• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

進藤 春雄  SHINDO Haruo

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

進藤 春男  SINDO Hayuo

隠す
研究者番号 20034407
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 株式会社プラズマ理工学研究所, 研究開発部, 教授
2025年度: 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部, 非常勤研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2017年度 – 2019年度: 株式会社プラズマ理工学研究所, 研究開発部, 教授
2006年度 – 2011年度: 東海大学, 情報理工学部, 教授
2004年度 – 2005年度: 東海大学, 電子情報学部, 教授
1999年度 – 2000年度: 東海大学, 工学部, 教授
1992年度 – 1994年度: 福山大学, 工学部, 助教授
1991年度: 広島大学, 工学部, 講師
1987年度 – 1988年度: 広島大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / プラズマ理工学 / 理工系
研究代表者以外
プラズマ科学 / プラズマ理工学 / 電子材料工学
キーワード
研究代表者
プラズマ加工 / 大面積プラズマ / プラズマ・核融合 / プラズマ土壌改質 / 航空機翼材表面処理 / マイクロ波大気圧プラズマ / 大規模直線型マイクロ波照射源 / 大規模直線型プラズマ / 大規模表面処理 / 大規模直線型マイクロ波放射源 … もっと見る / 大規模プラズマ表面処理 / マイクロ波直線プラズマ / 大規模直線型大気圧プラズマ / FPDプロセス / 半導体プロセス / 大気圧プラズマ / 大面積プラズマ処理 / 大規模直線型マイクロ波プラズマ / Diagnostic Tool of High Free uencv Plasmas / Insulated Vessel Containing Plasmas / Electron Density / Electron Energy Distribution / Electron Temperature / High Frequency Plasmas / Parallel Plate Plasma / Reactive Ion Etching / 電子エネルギー分布 / ナノ材料 / マイクロナノデバイス / 高周波プラズマ / プラズマ測定 / マイクロマシン / 半導体超微細化 / 高周波プラズマ分析装置 / 絶縁壁プラズマ測定 / 電子密度測定 / 電子エネルギー分布測定 / 電子温度測定 / 高周波プラズマ測定 / 平行平板プラズマ / 反応性プラズマエッチング(RIE) / Oxygen plasma process / Shallow trench oxidation / Insulation for cell isolation / Silicon trench oxidation / Low temparature silicon oxidation / High rate and low damage oxidation / Negative oxygen ion / Silicon oxidation / プラズマプロセス / サブオキサイド / 低温シリコン酸化 / 低損傷酸化膜 / 高速シリコン酸化 / 素子分離用酸化膜 / 酸素負イオン酸化 / シリコン酸化膜 / ナノサイズシリコントレンチエッチング / ナノサイズシリコントレンチ酸化 / マイクロ波酸素プラズマ / ナノ界面プロセス / 低温低損傷プロセス / ナノシリコントレンチエッチング / ナノシリコントレンチ酸化 / イクロ波酸素プラズマ / 負イオンプラズマプロセス / 表面波プラズマ / 負イオンプラズマ / 大規模マイクロ波プラズマ / 大規模ラインプラズマ / 大面積プラスティック表面処理 / フレキシブルエレクトロニクス / 太陽電池薄膜CVD / フラットパネルディスプレー / 大面積プラズマプロセス / コンフォーマルスパッタ堆積 / ECRスパッタ / 分数波共鳴 / ECRプラズマ … もっと見る
研究代表者以外
vanadium dioxide / epitaxial growth / ICP-assisted sputtering / バナジウム酸化膜 / エピタキシャル成長 / ICP支援スパッタ装置 / 機能性酸化物 / Laptop Personal Computer / Wall on the TV / Plasma Display / ラップトップパソコン / ハイビジョン / 壁掛テレビ / プラズマディスプレイ / stoichiometry / planer structure / switching phenomenon / resistive change / metal-insulator transition / ププラズマプロセス / メモリーデバイス / プラズマプロセス / 相転移 / スイッチングデバイス / ICP支援スパッタ成膜法 / neutral particle control / high heat flux / sheet plasma / measurement of negative ions / reduction of heat load / nuclear fusion / divertor control / partially detached plasma / 核融合 / ダイバータ / 熱流速 / 励起分子 / 負イオン / 中性粒子制御 / 高熱流 / シートプラズマ / 負イオン計測 / 熱除去 / 核融合装置 / ダイバータ制御 / 部分非接触プラズマ / in-situ sputtering / negative oxygen ion / high-density plasma / titanium dioxide / oxide material / アニール挙動 / アナターゼ型Ti酸化膜 / ルチル型Ti酸化膜 / 酸素ラジカル生成 / In-situ連続成膜 / 酸素負イオン生成 / 高密度プラズマ生成 / チタン酸化膜 / alloy precipitation / grain boundary / in-situ SEM observation / ECR sputtering / sustained self-sputtering / molecular dynamics simulation / void / elctromigration / スパッタリング / アルミニウム / 表面拡散 / CuAl合金 / 金属薄膜 / マイクロ波プラズマ / エレクトロマイグレ-ション / STM / コンタクト埋め込み / 結晶粒界拡散 / ボイド移動 / 分子動力学計算 / マグネトロンスパッタ / 抵抗振動 / ECRスパッタ / 析出合金 / 結晶粒界 / 分子動力学シミュレーション / 自己維持スパッタ / 高磁場ECRスパッタ / ボイド / 電子顕微鏡その場観察 / エレクトロマイグレーション 隠す
  • 研究課題

