / Distributed feedback laser / 歪み多重量子井戸 / InGaAsP / アナログ変調歪み / レーザトライオード / 発振波長トリミング / 吸収性回折格子 / Five-step asymmetric coupled quantum well / Traveling wave optical modulator / lnP / lnAlAs / lnGaAs / lnGaAs pseudo substrate / 超高速光変調 / JnAlAs / 5段階非対称結合量子井戸 / InAlAs / InGaAs疑似基板 / 偏向無依存光変調 / 質量依存幅量子井戸 / electro-absorption modulator / wavelength tunable / quantum well disordering / coupling coefficient / gain coupling / distributed-feedback laser / 電界吸収変調器 / 波長可変 / 量子井戸無秩序化 / 結合係数 / Bistable optical device / Directional cou ; ler optical switch / Quantum confined Stark effect / Tensile-strained quantum well / Parabolic potential quantum well / 偏光無依存スイッチング / 電界デカップリング効果 / 電気光学効果 / 放物線型ポテンシャル / 歪量子井戸・歪超格子 / 分子線エピタキシ-(MBF) / 結合係数変調 / 多重量子井戸 / 偏光無依存光スイッチング / X線回折 / 臨界膜厚 / 伸張歪 / 歪量子井戸 / スイッチ / 光変調 / 放物線ポテンシャル / 伸張歪み / ポテンシャル制御 / 光双安定素子 / 方向性結合器型光スイッチ / 量子閉じ込めシュタルク効果 / 伸張歪み量子井戸 / 有効質量依存幅量子井戸 / 放物線量子井戸 / 異種材料 / 半導体プロセス / チップ搭載チップ / 異分野融合 / モバイル端末 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / 超高速・低消費 / 超機能グローバル / 多機能化 / ヘルスケアチップ / 半導体 / インターフェース / 微細加工 / システム / 超機能化 / シリコン / 集積回路 / インテグレーション 隠す
  • 研究課題

    (21件)
  • 研究成果

    (32件)
  • 共同研究者

    (29人)
  •  超臨界流体を利用したナノキャパシタ構造形成プロセスの構築研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      反応工学・プロセスシステム
    • 研究機関
      東京大学
  •  超臨界流体を利用したULSIカーボンナノチューブ配線用ナノ触媒粒子の高密度合成研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京大学
  •  半導体デジタル全光デバイス・集積回路の研究開発

    • 研究代表者
      中野 義昭
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  変調操作CVD法による薄膜形成における初期核発生・成長過程の制御研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東京大学
  •  超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究

    • 研究代表者
      堀池 靖浩
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2004
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      独立行政法人物質・材料研究機構
      東京大学
  •  半導体レーザに基づく新しい波長多重光機能デバイス

    • 研究代表者
      中野 義昭
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京大学
  •  選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  電気自動車搭載を目的とした固体電解質型燃料電池の高効率化と小型化

    • 研究代表者
      伊原 学
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      エネルギー学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  半導体モノリシック光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ

    • 研究代表者
      中野 義昭
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  光情報通信基盤構築に向けた変形ポテンシャル量子マイクロ構造光制御デバイスの研究

    • 研究代表者
      多田 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      横浜国立大学
      東京大学
  •  ECR-RIBEによる化合物半導体エッチングプロセスの反応工学的解析研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  光情報通信基盤構築へ向けた極限性能半導体レーザの開発

    • 研究代表者
      多田 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  CVD製膜における微小温度勾配が製膜速度と物性に及ぼす効果研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京大学
  •  酸化物薄膜のCVD合成及びエッチングプロセスの反応工学的解析と低誘導率化研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  利得結合分布帰還型半導体レーザの共同研究

    • 研究代表者
      多田 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      東京大学
  •  変形ポテンシャル量子マイクロ構造の光物性と光制御デバイスへの応用

    • 研究代表者
      多田 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  CVD製膜における微小温度勾配が製膜速度物性に及ぼす効果研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京大学
  •  CVDプロセスとエッチングプロセスの反応工学的比較考察研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  ECRプラズマエッチング装置による化合物半導体エッチング反応機構の解明研究代表者

    • 研究代表者
      霜垣 幸浩
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  原子層レベルで制御された量子マイクロ構造に基づく高度機能光制御材料とその応用

    • 研究代表者
      多田 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      東京大学

すべて 2013 2012 2011 2010 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Strontium ruthenium oxide deposition in supercritical carbon dioxide using a closed reactor system2013

