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垂井 康夫  TARUI Yasuo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10143629
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1995年度 – 1998年度: 早稲田大学, 理工学研究科, 教授
1994年度 – 1997年度: 早稲田大学, 大学院・理工学研究科, 教授
1994年度 – 1995年度: 早稲田大学大学院, 理工学研究科, 教授
1989年度 – 1992年度: 東京農工大学, 工学部, 教授
1988年度: 東農工大, 工・電子, 教授
1987年度: 東京農工大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
電子デバイス・機器工学
キーワード
研究代表者
SBT / YSZ / MFIS-FET / スケーリング則 / ヘテロエピタキシ- / セリア / チタン酸鉛 / メモリ / 強誘電体 / 3 layers resist method … もっと見る / High Aspect ratio / Self-align process / CeOィイD22ィエD2 / Scaling / Memory / Ferroelectric materials / ヘテロエピタキシー / 微細加工 / FETメモリ / 強誘電体メモリ / 3層レジスト法 / 高アスペクト比 / セルファライン / acaling rule / heteroepitaxy / Ceria / PbTiO_3 / memory / ferroelectric material / デジタルCVD / C-V特性 … もっと見る
研究代表者以外
太陽電池 / 水銀増感光CVD法 / PZT / ハイブリッド励起CVD法 / 薄膜太陽電池 / タンデム太陽電池 / Arレ-ザ励起MOVPE / 強誘電性有機薄膜 / アモルファス太陽電池 / 光CVD / アモルファスSi / digital-MOCVD / perovskite structure / non-volatile memory / Ferroelectric films / ペロブスカイト / 強誘電体薄膜 / デジタルCVD / ペロブスカイト型結晶 / 不揮発性メモリ / 強誘導体薄膜 / crystalline insulator / atomic oxygen / atomic hydrogen / VUV light / silicide contact / thin film transistor / 電界効果移動度 / シリサイドコンタクト / CVD / 非晶質シリコン / 結晶性絶縁物 / 原子状酸素 / 原子状水素 / 高エネルギーフォトン / シリサイド / 薄膜トランジスタ / デュアルビーム法 / アトミックレジスト / 表面光干渉法 / 化合物半導体 / シリコン / アモルファス / III-V化合物 / ディジタル光CVD法 / レ-ザ溶融再結晶化法 / 光照射効果 / 金属アイランド / 光酸素アニ-ル / ハイブリッド励起CVD / 水素ラジカルアニ-ル / 水銀増感光CVD / 湿式太陽電池 / InGaAs太陽電池 / InAIAs / CuInSe_2薄膜太陽電池 / タンデム型太陽電池 / Si基板上GaAs結晶 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 共同研究者

    (18人)
  •  スケーリング則にのる1トランジスタ形強誘電体メモリの基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      庄子 習一, 垂井 康夫
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

    • 研究代表者
      黒岩 紘一
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東京農工大学
  •  金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製

    • 研究代表者
      上野 智雄
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東京農工大学
  •  欠陥の少ない強誘電体とシリコンの界面の構成方法とこれを用いたメモリデバイスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      垂井 康夫
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  高性能太陽光発電素子の設計と製作

    • 研究代表者
      梅野 正義
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  膜形成の基礎研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  高性能太陽光発電素子の設計と製作

    • 研究代表者
      梅野 正義
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  膜形成の基礎研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  高性能太陽光発電素子の設計と製作

    • 研究代表者
      梅野 正義
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  膜形成の基礎研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  太陽電池の高効率化に関する研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  太陽電池の高効率化に関する研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  太陽電池の高効率化に関する研究

    • 研究代表者
      高橋 清
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東京工業大学
  • 1.  高橋 清 (10016313)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  梅野 正義 (90023077)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  藤嶋 昭 (30078307)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  坪村 宏 (20029367)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  佐々木 昭夫 (10025900)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  黒岩 紘一 (20170102)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  坂田 忠良 (40013510)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  小長井 誠 (40111653)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  吉川 明彦 (20016603)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  坪内 和夫 (30006283)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  松村 正清 (30110729)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  上野 智雄 (90223487)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  庄子 習一 (00171017)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  松重 和美 (80091362)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  岩井 荘八 (40087474)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  竹田 美和 (20111932)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  伊東 謙太郎 (20020977)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  小松 周一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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