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柳澤 淳一  YANAGISAWA Junichi

ORCIDORCID連携する *注記
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柳沢 淳一  YANAGISAWA Junichi

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研究者番号 60239803
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所属 (現在) 2025年度: 滋賀県立大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2012年度 – 2015年度: 滋賀県立大学, 工学部, 教授
2003年度: 大阪大学, 基礎工学研究科, 助教授
2003年度: 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教授
2001年度 – 2002年度: 大阪大学, 基礎工学研究科, 講師
1997年度 – 2002年度: 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 講師
2000年度: 大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 講師
1994年度 – 1996年度: 大阪大学, 基礎工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / マイクロ・ナノデバイス / 電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
電子デバイス・機器工学 / 電子・電気材料工学 / 理工系 / 計測・制御工学
キーワード
研究代表者
XPS / GaN / ion beam direct deposition / hot-filament method / nitrogen radical / thin film / gallium nitride / 局所薄膜形成 / 直接堆積 / イオンビーム … もっと見る / イオンビーム直接堆積 / 熱フィラメント法 / 窒素ラジカル / 薄膜 / 窒化ガリウム / 表面修飾 / 光触媒 / ガリウムアンチモン / シリコン / イオン照射 / 酸化チタン / チタン / ナノ微細構造 / 接触角 / プラズマ酸化 / インジウムアンチモン / ゲルマニウム / 半導体基板表面 / 集束イオンビーム / ナノ突起構造 / ナノ多孔構造 / 電圧プローブ / 磁気抵抗 / 2次元電子系 / 量子細線 / メゾスコピック系 … もっと見る
研究代表者以外
集束イオンビーム / 電界放出電子源 / FIB-RBS / 電子源アレイ / 真空マイクロエレクトロニクス / TOF-SIMS / イオンマイクロプローブ / ビームプロセス / ナノ構造 / focused ion beam / 単電子トランジスタ / 環境インピーダンス / 集束イオンビームプロセス / 超微細加工 / トンネル接合 / 磁性薄膜 / 成長中断 / 真空一貫プロセス / electron emission site / cabon nanotube (CNT) / UV laser cleaning / field emitter array / electron emission / dual beams / cathode / nanometer-sized field emission electron source / 局所加工プロセス / 真空マイクロエレクトニクス / カーボンナノチューブ / CNT / UVレーザ / ナノメートル / 表面改質 / 超微構造電子源 / 陰極材料 / ディスプレイ / FED / 電子源の安定化 / 電子源の高輝度化 / 電子放出サイト / カーボンナノチューブ(CNT) / UVレーザクリーニング / 電子放出 / デュアルビーム / 冷陰極 / ナノ電子源 / TOF-RBS analysis technique / heavy metal contamination / contamination analysis technique / localized analysis with ultra high sensitivity / ion probe / Process contaminated impurity / ultra high density integrated circuit / 重イオンTOF-RBS分析技術 / 局所的超高感度分析技術 / 超微量プロセス汚染元素 / TOF-RBS分析技術 / 汚染重金属元素 / 汚染分析技術 / 超高感度局所分析技術 / イオンプローブ / 極微量プロセス汚染元素 / 超先端高密度集積回路素子 / Fowler-Nordheim plots / dual beam process / chemical reaction by electron beam / focused ion beam (FIB) / in-situ beam processing / field emission array (FEA) / vacuum micro electronics / nanometer-sized electron sources / 電子ビーム支援プロセス / 極微冷陰極 / 電子ビーム支援科化学反応 / ナノ構造電子源 / 極微真空電子源 / 集束イオンビーム支援化学反応 / 電子ビーム支援化学反応 / 極微冷陰極電界放出電子源 / 真空電子源 / electromagnetic environment effect / ultra-small tunnel junction / environmental impedance / Coulomb blockade / single-electron transistor / 電磁場環境効果 / 微小トンネル接合 / クーロンブロッケード / beam induced process / vacuum micro electronics device / nano fabrication / 3 dimensional analysis technique / nanometer structure / ion microprobe / DRAM / プロセス誘起欠陥 / 電界放射電子源 / ナノメートル3次元分析 / ナノファブリケーション / 真空マイクロエレクトロニクス素子 / ビーム誘起マスクレスプロセス / 真空マイクロエレクトニクス素子 / 極微細加工 / 3次元ナノメートル分析技術 / ナノメートル構造 / Buddhist monument / stupa / Shinkiari / Hazara / Pakistan / Field evaporation / Beam process / Nano-structure / Porous Si emitter / Ion scattering / STM tip / Nanometer process / Localized electrytic reaction / 仏教遺跡 / シンキアリ / ハザーラ / ストゥーパ / パキスタン / 電界蒸発 / 多孔質シリコンデバイス / イオン散乱法 / STM探針 / ナノメートルプロセス / 極微電気化学効果 / growth interruption / buried structure / insitu fabrication process / total vacuum process / molecular beam epitaxy / electron wave devices / nanofabrication / 電子波導波方向性結合器 / 埋め込構造 / その場加工プロセス / 分子線エピタキシ- / 電子波デバイス / ナノ加工 / ホール抵抗 / 電流磁気効果 / 電子ビームリソグラフィ / 単電子トンネルトランジスタ / スピンエレクトロニクス / 電子ビームプロセス / δドープ / 界面準位 / 2次元電子ガス / MBE 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 研究成果