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      J.Supercritical Fluid

      巻: 79 ページ: 244-250

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [雑誌論文] Ethanol-Assisted Flow-Type Supercritical Fluid Deposition of SrRuO3 for Stoichiometric Film Formation2013

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose ,and Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      ECS Solid State Letters

      巻: 2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [雑誌論文] Strontium ruthenium oxide deposition in supercritical carbon dioxide using a closed reactor system2013

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      The Journal of Supercritical Fluid

      巻: In Press ページ: 244-250

    • DOI

      10.1016/j.supflu.2013.03.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [雑誌論文] Step Coverage Quality of Cu Films by Supercritical Fluid Deposition Compared with Chemical Vapor Deposition2010

    • 著者名/発表者名
      T.Momose, M.Sugiyama, E.Kondoh, Y.Shimogaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000068539

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [雑誌論文] Initial Cu Growth in Cu-Seeded and Ru-Lined Narrow Trenches for Supercritical Fluid Cu Chemical Deposition2010

    • 著者名/発表者名
      E.Kondoh, M.Matsubara, K.Tamai, Y.Shimogaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000068522

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [雑誌論文] Surface kinetics in MOVPE of InP and InGaP analyzed by flow modulation method2005

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Conference Proceedings CD, 17th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '05), Glasgow, UK, May 8-12 WP-20

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Effect of temperature and substrate misorientation on the surface reaction kinetics of selective area MOVPE2005

    • 著者名/発表者名
      Haizheng Song, Xueliang Song, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Conference Proceedings CD, 17th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '05), Glasgow, UK, May 8-12 WP-17

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Prediction method for the bandgap profiles of InGaAsP multiple quantum well structures fabricated by selective area metal-organic vapor phase epitaxy2005

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Conference Proceedings CD, 17th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '05), Glasgow, UK, May 8-12 WP-16

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Simulation and design of the emission wavelength of multiple quantum well structures fabricated by selective area metal-organic vapor phase epitaxy2004

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Takeshi Doi, Abdullah Al Amin, Xue-Liang Song, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Confenrence Synopsis, the 3rd Asian Conference on Chemical Vapor Deposition, Taipei, Taiwan, Novermber 12-14 B22

      ページ: 63-64

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] The effect of group V precursor on selective area MOVPE of InP/GaAs-related materials2004

    • 著者名/発表者名
      Ho-jin Oh, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.261, no.2-3

      ページ: 419-426

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Examination of sub-surface in MOVPE by time modulation growth2004

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 23rd Electronic Materials Symposium, Izu-Nagaoka, Shizuoka, July 7-9 D8

      ページ: 79-82

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] The role of the surface adsorption layer during InGaAsP MOVPE growth analyzed by the flow modulation method2004

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Workbook, 12th International Conference on Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy, p.9, Maui, Hawaii, May 30-June 4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Fundamental kinetics determining growth rate profiles of InP and GaAs in MOCVD with horizontal reactor2004

    • 著者名/発表者名
      Ik-Tae Im, Ho-jin Oh, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.261, no.2-3

      ページ: 214-224

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Polycrystals growth on dielectric masks during InP/GaAs selective MOVPE2004

    • 著者名/発表者名
      Masakazu Sugiyama, Ho-jin Oh, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth vol.261, no.2-3

      ページ: 411-418

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Understanding the abnormal growth of InP-related materials in selective-area MOVPE2004

    • 著者名/発表者名
      Noriaki Waki, Takayuki Nakano, Ho-jin Oh, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 23rd Electronic Materials Symposium, Izu-Nagaoka, Shizuoka, July 7-9 D5

      ページ: 69-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Measurement of surface reaction rate constants and reactor-scale simulation of growth rate and composition in InGaAsP MOVPE2004

    • 著者名/発表者名
      Masakazu Sugiyama, Ho-Jin Oh, Ik-Tae Im, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Workbook, 12th International Conference on Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy, p.29, Maui, Hawaii, May 30-June 4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Study on the surface reaction kinetics of InGaAsP related materials MOCVD through analyses of growth rate distribution in the selective area growth2003

    • 著者名/発表者名
      Ho-Jin Oh, Ik-Tae Im, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Conference Proceedings, 15th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM '03), Santa Barbara, California, May 12-16 ThP1

