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松村 英樹  MATSUMURA Hideki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90111682
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1998年度 – 2002年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1995年度 – 1996年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992年度: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992年度: 北陸先端科技大, 材料科学研究課, 教授
1987年度 – 1991年度: 広島大学, 工学部, 助教授
1986年度: 広島大, 工学部, 助教授
1985年度: 広島大学, 工, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子材料工学 / 電子デバイス・機器工学 / 電子機器工学 / 応用物性・結晶工学 / 電子・電気材料工学
キーワード
研究代表者
触媒CVD法 / リソグラフィー / MITT / Ti / アモルファス-シリコン / Cat-CVD / 液晶ディスプレイ / 触媒反応 / 微細加工技術 / Micro-fabrication … もっと見る / LSI技術 / X線リソグラフィー / liquid crystal display / thin film transistor / lithography / patterning / in-print method / 薄膜トランジスタ / パターン転写 / インプリント技術 / anodic oxidation / TiOx / nano-technology / super-micro-technology / ナノテクノリジ- / 陽極酸化 / Ti酸化物 / ナノテクノロジー / 超微細加工 / CVD法 / 薄膜堆積技術 / 絶縁膜 / ナイトライド / シリコン / 低温CVD法 / アモルファス-シリコン・ゲルマニウム / アモルファス半導体 / 太陽電池 / 窒化シリコン / 微結晶シリコン / アモルファスシリコン / 薄膜 / ホットワイアCVD / 触媒化学気相成長 / 低温成長 / 真空エジェクタポンプ / アルゴン / シラン / シリコン膜 / 常圧CVD / ホットワイヤ-CVD / 熱酸化 / スパッタ膜 / TFT / 薄膜トランジスター / 酸化銅 / 低温堆積技術 / TFT(薄膜トランジスタ) / ポリ・シリコン / プロキシミティ-露光 / コンタクト露光 / 異方性フォト・レジスト / 微細加工 / フォト・リソグラフィ- / リソグラフィ-技術 / 触媒ドライ・エッチング / ドライ・クリ-ニング / ドライ・エッチング / X線光学 / 反射型X線リソグラフィ-法 / X線リソグラフィ-法 … もっと見る
研究代表者以外
シリコン / 弗化物 / 二段階成長 / 双晶 / ローテーショナル・ツイン / 界面 / ヘテロエピタキシー 隠す
  • 研究課題

    (14件)
  • 共同研究者

    (15人)
  •  液晶ディスプレイの廉価な次世代生産技術研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      地域連携推進研究費
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  触媒化学気相成長法によるシリコン系薄膜の成長プロセス研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  常圧触媒CVD(Cat-CVD)法研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  金属/金属酸化物絶縁体/金属・トンネル接合を用いた新トランジスタ研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  酸化銅を用いた高移動度薄膜トランジスタの低温形成研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  触媒CVD法による高移動度ポリ・シリコン膜の低温形成研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      北陸先端科学技術大学院大学
  •  異方性フォト・レジストによるパタ-ン転写精度の向上研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  ヘテロ成長におけるローテーショナル・ツイン生成機構の解明とその制御

    • 研究代表者
      古川 静二郎
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  触媒反応を用いた新しいドライ・エッチング・クリ-ニング法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  反射型X線リソグラフィ-法によるパタ-ン縮小転写のためのX線光学系研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      広島大学
  •  触媒CVD法により作られるアモルファス半導体膜特性の触媒体依存性.研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  熱触媒反応を用いた高品質絶縁膜の低温形成研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  触媒CVD法による高品質アモルファス半導体の光学バンドギャップの制御研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1986
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作研究代表者

    • 研究代表者
      松村 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      広島大学
  • 1.  和泉 亮 (30223043)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  増田 淳 (30283154)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  末宗 幾夫 (00112178)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  佐々木 公洋 (40162359)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  新田 晃平 (70260560)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  寺野 稔 (90251975)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  横山 新 (80144880)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  渡辺 芳英 (50127742)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  古川 静二郎 (60016318)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  川崎 宏治 (10234056)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  堀田 将 (60199552)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  梅本 宏信 (80167288)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  野々村 修一 (80164721)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  小長井 誠 (40111653)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  木田 健一郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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