    (11件)
  • 研究成果

    (70件)
  • 共同研究者

    (11人)
  •  大規模直線型マイクロ波大気圧プラズマの生成技術に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      株式会社プラズマ理工学研究所
  •  表面波共鳴点断熱拡散法による負イオンプラズマ生成とナノファブリケーションへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東海大学
  •  大規模マイクロ波ラインプラズマの生成技術に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      東海大学
  •  プラズマプロセスによる相転移酸化物結晶成長とスイッチングデバイス創製

    • 研究代表者
      沖村 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      東海大学
  •  高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      東海大学
  •  酸素負イオンの挙動に着目したスパッタ酸化膜のエピタキシャル成長に関する研究

    • 研究代表者
      沖村 邦雄
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      東海大学
  •  "部分"非接触プラズマの制御と熱輸送に関する研究

    • 研究代表者
      利根川 昭
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      東海大学
  •  酸素負イオンプラズマによるシリコンの低温高速酸化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東海大学
  •  電子サイクロトン分数波共鳴プラズマの生成とスパンタ応用研究代表者

    • 研究代表者
      進藤 春雄
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      福山大学
  •  極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

    • 研究代表者
      新宮原 正三
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  面放電形ACガス放電パネルの高速駆動に関する研究

    • 研究代表者
      内池 平樹
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      広島大学

すべて 2019 2018 2017 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Aspect ratio dependence of silicon trench oxidation in downstream of microwave oxygen plasma2019

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, Y. Taniuchi, M. Utsumi, and H. Shindo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: 1 ページ: 016508-016508

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aaee8e

    • NAID

      210000135250

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [雑誌論文] 大規模表面処理のための直線型マイクロ波プラズマ2018

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄 桑畑周司 磯村雅夫
    • 雑誌名

      自動車技術(招待論文)

      巻: 72 ページ: 74-80

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [雑誌論文] 表面処理のための大気圧直線型マイクロ波プラズマ2017

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄、桑畑周司、磯村雅夫
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Technologies of Japan

      巻: 60 ページ: 105-111

    • NAID

      130005466792

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [雑誌論文] Generation of microwave-excited atmospheric-pressure line plasma and its application2017

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Kuwahata, Hiroshi Miyata, Masao Isomura and Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 12 ページ: 126201-126201

    • DOI

      10.7567/jjap.56.126201

    • NAID

      210000148462

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [雑誌論文] Silicon Trench Oxidation in Downstream of Microwave Oxygen Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Syuuji TAKAHASHI, Haruo SHINDO
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50(To be published)

    • NAID

      40018868739

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [雑誌論文] Silicon Trench Oxidation in Downstream of Microwave Oxygen Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, H.Shindo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50

    • NAID

      40018868739

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの開発2011

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌

      巻: 87(小特集招待論文) ページ: 18-24

    • NAID

      110008441038

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの開発2011

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Vol.87、No.1

      ページ: 18-23

    • NAID

      110008441038

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Deep silicon trench oxidation in downstream of surface-wave oxygen plasma2011

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, Y.Igarashi, Y.Taniuchi, H.Shindo
    • 雑誌名

      Proceedings of the 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Process

      ページ: 16-19

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [雑誌論文] High-Aspect Silicon Trench Oxidation in Downstream of Surface-wave Oxygen Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Taniuchi, H.Shindo
    • 雑誌名