    (5件)
  • 共同研究者

    (34人)
  •  ナノサイズの多孔ゲルマニウム表面の形成と触媒機能を付与する表面修飾プロセス開発研究代表者

    • 研究代表者
      柳澤 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      滋賀県立大学
  •  窒化ガリウム薄膜の局所選択形成のための新しいプロセス研究代表者

    • 研究代表者
      柳沢 淳一 (柳澤 淳一)
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ビーム支援プロセスによる極微電子源アレイの作成と安定化

    • 研究代表者
      高井 幹夫
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2003
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  半導体プロセス汚染不純物元素の超高感度分析

    • 研究代表者
      高井 幹夫
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  電子および集束イオンビームを用いた磁性薄膜ナノ素子の加工プロセスと磁気特性の評価

    • 研究代表者
      蒲生 健次
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      大阪大学
  •  環境インピーダンス制御型単電子トランジスタの研究

    • 研究代表者
      蒲生 健次
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ビームその場プロセスによるナノ真空電子源の作製と評価

    • 研究代表者
      高井 幹夫
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  電子および集束イオンビームを用いた磁性薄膜のナノ加工と磁気特性の評価

    • 研究代表者
      蒲生 健次
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      大阪大学
  •  メゾスコピック構造で用いられる電圧プローブの意味研究代表者

    • 研究代表者
      柳沢 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  3次元ナノメートル分析技術の開発

    • 研究代表者
      高井 幹夫
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究分野
      計測・制御工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  低エネルギ集束イオンビーム注入による高移動度二次元電子ガスの選択形成

    • 研究代表者
      蒲生 健次
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノ加工と電子波デバイスに関する研究

    • 研究代表者
      蒲生 健次
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      大阪大学
  •  極微電気化学反応によるナノメートル構造の製作と応用

    • 研究代表者
      高井 幹夫, 西岡 康宏
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      大阪大学
      東京国立博物館

すべて 2016 2015 2005 その他

すべて 学会発表 産業財産権

  • [産業財産権] 窒化ガリウム成長用基板及びその製造方法2005

    • 発明者名
      柳沢淳一, 他2名
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権番号
      2005-090957
    • 出願年月日
      2005-03-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550300
  • [学会発表] 酸素プラズマを用いた金属チタンの酸化による光触媒材料の形成2016

    • 著者名/発表者名
      山田将司, 柳沢 淳一
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学
    • 年月日
      2016-02-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24510179
  • [学会発表] シリコンおよび窒化シリコン膜表面への低エネルギーガリウムイオン照射効果2015

    • 著者名/発表者名
      山田将司, 松井 祐斗, 山田逸成, 柳沢 淳一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24510179
  • [学会発表] Control of Size and Shape of Nano-Porous Structure Formed on Ge (110) Surface by High –Energy Focused Ga Ion Beam Irradiation

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada and J. Yanagisawa
    • 学会等名
      2014 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-11-04 – 2014-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24510179
  • [学会発表] Gaイオン照射した窒化シリコン薄膜へのGaN成長におけるイオン照射エネルギーの影響(II)

    • 著者名/発表者名
      松井 祐斗, アザマト オシュラフノフ, 柳沢 淳一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24510179
  • 1.  蒲生 健次 (70029445)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  弓場 愛彦 (30144447)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  高井 幹夫 (90142306)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  若家 冨士男 (60240454)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  西岡 康宏 (40000351)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  古谷 毅 (40238697)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  井上 洋一 (60176451)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  安藤 孝一 (60202785)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  臺信 祐爾 (80163715)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  小泉 恵英 (40205315)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  谷 豊信 (70171824)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  松本 伸之 (30229562)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  早乙女 雅博 (80150035)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  高浜 秀 (60000353)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  後藤 健 (40132758)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  岩渕 修一 (40294277)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  鷲塚 泰光 (80191740)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  JONES G.A.C
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  SEIDL Albert
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  LANG Walter
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  BOLLMANN Die
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  BUCHNER Rein
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  HABERGER Kar
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  RUGE Ingolf
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  FREY Lothar
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  RYSSEL Heine
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  AHMED H
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  AHMED Haroon
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  JONES G.A.C.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  高原 淳一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  MOCHIZUKI Mikio
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  HABARGER Kar
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  LOTHAR Frey
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  HEINER Rysse
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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