      ページ: 397-400

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Comparison of organic and hydride group V precursors in terms of surface kinetics in wide-gap selective area metalorganic vapor phase epitaxy2003

    • 著者名/発表者名
      Ho-Jin Oh, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics vol.42, part 2, no.10A

    • NAID

      10011766948

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Electron cyclotron resonance reactive ion etching of III-V semiconductors by cyclic injection of CH4/H2/Ar and O2 with constant Ar flow2003

    • 著者名/発表者名
      Nobuo Haneji, Goh Segami, Tatsuya Suzuki, Taro Arakawa, Kunio Tada, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics vol.42, part 1, no.6B

      ページ: 3958-3961

    • NAID

      210000053700

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [雑誌論文] Surface reaction kinetics in metalorganic vapor phase epitaxy of GaAs through analyses of growth rate profile in wide-gap selective-area growth2003

    • 著者名/発表者名
      Ho-Jin Oh, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, Yukihiro Shimogaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics vol.42, part 1, no.10

      ページ: 6284-6291

    • NAID

      10012448627

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205055
  • [学会発表] Kinetics study of TiO2 deposition in supercritical CO2 using Micro-/Macro-cavity method2013

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jun, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      化学工学会第78年会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Supercritical fluid deposition (SCFD) of crystallized TiO2 with alcohol assistance2013

    • 著者名/発表者名
      Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      E-MRS Spring Conference 2013
    • 発表場所
      Strasbourg, France.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Conformal step coverage TiO2 deposition using supercritical CO22013

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      Materials for Advanced Metallization 2013
    • 発表場所
      Leuven, Bergium.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Supercritical fluid deposition of crystallized TiO2 with assistance of alcohol2013

    • 著者名/発表者名
      Yu Zhao, Kyubong Jun, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      化学工学会第78年会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Deposition Mechanism of Metal Oxide for FeRAM Electrode using Flow Type Supercritical Fluid Deposition Reactor2012

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
    • 発表場所
      Hawaii, USA.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Low temperature process for Strontium Ruthenium Oxide in Supercritical Carbon Dioxide2012

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
    • 学会等名
      10th International Symposium on Supercritical Fluids
    • 発表場所
      San Francisco, USA.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] 超臨界流体を利用した次世代DRAM用高誘電体薄膜作製プロセスの開発2012

    • 著者名/発表者名
      渡邊圭, 百瀬健, 霜垣幸浩
    • 学会等名
      化学工学会
    • 発表場所
      工学院大学(新宿)
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Supercritical Fluid Deposition of Bismuth Titanate for Embedded FeRAM Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
    • 発表場所
      Hawaii, USA.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Precursors Selection for TiO2 Thin Film Deposition in Supercritical CO22012

    • 著者名/発表者名
      Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies- International Conference on Electronic Materials
    • 発表場所
      Yokohama
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] 超臨界流体を利用したDRAM, FeRAM電極用Ru薄膜及びPt薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      渡邊圭, 霜垣幸浩
    • 学会等名
      化学工学会第76回年会
    • 発表場所
      東京農工大学小金井キャンパス
    • 年月日
      2011-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] RuO2 Deposition Using Supercritical Fluid Deposition (SCFD)2011

    • 著者名/発表者名
      Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • [学会発表] Ru and Pt Films Fabrication for 3D Capacitor Electrodes Using Supercritical Fluid Deposition Technique2011

    • 著者名/発表者名
      Kei Watanabe, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360329
  • 1.  中野 義昭 (50183885)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 15件
  • 2.  多田 邦雄 (00010710)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  村井 徹 (60107571)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  江頭 靖幸 (70223633)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  百瀬 健 (10611163)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 15件
  • 6.  荒川 太郎 (40293170)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  伊原 学 (90270884)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  熊谷 昭文 (60006319)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  加藤 正樹 (80312982)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  杉山 正和 (90323534)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 14件
  • 11.  清水 大雅 (50345170)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  堀池 靖浩 (20209274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  財満 鎭明 (70158947)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  角南 英夫 (10311804)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  益 一哉 (20157192)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  岩井 洋 (40313358)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  須藤 剣
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  羅 毅
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  ラガッセ ポール
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  平田 隆昭
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  大場 隆之
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  濱村 浩孝
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  モルティエル ヘールト
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  バーツ ルル
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  コルドレン ラリー
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  MORTHIER Geert
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  BAETS Roel
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  COLDREN Larry A.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  コンドレン ラリー
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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