      Abstract of the 58th International Symposium of American Vacuum Society

      ページ: 102-102

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [雑誌論文] Large-Scaled ECR Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2010

    • 著者名/発表者名
      Haruo SHINDO、Yasuhito KIMURA、Takashi HIRAO
    • 雑誌名

      Abstract of 18th International conference on Gas Discharges and Their Applications

      ページ: 422-425

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成2010

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄
    • 雑誌名

      ケミカルエンジニヤリング Vol.55、No.12

      ページ: 52-58

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Deep Silicon Trench Oxidation in Downstream of Surface-wave Oxygen Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      Jyun Koike, Yuuto Igarashi, Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society

      巻: 55 ページ: 103-103

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [雑誌論文] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成2010

    • 著者名/発表者名
      進藤春雄
    • 雑誌名

      ケミカルエンジニリング

      巻: 55(招待論文) ページ: 940-946

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Large-Scaled Linear Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2010

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo, Yasuhito Kimura, Takashi Hirao
    • 雑誌名

      Abstract of 24th Symposium on Plasma Physics and Technology

      ページ: 78-79

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2 m Long-Linear Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide with a Long Slot Antenna2010

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo, Yasuhito Kimura
    • 雑誌名

      Abstract of 57th International Symposium of American Vacuum Society

      ページ: 112-112

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Large-Scaled ECR Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2010

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo, Yasuhito Kimura, Takashi Hirao
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Gas Discharges and Their Applications

      ページ: 422-425

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo、Yasuhito Kimura
    • 雑誌名

      Advances in Applied Plasma Science Vol.7

      ページ: 211-214

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Microwave Excited Line-Shaped Plasma by Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shindo, Y.Kimura
    • 雑誌名

      Abstract of 7^<th> Int. Workshop on Microwave Discharges

      ページ: 38-38

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shindo, Y.Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of 7^<th> Int. Symposium on Applied Plasma Science

      ページ: 211-214

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] A New Method of Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhito Kimura、Hideki Kawaguchi、Shin Kagami、Masakazu Furukawa、Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

    • NAID

      10027012707

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] A New Method of Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Kimura, H.Kawaguchi, S.Kagamil, M.Furukawa, H.Shindo
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

    • NAID

      10027012707

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shindo, Y.Kimura
    • 雑誌名

      Abstract of 17^<th> Int. Colloquium on Plasma Processes

      ページ: 111-111

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2m Long Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguideq2009

    • 著者名/発表者名
      H. Shindo、Y.Kimura
    • 雑誌名

      17^<th> International Colloquium on Plasma Processes

      ページ: 111-111

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Mode Transition Enhancement by Permittivity of Window materials in Low Frequency Plasmas2009

    • 著者名/発表者名
      Yaousuke JINBO, Masashi KIKU-CHI, Haruo SHINDO
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

    • NAID

      10025084238

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] LARGE-SCALED LINE PLASMA PRODUCTION BY EV ANESCENT MICROWAVE IN A NARROWED RECTANGULAR WAVEGUIDE2008

    • 著者名/発表者名
      H. Shindo、Y.Kimura、N.Sato、M.Suzuki
    • 雑誌名

      X VII International Conference on Gas Discharges and Their Applications

      ページ: 417-420

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] 2m Long-Line Plasma Production by Evanescent Microwave in Narrowed Rectangular Waveguide2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuhito KIMURA Haruo SHINDO
    • 雑誌名

      Proceedings of 55^<th> International Symposium of American Vacuum Society

      ページ: 111-111

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] Large-Scaled Line Plasma Production by Evanescent Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2008

    • 著者名/発表者名
      Haruo SHINDO Yasuhito KIMURA
    • 雑誌名

      Proceedings of 17^<th> International Symposium on Gas Discharges

      ページ: 417-420

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [雑誌論文] A new method to measure electron energy distribution function in radio-frequency plasmas in insulated vessel2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta Kusaba and Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Abstract of 28th International.Conference on Phenomena in Ionized Gases

      ページ: 206-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] Optimum Frequency for Inductively Coupled Plasma Generation with a Single-Loop Antenna2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Yuichi, Kitamura, Haruo, Shindo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 46, No. 12

    • NAID

      210000063834

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] A new method to measure electron energy distribution function in radio-frequency plasmas in insulated vessel2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta Kusaba and Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Abstract of 28th International. Conference on Phenomena in Ionized Gases

      ページ: 206-206

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] A new emissive-probe method for electron temperature measurement in radio-frequency plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments Vol. 78, No. 12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] A new method to measure electron energy distribution function in radio-frequency plasmas in insulated vessel2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 雑誌名

      Abstract of 28th International. Conference on Phenomena in Ionized Gases, Prague, Czech

      ページ: 206-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] Optimum Frequency for Inductively Coupled Plasma Generation with a Single-Loop Antenna2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta Kusaba, Yuichi Kitamura and Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46

    • NAID

      210000063834

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] A new emissive-probe method for electron temperature measurement in radio-frequency plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      Kouta Kusaba and Haruo Shindo
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 78

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] Electron Energy Distribution Function Measurement in Radio-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2006

    • 著者名/発表者名
      Haruo SHINDO, Kouta KUSABA
    • 雑誌名

      Proceedings of 52nd International Symposium of American Vacuum Society

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] 高周波プラズマ診断におけるエミッシブプローブ特性解析2006

    • 著者名/発表者名
      草場康太, 進藤春雄
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 No.1

      ページ: 157-157

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [雑誌論文] エミッシブプローブによる高周波プラズマ診断(IV)2006

    • 著者名/発表者名
      草場康太, 遠藤雅克, 進藤春雄
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 No.1

      ページ: 147-147

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [産業財産権] Dry Etching Method and Dry Etching Apparatus2011

    • 発明者名
      Syuuji TAKHASHI, Haruo SHINDO
    • 権利者名
      富士フィルム(株), (学)東海大学
    • 出願年月日
      2011-04-12
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [産業財産権] Plasma Oxidation Method and Oxidation Apparatus Application2011

    • 発明者名
      Syuuji TAKHASHI, Haruo SHINDO
    • 権利者名
      富士フィルム(株), (学)東海大学
    • 出願年月日
      2011-04-12
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [産業財産権] Plasma Oxidation Method and Oxidation Apparatus Application2011

    • 発明者名
      Syuuji TAKHASHI, Haruo SHINDO
    • 権利者名
      富士フィルム(株), (学)東海大学
    • 出願年月日
      2011-04-13
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [産業財産権] Plasma Oxidation Method and Oxidation Apparatus Application2011

    • 発明者名
      Syuuji TAKHASHI, Haruo SHINDO
    • 権利者名
      富士フィルム(株), (学)東海大学
    • 出願年月日
      2011-04-12
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [産業財産権] プラズマ酸化方法及びプラズマ酸化装置2010

    • 発明者名
      進藤春雄, 高橋修治
    • 権利者名
      東海大学 富士フィルム
    • 産業財産権番号
      2010-092291
    • 出願年月日
      2010-04-13
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] Fundamental Study of Electrostatic Acceleration of Laser Ablation Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      K. Yano, H. Horisawa, and H. Shindo
    • 学会等名
      The 71st Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [学会発表] 直線型マイクロ波プラズマ生成のための導波管内電磁界2018

    • 著者名/発表者名
      宮 翔真, 亀山 高範, 内海 倫明, 桑畑 周司, 磯村 雅夫, 進藤 春雄
    • 学会等名
      応用物理学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [学会発表] レーザー誘起プラズマの静電加速に向けた基礎研究2018

    • 著者名/発表者名
      矢野楓,浜田彩香,堀澤秀之,進藤春雄
    • 学会等名
      宇宙科学連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K05736
  • [学会発表] 高誘電率放電管による表面波プラズマの周波数依存性2012

    • 著者名/発表者名
      時枝孝典, 関根温志, 谷内康行, 内海倫明, 渋谷猛久, 進藤春雄
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] マイクロ波酸素プラズマ下流域におけるシリコントレンチの異方性酸化2012

    • 著者名/発表者名
      谷内康行, 山田利宜, 内海倫明, 磯村雅夫, 進藤春雄
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] 高誘電率放電管による表面波プラズマの周波数依存性2011

    • 著者名/発表者名
      時枝孝典, 関根温志, 谷内康行, 内海倫明, 渋谷猛久, 進藤春雄
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの電子密度の軸方向分布2011

    • 著者名/発表者名
      渡部智, 木村康人, 進藤春雄
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] マイクロ波酸素プラズマにおけるシリコン酸化特性のアスペクト比依存性2011

    • 著者名/発表者名
      小池潤, 五十嵐裕人, 進藤春雄
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] マイクロ波酸素プラズマ下流域におけるシリコントレンチ酸化のアスペクト比依存2011

    • 著者名/発表者名
      谷内康行, 山田利宜, 内海倫明, 磯村雅夫, 進藤春雄
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成(III)2010

    • 著者名/発表者名
      木村康人、増田哲也、矢吹和輝、柴田林太郎、進藤春雄
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの電子密度の電力依存性2010

    • 著者名/発表者名
      渡部智、岡部優登、木村康人、進藤春雄
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] マイクロ波酸素プラズマ下流域におけるシリコン酸化特性のバイアス依存性2010

    • 著者名/発表者名
      小池潤, 五十嵐裕人, 進藤春雄
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110517
  • [学会発表] 2m長マイクロ波ラインプラズマの生成2009

    • 著者名/発表者名
      木村康人、進藤春雄
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] Large-Scaled ECR Line Plasma Production by Microwave in a Narrowed Rectangular Waveguide2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shindo, Y.Kimura, T.Hirao
    • 学会等名
      American Vacuum Society 56^<th> Int. Symposium
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2009-11-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成(II)2009

    • 著者名/発表者名
      木村康人、進藤春雄
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] エミッシブプローブによる高誘電率放電管内のSF_6プラズマ診断とSiエッチング特性2008

    • 著者名/発表者名
      草場 康太, 進藤 春雄
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] エミッシブプローブ法による誘導結合型プラズマ特性診断2008

    • 著者名/発表者名
      草場 康太, 進藤 春雄
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成2008

    • 著者名/発表者名
      木村康人、進藤春雄
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20540486
  • [学会発表] Emissive Probe Measurements in SF_6 Etching Plasma in High Permittivity Discharge Tube(in Japanese)2008

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 学会等名
      The 55th Japan Meeting on Applied and Related Physics
    • 発表場所
      Chiba
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] Diagnostics of Inductively Coupled Plasma by an Emissive Probe New Method(in Japanese)2008

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 学会等名
      The 55th Japan Meeting on Applied and Related Physics
    • 発表場所
      Chiba
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] A New Diagnostic Method of Very-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2007

    • 著者名/発表者名
      Haruo, Shindo, Kouta, Kusaba
    • 学会等名
      American Vacuum Society 54th International Synposium
    • 発表場所
      Seattle, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] A New Diagnostic Method of Very-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2007

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo and Kouta Kusaba
    • 学会等名
      American Vacuum Society 54th International Synposium
    • 発表場所
      Convention Center Seattle,WA
    • 年月日
      2007-10-18
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] A New Diagnostic Method of Very-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2007

    • 著者名/発表者名
      Haruo Shindo and Kouta Kusaba
    • 学会等名
      American Vacuum Society 54th International Synpo sium
    • 発表場所
      Convention Center Seattle,WA
    • 年月日
      2007-10-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] 高周波プラズマ診断におけるエミッシブプローブ特性解析2006

    • 著者名/発表者名
      草場 康太, 進藤 春雄
    • 学会等名
      第67回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • 年月日
      2006-08-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] Emissive Probe Cnaracteristics in Measurements in Radio-Frequency Plasmas(in Japanese)2006

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 学会等名
      The 67th Japan meeting on Appne Physics
    • 発表場所
      Kyoto
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] Electron Energy Distribution Function Measurement in Radio-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2006

    • 著者名/発表者名
      Kouta, Kusaba, Haruo, Shindo
    • 学会等名
      American Vacuum Society 53rd International Synposium
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • [学会発表] Electron Energy Distribution Function Measurement in Radio-Frequency Plasmas Produced in Insulated Vessels2006

    • 著者名/発表者名
      Kouta Kusaba and Haruo Shindo
    • 学会等名
      American Vacuum Society 53rd International Synposium
    • 発表場所
      Moscone West San Francisco,CA
    • 年月日
      2006-11-17
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18540496
  • 1.  沖村 邦雄 (00194473)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  堀池 清浩 (20209274)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  新宮原 正三 (10231367)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  坂上 弘之 (50221263)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  犬島 喬 (20266381)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  利根川 昭 (90197905)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  渋谷 猛久 (90235599)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  岩尾 徹 (80386359)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  内池 平樹 (90034389)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  磯村 雅夫 (70365998)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 11.  金子 尚史
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

URL: 

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Are you sure that you want to link your ORCID iD to your KAKEN Researcher profile?
* This action can be performed only by the researcher himself/herself who is listed on the KAKEN Researcher’s page. Are you sure that this KAKEN Researcher’s page is your page?

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi