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羽根 一博  Hane Kazuhiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50164893
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 特任教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2020年度 – 2021年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授(特任)
2015年度 – 2019年度: 東北大学, 工学研究科, 教授
2012年度 – 2015年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2012年度 – 2013年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 教授
2007年度 – 2011年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る
2008年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 教授
2006年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 教授
1997年度 – 2005年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授
1994年度 – 2000年度: 東北大学, 工学部, 教授
1997年度: 東北大学, 大学院・工学研究科/教授
1995年度: 東北大学, 工学科, 教授
1994年度: 名古屋大学, 工学部, 教授
1993年度: 名古屋大学, 工学部・電子工学科, 助教授
1993年度: 名古屋大学工学部, 電気工学科, 助教授
1990年度 – 1993年度: 名古屋大学, 工学部, 助教授
1992年度: 名古屋大学工学部, 電子機械工学科, 助教授
1990年度 – 1992年度: 名古屋大学, 工学部・電子機械工学科, 助教授
1989年度: 名古屋大学, 工学部, 助手
1989年度: 名古屋大学工学部, 電子機械工学科, 助手
1986年度: 名古屋大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・電子機器 / 理工系 / 知能機械学・機械システム / 機械工作・生産工学 / 医用システム / 電子デバイス・機器工学 / 計測工学 / 材料力学 / 応用光学・量子光工学 / 生産工学・加工学 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る 知能機械学・機械システム / 電子デバイス・機器工学 / 機械力学・制御 / 電子デバイス・電子機器 / 計測工学 / 電子材料工学 / 機械力学・制御工学 / 理工系 / 応用物理学一般 / 機械工作・生産工学 / 機械工作 / 薄膜・表面界面物性 / 医用生体工学・生体材料学 / 複合集積システム / 計測・制御工学 / 電子機器工学 / 応用物理学一般 隠す
キーワード
研究代表者
マイクロマシニング / シリコン / マイクロマシン / MEMS / マイクロアクチュエータ / Micromachining / サブ波長格子 / エッチング / ナノメートル / ナノメートル加工 … もっと見る / リソグラフィ / エンコーダ / MEMS / フォトニック結晶 / 光通信 / 電子線描画 / 光学素子 / ポリマー / モールド / 近接場光 / 表面マイクロマシニング / プローブアレイ / プローブ技術 / プローブ / AFM / 高密度メモリ / センシングデバイス / レーザー / スキャナ / マイクロミラー / センシング / 破壊寿命 / 微小電気機械システム / 走査ミラー / 緑内障 / 網膜 / スマートグラス / 検査・診断システム / Optical switch / Filter / Micro-actuator / Photonic crystal / 光スイッチ / フィルタ / Lithography / Sensor / Robot / Silicon / Grating / Encoder / 回析格子 / 精密機器 / 光エンコーダ / 光リソグラフィ / 非平面リソグラフィ / ロボット用エンコーダ / ロータリーエンコーダ / 光計測 / センサ / ロボット / グレイティング / NANO-OPTICS / ETCHING / SUB-WAVELENGTH / MICROMACHINING / ANTI-REFLECTION / GRATING / 無反射表面 / 高アスペクト比エッチング / 回折格子 / 微細格子 / モスアイ構造 / 反射防止 / グレーティング / ナノ光学 / サブ波長 / 無反射 / グレーディング / Scanning probe microscopy / Charge deposition / High density memory / Atomic force microscopy / 分極反転 / 原子分子操作 / 原子分子加工 / 超高密度メモリー / 原子間力顕微鏡(AFM) / 誘電体薄膜 / 静電容量 / ディスクメモリー / 原子間力顕微鏡 / 電荷畜積 / 走査型プローブ顕微鏡 / 電荷蓄積 / Optical Pattern Generation / Optical Encoder / Non-Planar Lithography / Computer Generated Hologram / プラズマプロセス / 回路格子パターン / 立体加工 / 微細加工 / 計算機ホログラム / レーザ露光 / ホログラフィ / 光露光 / 非平面露光 / 計算機合成ホログラム / Adhesive Force / Young's Modulus / Micro-machining / Atomic force Microscope / Micro-machine / ナノメ-トル加工 / 非破壊検査 / トンネル顕微鏡 / アトミックフォ-ス顕微鏡 / 吸着力 / ヤング率 / マイクロマシーニング / アトミックフォース顕微鏡 / 光エレクトロニクス / マイクロリング / 電気光学効果 / 光集積回路 / ウエハ接合 / GaN導波路 / シリコンフォトニクス / PN結合 / 共鳴格子 / PN接合 / シリコン細線 / シリコン発光 / シリコンデバイス / 光集積デバイス / 窒化物半導体 / 集積化 / 光デバイス / フォトニック構造 / 可変フィルタ / くし型アクチュエータ / シリコンMEMS / 波長選択フィルタ / ナノインプリント / シリコンマイクロマシニング / サブミクロン構造 / モールディング / ナノマシニング / ナノ構造 / マイクロプローブ / メカトロニクス / カンチレバー / 光導波路 / アモルファスSi / ねじれ振動子 / ニアフィールド / 機械共振 … もっと見る
研究代表者以外
マイクロマシン / 光ファイバ / 光熱効果 / マイクロマシニング / MEMS / Micromachine / Photothermal Effect / Micromachining / アクチュエータ / 光導波路 / 並列処理 / Optical Fiber / 光ファイバー / Laser Diode / 形状記憶合金 / エッチング / 微細加工 / Optical fiber / カーボンナノチューブ / Actuator / Optical Interconnection / Wafer Level Integration / Parallel Processing / マイクロバンプ / ウエーハ張り合わせ技術 / システムオンチップ / ウエーハレベルインテグレーション / ウェーハ張り合わせ技術 / LSI集積化技術 / 半導体技術 / 光インターコネクション / システム オン チップ / ウェーハレベルインテグレーション / ナノマシニング / レーザ駆動 / quartz core cantilever / optical sensor / 石英コア振動子 / 光学センサ / 3次元積層技術 / 密度計 / Optical Actuator / 光学式アクチュエータ / レ-ザ / 光デバイス / マイクロ・ナノデバイス / 中性粒子ビーム / 集積化 / 高周波スパッタリング / マグネトロンスパッタリング / Lifetime / Level Excitation Cross Section / Emission Cross Section / Electron Collision / Non-Emissive Radical / <SiH_4> / Plasma Processing / LIF法 / 寿命 / 生成断面積 / 発光断面積 / 電子衝突 / ラジカル非発光種 / Si【H_4】 / プラズマプロセシング / nanocolumn / fin-type vertical MOSFET / low-k film / gate electrode etching / silicon oxynitride / negative ion / etching / neutral beam / 薄膜形成 / シリコン酸窒膜 / ナノ加工 / 半導体デバイス / エッチングダメージ / 起立ゲート型トランジスタ / 高誘電率膜 / 有機分子デバイス / 表面改質 / ナノカラム / フィン型MOSFET / 低誘電率絶縁膜 / ゲート電極加工 / シリコン酸窒化膜 / 負イオン / High Speed Data Transfer / Parallel Processing System / Optical Wave Guide / Wafer Bonding / Three-Dimensional Integration / Multiport Shared Memory / Three-Dimensionally Stacked Processor / ウェーハ張り合わせ / 高速データ転送 / 並列処理システム / ウェーハ貼り合わせ / 三次元積層化技術 / マルチポート共有メモリ / 三次元積層型プロセッサ / Tunable wavelength filter / Variable optical attenuator / Photochromism phenomenon / Light-light control / Optical communication devices / Micro-machining / 光-光制御デバイス / フォトクロミック材料 / フォトクロミズム / 光通信用デバイス / 可変波長フィルタ / 可変光減衰器 / フォトクロミズム現象 / 光-光制御 / 光通信デバイス / Endothelial cell / Tensile loading / Hydrostatic pressure / Shear stress / Response mechanism to mechanical stimuli / Actin filament / Integrin / Biomechanics / 局所ひずみ / FAT / GFP / 伸張負荷 / 細胞骨格 / 内皮細胞 / 引張負荷 / 静水圧負荷 / せん断応力 / 力学的応答機構 / アクチンフィラメント / インテグリン / バイオメカニクス / Plasma process / Etching / Lathe / 旋盤 / プラズマ加工 / 施盤 / Resonator / Data storage / Sensor / Nanomachine / 近接場光学顕微鏡 / 近接場光学 / アクチュエーター / 電界放出エミッタ / 静電アクチュエータ / 圧電アクチュエータ / 走査型プローブ顕微鏡 / 高密度記録 / 振動子 / データストレージ / センサ / ナノマシン / Light Wave Guide / Optical Device / アクチュータ / grating / encoder / resonant cavity / standing wave / interferometer / stacking structure / integration / photodiode / 直接接合 / 回析格子 / エンコーダ / 共振構造 / 定在波 / 干渉計 / 積層構造 / フォトダイオード / Large Scale Integration Technology / Semiconductor Technology / Micro-Bump / Wafer Bonding Technology / System on Chip / Optical Waveguide / micromachining / grating fiber / return Jight / resonapt characteristics / quartz core vibrator / 石英コア限動子 / グレーティングファイバ / 振動検出 / 戻り光 / 共振特性 / LSI / Semiconductor / Memory / System on a Chip / Three Dimensional Integration / メモリー / 3次元集積化技術 / micromachine / laser drive / three-dimensional laserbeam lithography / lasermicromanipulation / optical trap / レーザマイクロマニビュレーション / 光造形法 / レーザマイクロマニピュレーション / 光トラップ / Nanomachining / Nano pattern transfer / Microprobe for NSOM / Capacitive AFM probe / Precise micromachining / Gyroscope / Accelerometer / Highly sensitive pressure sensor / NSOM用プローブ / ナノパターン転写 / NMOS用プローブ / 容量型AFMプローブ / 高精度マイクロマシニング / ジャイロスコープ / 加速度センサ / 高感度圧力センサ / Wavelength / Laser Drive / Optical Filter / フィルター / 波長 / フィルタ / WAFER BONDING / 3D INTEGRATION / PARALLEL PROCESSING / NEURAL NETWORK / ASSOCIATION / LEARNING / REAL-TIME / IMAGE PROCESSING / 三次元積層技術 / 張り合わせ技術 / ニューラルネットワーク / 連想機能 / 学習機能 / リアルタイム / 視覚情報処理 / Ion sputtering / Shape memory alloy / Mictomachine / Optical actuator / イオンスパッタリング / 光学式アクチュエーター / ion sputtering apparatus / in-situ deposition thickness measurement / サイズ効果 / イオンスパッタ装置 / 動的膜厚測定 / ULSI / Deca-nano device / Device Simulation / Parallel Monte Carlo Analysis / Bus Bottle Neck / High Speed parallel Computing System / Three Dimensional Integrated Shard Memory / Three Dimensional Integration Technology / 大規模集積回路 / 極微細半導体素子 / デバイスシミュレーション / 並列モンテカルロ解析 / バスボトルネック / 超高速並列処理システム / 3次元集積型実共有メモリ / Viscosity Sensor / Density Sensor / Pressure Sensor / Photothermal Vibration / 粘度計 / 圧力センサー / Micro Gripper / Micro Vibrator / Microcantilver / Microactuator / TUNGSTEN CARBIDE FILM / TITANIUM NITRIDE FILM / FUNCTIONALLY GRADIENT FILM / FUNCTIONAL COATING / MAGNETRON SPUTTERING / RADIO FREQUENCY SPUTTERING / RADIATED SPUTTERING / TiN層 / 傾斜機能 / W膜 / TiN膜 / 傾斜機能膜 / 機能性コーティング / 反応性スパッタリング / ciliary movement / atomic force microscope / PVDF thin film / biomimetic actuator / PVDF薄膜 / 繊毛運動 / 原子間力顕微鏡 / PVOF薄膜 / バイオミメティックアクチュエータ / Liquid Density / Microcantilever / Optical Sensor / Microsensor / ファイバセンサ / 光熱振動 / Exchange-coupling / Magneto-striction / Multilayr / Magnetic Anisotropy / Super Lattice / Magneto-optics / 磁歪定数 / 磁気弾性異方性 / 磁性多層膜 / 磁歪 / 磁気異方性 / 交換結合膜 / 多層膜 / 人工格子膜 / 磁気光学効果 / 光磁気記録 / Water Flow Pump / Micro Cantilever / Shape-memory Alloy / Micro Vacuum Pump / 液中振動 / 光熟効果 / レーザ真空計 / 真空ポンプ / 水流ポンプ / 超小型片持ばり / レーザダイオード / 超小型真空ポンプ / Vacuum gauge / Laser / Photoacoustic effect / Photothermal effect / 真空計 / 光音響効果 / フォトサ-マル効果 / Electronic static motor / Effect of carrier gas / Submicron pattern fabrication / Plasma polymerized alpha-methyle-styrene / plasma polymerized styrene / three dementional machining / Plasma polymerized resist / キャリヤガス効果 / 電子線リングラフィ立体加工法 / 静電モ-タ加工 / キセリヤ-ガス効果 / 静電モ-タ-加工 / キャリヤ-ガス効果 / サブミクロンパタ-ン加工 / プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト / プラズマ重合スチレンネガレジスト / 電子線リソグラフィ立体加工法 / プラズマ重合レジスト / シリコンフォトニクス / 光回路 / 光電子集積システム・オン・チップ / シリコン貫通配線 / スーパーチップ / 光電子集積化 / 三次元集積化 / セルフアセンブリー / グラフォアセンブリー / 低電圧駆動 / 温度補償 / 静電駆動 / マイクロミラー / MEMSアクチュエータ / 時間変調 / オフセット / 高精度化 / せん断ゲージ / ひずみゲージ / 回転角センサ / 光スキャナ / マイクロアクチュエータ / 計測工学 / 光スイッチ / マイクロマシンプローブ / Bow-tieアンテナ型 / 表面プラズモン / Bow-tieアンテナ / 近接場光 / Pbセンター / 低ダメージエッチング / フェリチン / 量子ドット / フォトリソグラフィー / 先球ファイバ / 光減衰器 / セルフアライメント / フォトリソグラフィ / 追加工 / 蓄積電荷量 / フォトン / イオンエネルギー / オンウエハーモニタリング / モニタリング / 薄膜堆積 / 側壁導電性 / 電子エネルギー分布 / イオンエネルギー分布 / センサー / 光照射損傷 / プラズマプロセス / オンウエハモニタリング / 共鳴二光子イオン化分光 / 原子線散乱 / Mie粒子 / 分子モーター / 一分子計測 / ニアフィールド光学顕微鏡 / レーザートラッピング / 原子スピン偏極 / エバネッセント波の量子化 / トロポニンC / 1分子蛍光測定 / 全反射顕微鏡 / コントラスト特性 / 金属化カンチレバー / フォトン力学 / エバネッセント波の第二量子化 / 光ポンピング原子スピン偏極 / エバネッセントフォトン / アクチン / ミオシン / 電場増強効果 / 近接場振動分光 / 放射圧 / シリコン / マイクロ部品 / メカノケミカル加工 / 超音波加工 / WC / 傾斜機能コーティング / スパッタリング 隠す
  • 研究課題

    (56件)
  • 研究成果

    (302件)
  • 共同研究者

    (65人)
  •  自動運転およびディスプレイ用の広角度走査マイクロミラーの研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  スマートグラスを用いた網膜イメージング研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      医用システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  GaN/Siハイブリッドフォトニクスの光回路プラットフォームの研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  グラフォアセンブリーによる三次元積層型光電子集積システム・オン・チップ

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  シリコンナノフォトニクス回路実現のための超低損失光NEMS技術の基礎研究

    • 研究代表者
      金森 義明
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  共鳴格子を用いたシリコン発光素子の研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  温度補償した高速応答可能な低電圧静電駆動型マイクロミラー

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  窒化物半導体とシリコンのモノリシック集積による光マイクロシステム研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  回転角センサー体型MEMS光スキャナ

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  MEMS技術による光通信用高機能デバイスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2008
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光

    • 研究代表者
      寒川 誠二
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  立体的微細加工技術による曲面ナノモールディング研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  三次元積層型プロセッサチップを用いた超高性能並列処理システム

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製

    • 研究代表者
      寒川 誠二
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高精度プラズマプロセス用オンウエハーモニタリングシステムの構築

    • 研究代表者
      寒川 誠二
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロ・ナノマシニングによる光通信用可変フォトニックデバイスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  血管内皮細胞の力学的応答機構に果たすインテグリンの役割

    • 研究代表者
      佐藤 正明
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      医用生体工学・生体材料学
    • 研究機関
      東北大学
  •  光ファイバマイクロマシンとフォトクロミズム現象を利用した光-光制御型通信デバイス

    • 研究代表者
      熊崎 裕教
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

    • 研究代表者
      江刺 正喜
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  光ファイバのマイクロ旋盤加工に関する研究

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  ナノ構造創成のための光メカトロニクスに関する総括研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2004
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  近接場光加工の大面積化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2003
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシニングを用いたシリコン・ナノ・モールディング研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ウェーハスケール光導波路結合型ダイナミックニューラルネットワークシステム

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  積層構造によって集積化した光計測システムの開発

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発

    • 研究代表者
      南 和幸
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      複合集積システム
    • 研究機関
      山口大学
  •  キュービックインテグレーション技術を用いたウェーハスケール並列処理システムの試作

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ロボットの指関節用および精密機器用マイクロ回転エンコーダの試作研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  回折格子内蔵光ファイバ振動子センサの開発

    • 研究代表者
      熊崎 裕教
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  アモルファスSiを利用した光導波路一体型カンチレバーの製作研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシニングによる超微細構造光学素子の開発研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  高精度マイクロマシニングによる超センシング

    • 研究代表者
      江刺 正喜
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  レーザマイクロマニピュレーションと光造形法によるレーザ駆動マイクロマシンの製作

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  ニアフィールドのフォトン力学

    • 研究代表者
      河田 聡
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      大阪大学
  •  マイクロマシンプローブを用いたニアフィールドメモリの研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東北大学
  •  学習機能を有する積層型マイクロ視角情報処理システム

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  フィルターを用いた波長制御形レーザ駆動マイクロマシンに関する研究

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  3次元集積型実共有メモリを用いた超高速並列処理システムの試作

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  光ファイバを用いた膜厚測定用フォトメカニカルセンサの開発

    • 研究代表者
      熊崎 裕教
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  形状記憶合金のスッパタ薄膜を用いたレーザ駆動マイクロマシンの開発

    • 研究代表者
      熊崎 裕教
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシニングによる密度・粘度測定用の振動型光ファイバセンサの開発

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  原子間力顕微鏡を用いたディスク記憶装置の試作研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシン駆動用の光学式アクチュエータの開発

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  超音波メカノケミカル加工によるマイクロ部品の試作

    • 研究代表者
      森 敏彦
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  繊毛運動を用いたバイオミメティックアクチュエータの開発

    • 研究代表者
      大熊 繁
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      計測・制御工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーティング

    • 研究代表者
      森 敏彦
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マグネトロンスパッタリングによる傾斜機能コーティング

    • 研究代表者
      森 敏彦
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  超高密度光磁気記録媒体の研究

    • 研究代表者
      内山 晋
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロマシニングによる超微量液体用の光学式密度計の開発

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械力学・制御工学
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  走査型プローブ顕微法によるマイクロメカニカル構造評価法の研究,研究代表者

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      材料力学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械力学・制御工学
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

    • 研究代表者
      森田 慎三 (森田 愼三)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  フォトサ-マル効果を利用したレ-ザ真空計の開発

    • 研究代表者
      稲葉 成基
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  プラズマプロセシング用SiH⊂のラジカル非発光種に関する研究

    • 研究代表者
      後藤 俊夫
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学

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  • [図書] 自動運転車に向けた 電子機器・部品の開発と制御技術:28章 MEMSミラーの原理、構造とLiDARへの応用2022

    • 著者名/発表者名
      羽根一博(分担執筆)
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [図書] 自動運転・運転支援の実現に向けたセンサ開発: MEMSミラーの原理、構造とLiDARへの応用2020

    • 著者名/発表者名
      羽根一博(分担執筆)
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • ISBN
      9784781314983
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [図書] 距離画像センサの基礎と最先端:LiDARのためのMEMSミラー2020

    • 著者名/発表者名
      羽根一博(分担執筆)
    • 出版者
      S&T出版
    • ISBN
      9784907002831
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [図書] 回折光学素子の数値解析とその応用(4.5.2 MEMSグレーティング)2011

    • 著者名/発表者名
      羽根一博(小舘, 神谷監修)
    • 出版者
      丸善出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] 光アライアンス:GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して2010

    • 著者名/発表者名
      胡芳仁, 羽根一博
    • 出版者
      日本工業出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] Comprehensive Microsystems2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hane, M. Sasaki
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] Comprehensive Microsystems 3.01 Micro-Mirrors2008

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      63
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [図書] 光通信用ナノマシン2008

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      オプトロニクス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [図書] Micro-Mirrors(Comprehensive Microsystems)2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hane, M. Sasaki
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] Comprehensive Microsystems-Fundamentals,technology and applications-2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki
    • 出版者
      Elsevier Science Ltd.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] MEMSデバイスの加工・実装・評価技術 第1節 MEMSにおけるエッチング技術2007

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      11
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] ナノテクのための工学入門第5章マイクロマシニング・ナノマシニング2007

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      243
    • 出版者
      共立出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [図書] Comprehensive Microsystems-Fundamentals, technology and applications- (Volume Three) : 3.01 Optical systems: Miero-mirrors2007

    • 著者名/発表者名
      編集:Yogesh Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe 分担:Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki
    • 総ページ数
      63
    • 出版者
      Elsevier Science Ltd
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開4.5フォトニック素子2007

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      1500
    • 出版者
      フロンティア出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [図書] MEMS/NEMS Advanced Technologies and Applications Chapter4 Applications of MEMS/NEMS to Optics and wireless telecommunication, 4.5 Photnic devices2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 総ページ数
      285
    • 出版者
      Frontier
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [図書] MEMS/NENSの最先端技術と応用展開第4章MEMS/NEMSの光および無線通信への応用5.フォトニック素子2006

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 総ページ数
      285
    • 出版者
      フロンティア出版
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Infrared slit light-based scanning type portable device for monitoring of cataract2022

    • 著者名/発表者名
      Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Hiroyuki Kamijo, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 61 ページ: 035103-035103

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] EXTENSION OF FRACTURE LIFETIME OF SILICON SCANNING MICROMIRROR BY COATING WITH ATOMIC LAYER DEPOSITED ALUMINA THIN FILM2021

    • 著者名/発表者名
      Yuuki Fujita, Takashi Sasaki, Koichi Fukuda, Nguyen Thanh Tung, Fumio Ogawa, Toshiyuki Hashida, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Proceeding of Transducers

      巻: 1 ページ: 549-552

    • DOI

      10.1109/transducers50396.2021.9495545

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Multileveled tunable silicon grating array bonded on large scale integration substrate by polymers2021

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Suzuki, Chernroj Sawasdivorn, Takashi Sasaki, Hiroshi Matsuura, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Journal of Optical Microsystems

      巻: 1 号: 01 ページ: 135011-13

    • DOI

      10.1117/1.jom.1.1.013501

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Simple retinal imaging system using a MEMS scanning mirror2018

    • 著者名/発表者名
      Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 57 号: 09 ページ: 095101-095101

    • DOI

      10.1117/1.oe.57.9.095101

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner2018

    • 著者名/発表者名
      Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 24 号: 5 ページ: 2159-2168

    • DOI

      10.1007/s00542-017-3668-2

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Electro-optic guided-mode resonance tuning suppressible by optically induced screening in a vertically coupled hybrid GaN/Si microring resonator2018

    • 著者名/発表者名
      Thubthimthong B.、Sasaki T.、Hane K.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 112 号: 7 ページ: 071102-071102

    • DOI

      10.1063/1.5013227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] GaN microring waveguide resonators bonded to silicon substrate by a two-step polymer process2018

    • 著者名/発表者名
      Hashida Ryohei、Sasaki Takashi、Hane Kazuhiro
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 57 号: 9 ページ: 2073-2073

    • DOI

      10.1364/ao.57.002073

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Scanning Micro-Mirror with an Electrostatic Spring for Compensation of Hard-Spring Nonlinearity2017

    • 著者名/発表者名
      Takashi Izawa、Takashi Sasaki、Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 8 号: 8 ページ: 240-240

    • DOI

      10.3390/mi8080240

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [雑誌論文] Asymmetrically and Vertically Coupled Hybrid Si/GaN Microring Resonators for On-Chip Optical Interconnects2015

    • 著者名/発表者名
      B. Thubthimthong, T. Sasaki, and K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Journal

      巻: 7 号: 4 ページ: 1-11

    • DOI

      10.1109/jphot.2015.2464721

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Group velocity enhancement for guided lightwave by the band-pulling effect in single-mode silicon comb photonic crystal wires2015

    • 著者名/発表者名
      Borriboon Thubthimthong and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Journal of Optics

      巻: 17 号: 5 ページ: 055104-055104

    • DOI

      10.1088/2040-8978/17/5/055104

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Design, fabrication and optical characteristics of freestanding GaN waveguides on silicon substrate2015

    • 著者名/発表者名
      Takuji Sekiya, Takashi Sasaki, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 33 号: 3

    • DOI

      10.1116/1.4917487

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Fabrication and Evaluation of Single-Crystal-Silicon Tunable Grating using Polymer-Based Membrane Transfer Bonding Process2015

    • 著者名/発表者名
      Sawasdivorn Chernroj, Hisayuki Onuma, Tomohiro Suzuki, Takashi Sasaki, Hiroshi Mastuura, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 135 号: 9 ページ: 361-366

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.135.361

    • NAID

      130005096102

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] AlN Nanowall Structures Grown on Si (111) Substrate by Molecular Beam Epitaxy2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura and K. Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 10 号: 1 ページ: 460-460

    • DOI

      10.1186/s11671-015-1178-7

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J08639, KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Time Response of a Microelectromechanical Silicon Photonic Waveguide Coupler Switch2014

    • 著者名/発表者名
      Syotaro Abe, Manh Hoang Chu, Takashi Sasaki, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 26 号: 15 ページ: 1553-1556

    • DOI

      10.1109/lpt.2014.2329033

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] A silicon microring resonator with a nanolatch mechanism2014

    • 著者名/発表者名
      Syotaro Abe and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technology

      巻: 21 号: 9 ページ: 2019-2024

    • DOI

      10.1007/s00542-014-2283-8

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Platinum/porous GaN nanonetwork metal-semiconductor Schottky diodfor room temperature hydrogen sensorel2014

    • 著者名/発表者名
      Aihua Zhong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: 209 ページ: 52-56

    • DOI

      10.1016/j.sna.2014.01.014

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] A Wide-Tuning Silicon Ring-Resonator Composed of Coupled Freestanding Waveguides2014

    • 著者名/発表者名
      Hoang Manh Chu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 26 号: 14 ページ: 1411-1413

    • DOI

      10.1109/lpt.2014.2326405

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Comparative study of Schottky diode type hydrogen sensors based on ahoneycomb GaN nanonetwork and on a planar GaN film2014

    • 著者名/発表者名
      Aihua Zhong, Takashi Sasaki, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      International Journal of Hydrogen Energy

      巻: 39 号: 16 ページ: 8564-8575

    • DOI

      10.1016/j.ijhydene.2014.03.120

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Wavelength characteristics of gap-variable silicon nanowire waveguide coupler switch using micro actuator2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Munemasa, Y.Akihama, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEEJ Trans. Sensors Micromachines

      巻: vol.133 ページ: 85-89

    • NAID

      10031155390

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] A microelectromechanically tunable microring resonator composed of freestanding silicon photonic waveguide couplers2013

    • 著者名/発表者名
      Ikeda and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 102 号: 22

    • DOI

      10.1063/1.4809733

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] A tunable notch filter using microelectromechanical microring with gap-variable busline coupler2013

    • 著者名/発表者名
      T. Ikeda, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 21 号: 19 ページ: 22034-22042

    • DOI

      10.1364/oe.21.022034

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Characterization of GaN Nanowall Network and Optical Property of InGaN/GaN Quantum Wells by Molecular Beam Epitaxy2013

    • 著者名/発表者名
      Aihua Zhong and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 8S ページ: 08JE13-08JE13

    • DOI

      10.7567/jjap.52.08je13

    • NAID

      210000142657

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Electric feed-through for vacuum package using double-side anodic bonding of silicon-on-insulator wafer2013

    • 著者名/発表者名
      H.M.Chu, H.N.Vu, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Electrostatics

      巻: 71 号: 2 ページ: 130-133

    • DOI

      10.1016/j.elstat.2012.12.028

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Variable-gap silicon photonic waveguide coupler switch with a nanolatch mechanism2013

    • 著者名/発表者名
      Syotaro Abe and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 25 号: 7 ページ: 675-677

    • DOI

      10.1109/lpt.2013.2248354

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] A tunable notch filter using microelectromechanical microring with gap-variable busline coupler2013

    • 著者名/発表者名
      Taro Ikeda and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 21 ページ: 22034-22042

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Transmisison-width-tunable silicon-photonic microelectromechanical ring resonator2013

    • 著者名/発表者名
      M. Ordu, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 25 号: 22 ページ: 2236-2238

    • DOI

      10.1109/lpt.2013.2285130

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Wavelength Characteristics of a Gap-Variable Silicon Nanowire Waveguide Coupler Switch Using Micro Actuator2013

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 133 ページ: 85-89

    • NAID

      10031155390

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Design and fabrication of GaN crystal ultra-small lateral comb-drive actuators2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tanae, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol

      巻: B30(1)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Growth of GaN nanowall network on Si (111) substrate by molecular beam exitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      Aihua Zhong and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 7 号: 1

    • DOI

      10.1186/1556-276x-7-686

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Single and multiple optical switches that use freestanding silicon nanowire waveguide couplers2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Akihama, K.Hane
    • 雑誌名

      Light: Science Applications

      巻: 1 号: 6 ページ: e16-e16

    • DOI

      10.1038/lsa.2012.16

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Single and multiple optical switches that use freestanding silicon nanowire waveguide couplers2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Akihama and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Light: Science & Applications

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Micro fluorescent analysis system integrating GaN-light-emitting-diode on a silicon platform2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Nakazato, Hiroko Kawaguchi, Akio Iwabuchi and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Lab on a Chip

      巻: 12 ページ: 3419-3425

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] Design and fabrication of GaN crystal ultra-small lateral comb-drive actuators2012

    • 著者名/発表者名
      T.Tanae, H.Sameshima, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science Technology

      巻: B30 号: 1

    • DOI

      10.1116/1.3668114

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007, KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [雑誌論文] III-nitride grating grown on freestanding HfO2 gratings2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Wu, F. Hu, Y. Kanamori, H. Zhu, K. Hane
    • 雑誌名

      Nano.Res. Lett.

      巻: 6(1)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] The resonant III-nitride grating reflector2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Wu, T. Tanae, H. Zhu, K. Hane
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng

      巻: 21(10)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] A GaN eletromechanical tunable grating on Si substrate2011

    • 著者名/発表者名
      Hidehisa Sameshima, Takuma Tanae, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology letters

      巻: 23 ページ: 281-283

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Patterned growth of InGaN/GaN quantum wells on freestanding GaN grating by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Nano.Res. Lett.

      巻: 6(1)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] III-nitride grating grown on freestanding HfO2 gratings2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, T.Wu, F.Hu, Y.Kanamori, H.Zhu, K.Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 6 号: 1

    • DOI

      10.1186/1556-276x-6-497

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN light emitting diode membrane on Si substrate for MEMS applications2011

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, H. Sameshima, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Microsys. Technol

      巻: 17(1) ページ: 109-114

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] III-nitride grating grown on freestanding HfO_2 gratings2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Wu, F. Hu, Y. Kanamori, H. Zhu, K. Hane
    • 雑誌名

      Nano.Res. Lett

      巻: 6(1)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng

      巻: 21(3)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Lateral epitaxial overgrowth of GaN on a patterned GaN-on-silicon substrate by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Semicond. Sci. Technol

      巻: 26(4)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Lateral epitaxial overgrowth of GaN on a patterned GaN-on-silicon substrate by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, F.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 26 号: 4 ページ: 045015-045015

    • DOI

      10.1088/0268-1242/26/4/045015

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism2011

    • 著者名/発表者名
      Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 19巻 ページ: 23658-23663

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Fabrication of GaN light emitting diode membrane on Si substrate for MEMS applications2011

    • 著者名/発表者名
      Masashi Wakui, Hidehisa Sameshima, Fangren Hu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 17 ページ: 109-114

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, T.Sasaki, T.Wu, F.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 21 号: 3 ページ: 035012-035012

    • DOI

      10.1088/0960-1317/21/3/035012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Akihama, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 1.19, 11 号: 24 ページ: 23658-23663

    • DOI

      10.1364/oe.19.023658

    • 年月日
      2011-11-07
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] The resonat III-nitride graitng reflector2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, T.Wu, T.Tanae, H.Zhu, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 21 号: 10 ページ: 105025-105025

    • DOI

      10.1088/0960-1317/21/10/105025

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism2011

    • 著者名/発表者名
      Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 19 ページ: 23658-23663

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] A GaN Electromechanical Tunable Grating on Si Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      H. Sameshima, T. Tanae, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photon. Technol. Lett

      巻: 23(5) ページ: 281-283

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Patterned growth of InGaN/GaN quantum wells on freestanding GaN grating by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, F.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Growth of GaN LED Structure on Si Substrate by ME and Monolithic Fabrication of GaN LED Cooling System2010

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: 5(2) ページ: 171-174

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, T. Wu, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 18(6) ページ: 5504-5511

    • NAID

      120003728410

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Freestanding GaN slab fabricated on patterned silicon on an insulator substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 20(2)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Monolithic-fabrication of Simicro-electro-mechanical structure with GaN ligth emitting diode2010

    • 著者名/発表者名
      R. Ito, M. Wakui, H. Sameshima, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies 16(in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Growth of GaN LED Structure on Si Substrate by MBE and Monolithic Fabrication of GaN LED Cooling System2010

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 5(2)

      ページ: 171-174

    • NAID

      10027368557

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Monolithic-fabrication of Si micro-electro-mechanical structure with GaN ligth emitting diode2010

    • 著者名/発表者名
      R. Ito, M. Wakui, H. Sameshima, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 16(6) ページ: 1015-1020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Growth of GaN LED Structure on Si Substrate by MBE and Monolithic Fabrication of GaN LED Cooling System2010

    • 著者名/発表者名
      Masashi Wakui, Fang-Ren Hu, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 5(2)

      ページ: 171-174

    • NAID

      10027368557

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Phase-shifter using submicron silicon waveguide couplers with ultra-small eletro-mechanical actuator2010

    • 著者名/発表者名
      Taro Ikeda, Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: vol.18 ページ: 7031-7037

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of freestanding circular GaN grating2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express 18(2)

      ページ: 773-779

    • NAID

      120003728497

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Narrow-bandwidth tunable bandstop filters with circularly cylindrical self-suspended silicon gratings2010

    • 著者名/発表者名
      Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optik (未定, 印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656055
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of freestanding circular GaN grating2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 18(2) ページ: 773-779

    • NAID

      120003728497

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Monolithic-fabrication of Si micro-electro-mechanical structure with GaN ligth emitting diode2010

    • 著者名/発表者名
      Ryosuke Ito, Masashi Wakui, Hidehisa Sameshima, Fangren Hu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies 16(印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Freestanding GaN slab fabricated on patterned silicon on an insulator substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 20(2)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Fabrication of Antireflective Subwavelength-Grating Structures on Optical Fiber End Faces Using Nanoimprinting Technique2010

    • 著者名/発表者名
      金森義明、大河内昌章、羽根一博
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編)

      巻: 76巻 ページ: 2854-2860

    • NAID

      110008095589

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Fabrication of Antireflective Subwavelength-Grating Structures on Optical Fiber End Faces Using Nanoimprinting Technique2010

    • 著者名/発表者名
      金森義明, 大河内昌章, 羽根一博
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C編)

      巻: 76 ページ: 2854-2860

    • NAID

      110008095589

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] 近赤光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作2010

    • 著者名/発表者名
      金森義明, 灰田周平, 羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 130

      ページ: 92-96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Narrow-bandwidth tunable bandstop filters with circularly cylindrical self-suspended silicon gratings2010

    • 著者名/発表者名
      Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optik

      巻: 121 ページ: 1389-1394

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20656055
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express 18(3)

      ページ: 2940-2945

    • NAID

      120003728432

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of sub wavelength nanostructures on freestanding GaN slab2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 18(3) ページ: 2940-2945

    • NAID

      120003728432

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab2010

    • 著者名/発表者名
      Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express 18(3)

      ページ: 2940-2945

    • NAID

      120003728432

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, T. Wu, K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express 18(6)

      ページ: 5504-5511

    • NAID

      120003728410

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] 近赤光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作2010

    • 著者名/発表者名
      金森義明、灰田周平、羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 130巻 ページ: 92-96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Monolithic-fabrication of Si micro-electro-mechanical structure with GaN light emitting diode2010

    • 著者名/発表者名
      Ryosuke Ito, Masashi Wakui, Hidehisa Sameshima, Fangren Hu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 16 ページ: 1015-1020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Fabrication of Subwavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication Wavelengths2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 129巻 ページ: 120-124

    • NAID

      10024776720

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Fabrication of Subwavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication Wavelengths2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 129

      ページ: 120-124

    • NAID

      10024776720

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] A Freestanding GaN/HfO_2 Membrane Grown by Molecular Beam Epitaxy for GaN-Si Hybrid MEMS2009

    • 著者名/発表者名
      H. Sameshima, M. Wakui, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 15(5)

      ページ: 1332-1337

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] An ultrasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 95巻 ページ: 171911-171911

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] GaN-based nitride semiconductor films deposited on nitrified HfO_2/Si substrate by molecular beam epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, H. Samashima, M. Wakui, R. Ito, K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 311 ページ: 2996-2999

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] An ultrasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanome chanical photonic crystal nanocavity2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 95

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [雑誌論文] Freestanding GaN resonat gratings at telecommunication range2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, M. Wakui, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters 21(17)

      ページ: 1184-1186

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2009

    • 著者名/発表者名
      Takuro AONUMA, Shinya KUMAGAI, Minoru SASAKI, Motoki TABATA, Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      electrical wire (a) (b) Japanese Journal of Applied Physics Vol.48, No.4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      羽根一博、桑野博喜、小野崇人
    • 雑誌名

      MEMS/NEMS工学全集(テクノシステム)

      ページ: 669-677

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Submicron comb-drive actuators fabricated on thin single crystalline silicon layer2009

    • 著者名/発表者名
      K.Takanashi, E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Industrial Electron vol. 56

      ページ: 991-995

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] A Freestanding GaN/HfO2 Membrane Grown by Molecular Beam Epitaxy for GaN-Si Hybrid MEMS2009

    • 著者名/発表者名
      H. Sameshima, M. Wakui, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

      巻: 15(5) ページ: 1332-1337

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] An ultarasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 95(17)

      ページ: 171911-171913

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of nanoscale resonant gratings on thin silicon membrane2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, Y.Kanamori, J.Ye, H.Sameshima, K.Hane
    • 雑誌名

      Opt. Exp vol.17

      ページ: 4938-4943

    • NAID

      120003728409

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Freestanding GaN resonat gratings at telecommunication range2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, M. Wakui, K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: 21(17) ページ: 1184-1186

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] GaN-based nitride semiconductor films deposited on nitrified HfO_2/Si substrate by molecular beam epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, H. Samashima, M. Wakui, R. Ito, K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 311

      ページ: 2996-2999

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol.15

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sentsor2009

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M. Tabata, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Opt. A: Pure Appl. Opt vol. 11,(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] MBE Fabrication of GaN-Based Light Emitting Diode on MOCVD Grown GaN-on-Si Template and Application for Optical MEMS2009

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, R. Ito, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 129(3) ページ: 77-80

    • NAID

      10024776617

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] MBE Fabrication of GaN-Based Light Emitting Diode on MOCVD Grown GaN-on-Si Template and Application for Optical MEMS2009

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, R. Ito, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 129(3)

      ページ: 77-80

    • NAID

      10024776617

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed grating on silicon-on-insulator wafer2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, Y.Kanamori, T.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 19

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Parameter optimization of narrow bandstop optical filters using the self-suspended subwavelength grating for TE polarization2008

    • 著者名/発表者名
      J.-S.Ye, Y.Kanamori, F-R.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Mod. Opt vol. 55

      ページ: 1519-1528

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Theoretical analysis of mechanical contact based submicron Si waveguide optical microswitch at telecommunication wavelength2008

    • 著者名/発表者名
      E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 127

      ページ: 80-84

    • NAID

      10021135026

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru SASAKI, Fuminori BONO, Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.47, No.4

      ページ: 3226-3231

    • NAID

      10022548216

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] GaN-Si-MEMS structure fabricated from nano-column GaN quantum well crystal grown on Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, R. Ito, Y. Zhao, K. Hane
    • 雑誌名

      physica status solidi (C)

      巻: 5(6) ページ: 1941-1943

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Journal of Optics A : Pure and Applied Optics Vol.10

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Submicron silicon waveguide optical switch driven by microelectromechanical actuator2008

    • 著者名/発表者名
      E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett vol. 92

    • NAID

      120002070063

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Development of a compact hydrogen- annealing machine for surface transformation of silicon and its applications to micro-optical devices2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, K.Douzono, S.Fujihira, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A vol. 26

      ページ: 365-369

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates, Solid State Devices & Materials2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, F. Bono, K. Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47, No.4

      ページ: 3226-3231

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, T. Sasaki, K. Hane, H. Miura
    • 雑誌名

      Journal of Optics A 10

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] A wavelength-selective add-drop switch using silicon microring resonator with a submicron-comb electrostatic actuator2008

    • 著者名/発表者名
      K.Takahashi, Y.Kanamori, Y.Kokubun K.Hane
    • 雑誌名

      Opt. Exp vol. 16

      ページ: 14421-14428

    • NAID

      120003911398

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Fabrication of analog and desital-modulated pitch-variable gratings using silicon-insulator substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kobayashi, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 47

      ページ: 5274-5277

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] GaN-Si-MEMS structure fabricated from nano-column GaN quantum well crystal grown on Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, R. Ito, Y. Zhao, K. Hane
    • 雑誌名

      physica status solidi (C) 5(6)

      ページ: 1941-1943

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Control of guided resonance in a photonic crystal slab using microelectromechanical actuators2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett vol. 90

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] InGaN/GaN quantum-well nanocolumn crystals on pillared Si substrate with InN as interlayer2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane
    • 雑誌名

      phys. stat. sol.

      巻: 4(7) ページ: 2338-2341

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] A 100 nm thick InGaN/GaN multiple quantum-well column-crystallized thin film deposited on Si(111)substrate and its micromachining2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, Y. Kanamori, K. Ochi, Y. Zhao, M. Wakui, K. Hane
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 19(3)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Micromirror with two parallel rotation axes for external cavity diode laser2007

    • 著者名/発表者名
      M.Ishimori, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Electron vol. E90-C

      ページ: 72-77

    • NAID

      110007519559

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Ishimori, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Electron vol. E90-C

      ページ: 147-148

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Out-of-plane motion of 260-nm thick guided-mode resonant grating filter controlled by four micro-thermal actuators2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 雑誌名

      Microsyst. Technol vol. 13

      ページ: 867-872

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, S. Yuki, K. Hane,
    • 雑誌名

      IEEE J. Selected Topics in Quantum Elect ronics 13, Issue 2

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Geometrical characteristics of silicon cavities etiched in EDP2007

    • 著者名/発表者名
      H.Ju, T.Ohta, M.Ito, M.Sasaki, K.Hane, M.Hori
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 17

      ページ: 1012-1016

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Angled exposure method for patterning on three-dimensional structures2007

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 46

      ページ: 6449-6453

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Rigorous reflectance performance analysis of Si3N4 self-suspended subwavelength gratings2007

    • 著者名/発表者名
      J.S.Ye, Y.Kanamori, F.-R.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Opt. Commun vol. 270

      ページ: 233-237

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Nanocolumn InGaN/GaN quantum-well crystals on flat anf pillared Si substrates with nitrified Ga as a buffer layer2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 18(27)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Photonic crystal waveguide switches with movable slabs2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E90-C・1

      ページ: 51-58

    • NAID

      110007519556

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Nanocolumn InGaN/GaN quantum-well crystals on flat anf pillared Si substrates with nitrified Ga as a buffer layer2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, K. Ochi, Y. Zhao K. Hane
    • 雑誌名

      Nanotechnology 18(27)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Performance of tense thin-film torsion bar for large rotation and low-voltage driving of micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE J. Selected Topics Quant. Electron vol. 13

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Photonic crystal waveguide switches with movable slabs2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, et al.
    • 雑誌名

      IEICE Transaction on Electronics E90-C-1

      ページ: 51-58

    • NAID

      110007519556

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Photonic crystal waveguide switches with movable slabs2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, et al.
    • 雑誌名

      IEICE Transaction on Electronics E90-C・1

      ページ: 51-58

    • NAID

      110007519556

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol.13, Issue 2

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Narrow-band tunable optical filters using the self-suspended subwavelength grating2007

    • 著者名/発表者名
      J.S.Ye, Y.Kanemori, F.-R.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Mod. Opt vol. 54

      ページ: 827-832

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] A 100nm thick InGaN/GaN multiple quantum-well column-crystallized thin film deposited on Si(111) substrate and its micromachining2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, Y. Kanamori, K. Ochi, Y. Zhao, M. Wakui, K. Hane
    • 雑誌名

      Nanotechnology 19(3)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Micromachined surface emitting dye laser with a serf-suspended guided mode resonant grating2007

    • 著者名/発表者名
      N.Matsuyama, Y.Kanamori, J-S.Ye, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Opt. A: Pure Appl. Opt Vol. 9

      ページ: 940-944

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] InGaN/GaN quantum-well nanocolumn crystals on pillared Si substrate with InN as interlayer2007

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane
    • 雑誌名

      phys.stat.sol. 4(7)

      ページ: 2338-2341

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] A microtranslation table with scratch-drive actuators fabricated from silicon-on-insulator wafer2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, H.Yahagi, K.Hane
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A 125・2

      ページ: 451-457

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Electrostatic actuator with segmented comb electrodes2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, F.Bono, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 126

      ページ: 168-169

    • NAID

      10017538804

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technol. Lett vol. 18

      ページ: 1573-1575

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Guided-mode resonant grating filter fabricated on silicon-on-insulator substrate2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・3A(in press)

    • NAID

      40007177968

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga, and K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 45

      ページ: 3789-3793

    • NAID

      10022541010

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, K.Haga, M.Tabata, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45(in press)

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Guided-mode resonant grating filter fabricated on silicon-on-insulator substrate2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 45

      ページ: 1883-1885

    • NAID

      40007177968

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Fabrication of transmission color filters using silicon subwavelength gratings on quartz substrates2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, M.Shimono, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technol. Lett vol. 18

      ページ: 2126-2128

    • NAID

      120000775232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Exposure method for three-dimensional samples using phase shift mask2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, T.Edwin, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 126

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017586211

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Variable optical reflectance of a self-supported Si grating2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, T.Kobayashi, F.-R.Hu, Y.Kanamori
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett vol. 88

    • NAID

      120000775228

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 陳俊中エドウィン, 羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E (印刷中)

    • NAID

      10017582294

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, Motoki Tabata, Tsukasa Haga, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45,No.4B(in press)

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Variable optical reflectance of a self-supported Si grating2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 88・14

    • NAID

      120000775228

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Self-supported subwavelength gratings with a broad band of high reflectance analyzed by the rigorous coupled-wave method2006

    • 著者名/発表者名
      J.S.Ye, Y.Kanamori, F.-R.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Mod. Opt vol. 53

      ページ: 1995-2004

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Deposition of thin and uniform photoresist on three-dimensional structures using fast flow in spray coating2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, H.Takamatsu, M.Kawakita, H.Hayashi
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 15

      ページ: 2339-2345

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Deposition of thin and uniform photoresist on three-dimensional structures using fast flow in spray coating2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, H.Takamatsu, M.Kawakita, H.Hayashi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 15・12

      ページ: 2339-2345

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 高機能マイクロミラーデバイス2005

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 雑誌名

      光アライアンス,日本工業出版 16,No.12

      ページ: 30-34

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工2005

    • 著者名/発表者名
      熊崎裕教, 稲葉成基, 羽根一博, 那須祐治
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 125-E・5

      ページ: 211-215

    • NAID

      10015517870

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Technique for preparing defect-free spray coated resist-film on three-dimensional micro-electromecanical systems2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 44

      ページ: 2016-2020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Surface emission from solid polymer dye in a guided mode resonant grating filter structure2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 87・15

      ページ: 151106-151106

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] A surface emitting solid polymer dye laser using a guided mode resonant grating for bio-optical detections2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Their Application

      ページ: 101-102

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656047
  • [雑誌論文] Surface emission from solid polymer dye in a guided mode resonant grating filter structure2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett vol. 87

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Modified photo-sensors for grating-image type micro-encoder2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, R.Kamata, M.Mitamura, Y.Ito, K.Hane
    • 雑誌名

      Microsystems Technology 11・8-10

      ページ: 980-986

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工2005

    • 著者名/発表者名
      熊崎裕教, 稲葉成基, 羽根一博, 那須祐治
    • 雑誌名

      電気学会論文誌(E センサ・マイクロマシン準部門誌) 125巻5号(印刷中)

    • NAID

      10015517870

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [雑誌論文] Three-dimensional micro-machining for fiber type optical control devices2005

    • 著者名/発表者名
      H.Kumazaki, S.Inaba, K.Hane, Y.Nasu
    • 雑誌名

      T.IEE Japan. (in press)

    • NAID

      10015517870

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [雑誌論文] Technique for preparing defect-free spray coated resist-film on three-dimensional micro-electromecanical systems2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44・4A

      ページ: 2016-2020

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Compact triangular sensor array constructed by wafer bending2005

    • 著者名/発表者名
      S.Endou, M.Ishimori, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44・4B

      ページ: 2874-2878

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Development of MEMS-based Optical Surge Suppressor2005

    • 著者名/発表者名
      T.Hirata, I.Mitama, M.Abe, K.Makita, K.Shiba, K.Hane, M.Sasaki
    • 雑誌名

      Proceedings of OFC/NFOEC 2005 Conference

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga, K.Hane
    • 雑誌名

      Extended abstracts of Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, D-1-2(2005.9.13-15,Kobe).

      ページ: 72-73

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Three-dimensional micro-machining for fiber type optical control devices2005

    • 著者名/発表者名
      H.Kumazaki, S.Inaba, K.Hane, Y.Nasu
    • 雑誌名

      IEEj Transactions on Sensors and Micromachines Vol.125

    • NAID

      10015517870

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13650291
  • [雑誌論文] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2005

    • 著者名/発表者名
      Motoki Tabata, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Proceedings of the 22nd Sensor Symposium

      ページ: 45-48

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Fiber-optical switch using cam-micromotor driven by scratch drive Actuators2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, Y.Aoki, M.Sasaki, H.Hosoya, A.Wada, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 15

      ページ: 118-123

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Three-dimensional micro-machining for fiber-type optical control devices2005

    • 著者名/発表者名
      H.Kumazaki, S.Inaba, K.Hane, Y.Nasu
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 125-E

      ページ: 211-215

    • NAID

      10015517870

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] An Assembly Method for Ball Lens Using Wafer Bonding2004

    • 著者名/発表者名
      F.Nakai, M.Sasaki, K.Hane, K.Yokomizo, K.Hori
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 116-117

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Applications of photochromic materials to light-light control devices2004

    • 著者名/発表者名
      H.Kumazaki, K.Nakashima, S.Inaba, K.Hane, M.Irie
    • 雑誌名

      Optical Alliance Vol.15 No.5

      ページ: 18-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [雑誌論文] Pitch-Variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators2004

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 198-199

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] An Assembly Method for Ball Lens Using Wafer Bonding2004

    • 著者名/発表者名
      F.Nakai, M.Sasaki, K.Hane, K.Yokomizo, K.Hori
    • 雑誌名

      2004 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS, P-26

      ページ: 116-117

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Micromachining of optical fiber and its application2004

    • 著者名/発表者名
      S.Inaba, H.Kumazaki, K.Nakashima, F.Inoue, K.Hane
    • 雑誌名

      Memoirs of Gifu National College of Technology Vol.39

      ページ: 105-108

    • NAID

      110004649478

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13650291
  • [雑誌論文] MEMS技術による光学システムの集積化2004

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博, 金森義明
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.15,No.6

      ページ: 1-5

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Wavelength Selective Variable reflection Filters Using Movable Guided Mode resonance gratings2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 204-205

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656047
  • [雑誌論文] 解説フォトクロミック材料の光-光制御デバイスへの応用2004

    • 著者名/発表者名
      熊崎裕教, 中島健作, 稲葉成基, 羽根一博, 入江正浩
    • 雑誌名

      月刊 光アライアンス 15巻5号

      ページ: 18-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [雑誌論文] Resonant Cavity Thin Film Photodiode for Compact Displacement Sensor2004

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, F.Nakai, X.Mi, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 2381-2386

    • NAID

      10012950324

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Flow Condition in Resist Spray and Patterning Performance for Three-Dimensional Photolithographyover Deep Structures2004

    • 著者名/発表者名
      V.Singh, M.Sasaki, K.Hane, M.Esashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 2387-2391

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Improved Resist Film Quality Prepared by Spray Coating for 3D-MEMS2004

    • 著者名/発表者名
      V.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, M.Kawakita, H.Hayahi
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 118-119

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Three-Dimensional SOI-MEMS Constructed by Buckled Bridges and Vertical Comb Drive Actuator2004

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, D.Briand, W.Noell, N.de Rooij, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics 10

      ページ: 455-461

    • NAID

      120002070119

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Applications of photochromic materials to light-light control devices2003

    • 著者名/発表者名
      K.Nakashima, H.Kumazaki, S.Inaba, K.Hane, M.Irie
    • 雑誌名

      Proceedings of 28^<th> Kogaku Symposium

      ページ: 81-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [雑誌論文] フォトクロミック材料の光-光制御デバイスへの応用2003

    • 著者名/発表者名
      中島健作, 熊崎裕教, 稲葉成基, 羽根一博, 入江正浩
    • 雑誌名

      第28回光学シンポジウム(光学技術・学術講演会)講演予稿集 AP O32216

      ページ: 81-82

    • NAID

      40006184983

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550249
  • [産業財産権] 全方位走査ミラー2020

    • 発明者名
      羽根一博、佐々木敬
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2020
    • 取得年月日
      2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [産業財産権] 全方位走査ミラー2020

    • 発明者名
      羽根一博、佐々木敬
    • 権利者名
      羽根一博、佐々木敬
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-037186
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [産業財産権] 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法2020

    • 発明者名
      羽根一博、佐々木敬、藤田裕樹
    • 権利者名
      羽根一博、佐々木敬、藤田裕樹
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2020
    • 取得年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [産業財産権] 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法2019

    • 発明者名
      羽根一博、佐々木敬、藤田祐樹
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2019
    • 取得年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [産業財産権] 光導波路デバイス及びその製造方法2008

    • 発明者名
      羽根一博 金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 公開番号
      2008-268891
    • 出願年月日
      2008-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] 光導波路デバイス及びその製造方法2008

    • 発明者名
      羽根一博, 金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2008-043834
    • 出願年月日
      2008-02-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] 光フィルター装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      金森義明, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 出願年月日
      2007-03-02
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [産業財産権] 光フィルター装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      金森義明、羽根義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2007-076748
    • 出願年月日
      2007-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] 光フィルター装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      金森義明, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2007-076748
    • 出願年月日
      2007-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [産業財産権] 光導波路デバイス装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      羽根一博, 金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2007-076749
    • 出願年月日
      2007-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] 光導波路デバイス装置及びその製造方法2007

    • 発明者名
      羽根一博、金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2007-076749
    • 出願年月日
      2007-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイス及びマイクロミラーデバイスを利用した装置2006

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2006-141324
    • 出願年月日
      2006-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイスとその製造方法,マイクロミラーデバイスの角度計測方法,およびマイクロミラーデバイス応用装置2005

    • 発明者名
      佐々木実、羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-219851
    • 出願年月日
      2005-07-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] レーザー共振器装置およびその製造方法2005

    • 発明者名
      羽根一博、金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-185888
    • 出願年月日
      2005-06-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイス、マイクロミラーデバイスの製造方法、マイクロミラーデバイスの計測方法、及び、マイクロミラーデバイスを利用した装置2005

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-219851
    • 出願年月日
      2005-07-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [産業財産権] サブ波長周期格子を用いたレーザー装置2005

    • 発明者名
      羽根一博、金森義明
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-158129
    • 出願年月日
      2005-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、光学装置の組立方法2004

    • 発明者名
      横溝 寛治, 堀 和仁, 羽根 一博, 佐々木 実
    • 権利者名
      ソニー株式会社
    • 産業財産権番号
      2004-240276
    • 出願年月日
      2004-08-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [学会発表] 光応用技術のためのMEMS2020

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] 全方位走査用ジンバル型スキャナの振動特性解析2020

    • 著者名/発表者名
      佐々木敬、鈴木克也、羽根一博
    • 学会等名
      センサシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] Motion nonlinearity of gimbaled micromirror in omnidirectional scanning for LiDAR application2020

    • 著者名/発表者名
      Katsuya Suzuki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      IEEE International Conference on Nano/Micro Engineering and Molecular Systems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] 全方位走査のためのジンバル型二軸共振MEMSスキャナ2019

    • 著者名/発表者名
      鈴木克也 佐々木敬 羽根一博
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] Cycloidal scanning with MEMS micro mirror for an omnidirectional long range LiDAR2019

    • 著者名/発表者名
      Takeaki Kobayashi, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics(OMN)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] 平行平板レバレッジ型走査ミラーの設計2019

    • 著者名/発表者名
      藤田裕樹、佐々木敬、羽根一博
    • 学会等名
      精密工学会東北支部講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] Nonlinear Spring Tuning by Electrostatic Combs in Micro Mirror Scanner2018

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] MEMS photonic devices on hybrid Gan/Si platform2018

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] Nonlinearity compensation of micro-mirror hard-spring by electrostatic combs2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Transducers 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H01267
  • [学会発表] Integrated Fluorescent Analysis System with Monolithic GaN Light Emitting Diode on Si Platform2012

    • 著者名/発表者名
      H. Nakazato, H. Kawaguchi, A. Iwabuchi, K. Hane
    • 学会等名
      IEEE MEMS 2012
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2012-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Integrated Fluorescent Analysis System with Monolithic GaN Light Emitting Diode on Si Platform2012

    • 著者名/発表者名
      H.Nakazato, H.Kawaguchi, A.Iwabuchi, K.Hane
    • 学会等名
      MEMS 2012
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2012-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Compound switch consisting of gap-variable silicon nanowire waveguide couplers2012

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      17th Opto-Electronics and Communicaiotns Conference
    • 発表場所
      Korea, Busan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [学会発表] 水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減2011

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕一、金森義明、羽根一博
    • 学会等名
      平成23年度電気学会E部門(センサ・マイクロマシン部門)総合研究会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2011-06-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] GaN comb-drive actuators on Si substrate2011

    • 著者名/発表者名
      T. Tanae, H. Sameshima, K. Hane
    • 学会等名
      The 16th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, M3P
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2011-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices2011

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, Y.Kanamori
    • 学会等名
      International Conference on Micro/Nano Optical Engineering (ICOME 2011)
    • 発表場所
      Changchun, China(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Integration of MEMS actuators with nanophotonics : silicon submicron-wide waveguides for optical path changes2011

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, Y.Kanamori
    • 学会等名
      The16th Opto-Electronics and Communication Conferences (OECC2911)
    • 発表場所
      Kaohsiung, Taiwan(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices2011

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, Y.Kanamori
    • 学会等名
      International Conference on Micro/Nano Optical Engineering (ICOME 2011)
    • 発表場所
      Changchun, China(Invited)
    • 年月日
      2011-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Comb-drive III-nitride micro mirror fabricated by fast atom beam etching2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. Hu, K. Hane
    • 学会等名
      The 16th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, M3P
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2011-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] GaN Comb-Drive Actuators on Si Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      T.Tanae, H.Sameshima, K.Hane
    • 学会等名
      Transducers '11
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2011-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] 高温真空アニールによるSi深掘りエッチング面の平滑化と雰囲気ガスの影響2011

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕一、金森義明、羽根一博
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Integration of MEMS actuators with nanophotonics : silicon submicron-wide waveguides for optical path changes2011

    • 著者名/発表者名
      K. Hane and Y. Kanamori
    • 学会等名
      The16th Opt-Electron. Communi. Conf.(OECC2911)
    • 発表場所
      Kaohsiung, Taiwan
    • 年月日
      2011-07-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices2011

    • 著者名/発表者名
      K. Hane and Y. Kanamori
    • 学会等名
      Int. Conf. Micro/Nano Opt. Eng.(ICOME2011)
    • 発表場所
      Changchun, China
    • 年月日
      2011-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Integration of MEMS actuators with nanophotonics : silicon submicron-wide waveguides for optical path changes2011

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, Y.Kanamori
    • 学会等名
      The16th Opto-Electronics and Communication Conferences (OECC2911)
    • 発表場所
      Kaohsiung, Taiwan(Invited)
    • 年月日
      2011-07-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] GaN pitch-variable grating fabricated on Si substrate2010

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using micro electro-mechanical phase-shifter2010

    • 著者名/発表者名
      T. Ikeda, Y. Kanamori, and K. Hane
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2010
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-08-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using micro electro-mechanical phase-shifter2010

    • 著者名/発表者名
      Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-08-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using microelectro-mechanical phase-shifter2010

    • 著者名/発表者名
      T.Ikeda, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2010
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-08-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] 可動シリコンマイクロリング共振器を用いた波長選択アドドロップスイッチの特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      高橋一法、金森義明、國分泰雄、羽根一博
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] GaN pitch-variable grating fabricated on Si substrate2010

    • 著者名/発表者名
      H. Sameshima, T. Tanae, K. Hane
    • 学会等名
      Proc. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2010-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] 可動シリコンマイクロリング共振器を用いた波長選択アドドロップスイッチの特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      高橋一法, 金森義明, 國分泰雄, 羽根一博
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Fabrication of antireflective subwavelength gratings on the end faces of single mode optical fibers using UV nanoimprint lithography2010

    • 著者名/発表者名
      Masaaki Okochi, Yoshiaki Kanamori, and Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      2010 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      小倉
    • 年月日
      2010-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Nanoscale epitaxial growth of GaN on freestanding circular GaN graitng2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, F. Hu, K. Hane
    • 学会等名
      Proc. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2010-08-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作2009

    • 著者名/発表者名
      金森義明、灰田周平、羽根一博
    • 学会等名
      26th Sensor Symposium on Sensors、Micromachines and Applied Systems
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Monolithically integration of GaN light-emitting diode and Si substrate with AlN/GaN superlattice and interlayer2009

    • 著者名/発表者名
      F. Hu, M. Wakui, H. Sameshima, R. Ito, K. Hane
    • 学会等名
      2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conf. Micromechatronics for Information and Precision Equipment
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2009-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Kanamori, S. Haida, and K. Hane
    • 学会等名
      2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] GaN-LED grown on Si substrate by MBE/MOCVD and monolithic fabrication of a light distribution variable device2009

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, R. Ito, H. Sameshima, F. Hu, K. Hane
    • 学会等名
      The 15th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Denver U. S. A.
    • 年月日
      2009-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Spherical silicon micro-mirrors bent by anodic bonding2009

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Yamazaki, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Int.Conference on Optical MEMS and Nano-Photonics
    • 発表場所
      Clearwater, USA.
    • 年月日
      2009-08-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching2009

    • 著者名/発表者名
      MINORU SASAKI, SHINYA KUMAGAI, KAZUHIRO HANE
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] サブ波長反射防止構造が埋め込まれた反射率可変導波共鳴MEMSフィルタ2009

    • 著者名/発表者名
      金森義明、灰田周平、羽根一博
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] Connection characteristics of silicon nanowire waveguides and fabrication of physical contact switches2009

    • 著者名/発表者名
      Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      IEEE 15th Int.Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microssytems
    • 発表場所
      Denver, USA.
    • 年月日
      2009-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作2009

    • 著者名/発表者名
      金森義明, 灰田周平, 羽根一博
    • 学会等名
      26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] GaN-LED grown on Si substrate by MBE/MOCVD and monolithic fabrication of a light distribution variable device2009

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, R. Ito, H. Sameshima, F. Hu, K. Hane
    • 学会等名
      The 15th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Denver, U. S. A
    • 年月日
      2009-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] サブ波長反射防止構造が埋め込まれた反射率可変導波共鳴MEMSフィルタ2009

    • 著者名/発表者名
      金森義明, 灰田周平, 羽根一博
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656087
  • [学会発表] GaN-LED grown on Si substrate by MBE/MOCVD and monolithic fabrication of a light distribution variable device2009

    • 著者名/発表者名
      羽根一博
    • 学会等名
      The 15th International Conference Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Denver, U.S.A.
    • 年月日
      2009-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, K. Hane, D. Briand, W. Noell, N. de Rooij
    • 学会等名
      Proceedings of The 15th International Display Workshops, MEMS3-4
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 年月日
      2008-12-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2008

    • 著者名/発表者名
      Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tsukuba
    • 発表場所
      Tukuba, Japan
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Silicon substrate with antireflection subwavelength gratings for optical communication devices fabricated with nano-particle masks2008

    • 著者名/発表者名
      S.Haida, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      21th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2008-10-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Silicon Self-Suspended Resonant Grating Filters at Telecommunication Wavelength2008

    • 著者名/発表者名
      J.Ye, N.Matsuyama, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      CLEO 2008
    • 発表場所
      San Jose, U.S.A
    • 年月日
      2008-05-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Monolithic fabrication of GaN LEDs on Si wafer and GaN membrane structure for cooling system2008

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 学会等名
      Proc. Pwer MEMS
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2008-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Hideo Miura, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      Makuhari, Japan
    • 年月日
      2008-04-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Silicon microring resonator connected with submicron comb actuator2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hane
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Freibrug, Germany
    • 年月日
      2008-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control2008

    • 著者名/発表者名
      Takuro Aonuma, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 7th International Conference on Machine Automation
    • 発表場所
      Awaji, Japan
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, K.Takahashi, K.Hane
    • 学会等名
      21th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2008-10-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Monolithic fabrication of GaN LEDs on Si wafer and GaN membrane structure for cooling system2008

    • 著者名/発表者名
      M. Wakui, F. Hu, H. Sameshima, K. Hane
    • 学会等名
      Proc. Power MEMS 2008+ microEMS2008
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2008-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, S. Kumagai, K. Hane
    • 学会等名
      2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session : SA-2 : Actuators
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2008-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] 対になったテーブルを走査する静電駆動型大変位マイクロXYステージ2007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 坊野史典, 羽根一博
    • 学会等名
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム・講演論文集B146, pp.124-125
    • 発表場所
      早稲田
    • 年月日
      2007-05-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] "DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR", Digest of Technical Papers of Transducers' 072007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Lyon, France
    • 年月日
      2007-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, MC3
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-4, pp.92-93
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, K.Hane
    • 学会等名
      The 14th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Lyon France
    • 年月日
      2007-06-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelength2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, N.Matsuyama, J.-S.Ye, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Passivated Piezo-resistive Rotation Angle SensorIntegrated in Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, and Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007,International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, ThB2
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      Okinawa, Japan
    • 年月日
      2007-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proc. of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, ThB2, pp.193-194
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, T.Sasaki, K.Hane, H.Miura
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] 「対になったテーブルを走査する静電駆動型大変位マイクロXY ステージ」B1462007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,坊野史典,羽根一博
    • 学会等名
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Subwavelength gratings combined with MEMS2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, J.-S.Ye, Y.Kanamori
    • 学会等名
      The 14th Int. Display Workshops
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2007-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, pp.49-52
    • 発表場所
      Okinawa, Japan
    • 年月日
      2007-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Performance of tense thin film torsion bar for large-rotation and low-voltage driving of micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 学会等名
      2007 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-2, pp.88-89
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Passivated piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Mechanical-contact-based submicron- Si- waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths2007

    • 著者名/発表者名
      E.Bulgan, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs, Hualien
    • 発表場所
      Taiwan
    • 年月日
      2007-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Tunable optical filters with a nanostructured suspended grating2007

    • 著者名/発表者名
      J.-S.Ye, Y.Kanamori, F.-R.Hu, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Nanoscience and Technology
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2007-06-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of 2007 IEEE/LEOS Annual Meeting Conference, ThC2
    • 発表場所
      Florida, USA
    • 年月日
      2007-10-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Subwavelength gratings combined with MEMS2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hane
    • 学会等名
      The 14th International Display Workshops
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2007-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of 2007 IEEE LEOS Annual Meeting Conference, ThC2, pp.709-710.
    • 発表場所
      Lake Buena Vista, Florida, USA
    • 年月日
      2007-10-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electronic actuators2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kobayashi, K.Hane
    • 学会等名
      2007 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2007-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Fiber-Bragg gratuned by micro-heater array2006

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Optics-photonics Design and Fabrication
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2006-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Tunable optical filters by using self-suspended subwavelength gratings2006

    • 著者名/発表者名
      J.-S.Ye, Y.Kanamori, F.-R.Hu, K.Hane
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Optics-photonics Design and Fabrication
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2006-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Movable guided-mode resonant grating filters by four bimorph actuators for wavelength selective dynamic reflection control2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, T.Kitani, K.Hane
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMs and Their Application
    • 発表場所
      Big Sky, U.S.A
    • 年月日
      2006-08-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Optical MEMS and NEMS : Thin film micro/nano machining and integration2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 学会等名
      The 49th Society of Vacuum Coaters Tech. Conf
    • 発表場所
      Washington, DC, U.S.A
    • 年月日
      2006-04-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Silicon microring resonator connected with submicron comb actuator2006

    • 著者名/発表者名
      K.Takahashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Freibrug, Germany
    • 年月日
      2006-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Photonic structure and materials combined with micro/nano-electro-mechanical systems2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, F.-R.Hu, Y.Kanamori
    • 学会等名
      The 1st Int. Workshop on Functional Materials and The 3rd Int. Workshop on Nanophysics and nanotechnology
    • 発表場所
      Halong, Vietnum
    • 年月日
      2006-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] MENS for subwavelength optics2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hane
    • 学会等名
      The 6th US-Japan Joint Symposium on Nano systems
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2006-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] A surface emitting solid polymer dye laser using a guided mode resonant grating for bio-optical detections2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kobayashi, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMs and Their Application
    • 発表場所
      Oulu, Finland
    • 年月日
      2005-08-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga and K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 年月日
      2005-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Micro/nano opt-mechanical systems using silicon micromachining technology2005

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, M.Sasaki, Y.Kanamori, F.R.Hu
    • 学会等名
      Nanoengineering Symposium 2005
    • 発表場所
      Daeon, Korea
    • 年月日
      2005-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Performance of tense thin film torsion bar for large-rotation and low-voltage driving of micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuuki, K.Hane
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMs and Their Application
    • 発表場所
      Oulu, Finland
    • 年月日
      2005-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Compound switch consisting of gap-variable silicon nanowire waveguide couplers

    • 著者名/発表者名
      Y.Akihama, Y.Munemasa, Y.Kanamori, K.Hane
    • 学会等名
      17th Opto-Electronics and Communication Conf. (OECC2012)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Optical Micro-Electro-Mechanical Systems; Silicon-based integration for Opto-mechatronics

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      2013 International Symposium on Optomechatronic Technologies
    • 発表場所
      Korea, Cheju Island
    • 年月日
      2013-10-28 – 2013-10-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246019
  • [学会発表] シリコン導波路とMEMSアクチュエータの組み合わせによる光路制御 -;波長選択スイッチのためのMEMS可変マイクロリング-

    • 著者名/発表者名
      羽根 一博, ホアンマン チュ
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      東京(機械振興会館)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • 1.  佐々木 実 (70282100)
    共同の研究課題数: 16件
    共同の研究成果数: 76件
  • 2.  稲葉 成基 (30110183)
    共同の研究課題数: 13件
    共同の研究成果数: 8件
  • 3.  金森 義明 (10333858)
    共同の研究課題数: 11件
    共同の研究成果数: 77件
  • 4.  江刺 正喜 (20108468)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  小柳 光正 (60205531)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  熊崎 裕教 (70270262)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 6件
  • 7.  小野 崇人 (90282095)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  寒川 誠二 (30323108)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  熊谷 慎也 (70333888)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 5件
  • 10.  栗野 浩之 (70282093)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  南 和幸 (00229759)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  森 敏彦 (90023340)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  新美 智秀 (70164522)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  大橋 俊朗 (30270812)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  大熊 繁 (40111827)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  佐々木 敬 (60633394)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 18件
  • 17.  宮川 宣明
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  胡 芳仁 (50396545)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 53件
  • 19.  田中 徹 (40417382)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  松室 昭仁 (80173889)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  中本 剛 (30198262)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  久保田 智広 (70322683)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  三浦 英生 (90361112)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 11件
  • 24.  福島 誉史 (10374969)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  中村 維男 (80005454)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  田中 秀治 (00312611)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  梅田 倫弘 (60111803)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  奥田 健一 (10214058)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  高橋 ひとみ
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  裴 艶麗 (70451622)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  清山 浩司 (60412722)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  森田 慎三 (00076548)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  服部 秀三 (10023003)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  内山 晋 (40023022)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  岩田 聡 (60151742)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  綱島 滋 (80023323)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  鈴木 達也 (50235967)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  倉林 徹 (90195537)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  芳賀 洋一 (00282096)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 40.  佐藤 正明 (30111371)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 41.  松本 健郎 (30209639)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 42.  坂元 尚哉 (20361115)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 43.  出口 真次 (30379713)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 44.  近藤 道雄 (30195911)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 45.  後藤 俊夫 (50023255)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 46.  河田 聡 (30144439)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 47.  堀 裕和 (10165574)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 48.  柳田 敏雄 (30089883)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 49.  川勝 英樹 (30224728)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 50.  入江 正浩 (30001986)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 51.  伊藤 昌文 (10232472)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 52.  朝倉 利光 (70001188)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 53.  浮田 宏生 (00278491)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 54.  潮田 資勝 (90176652)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 55.  松田 文夫 (60109303)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 56.  柳 基鎬 (20270811)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 57.  朴 起台 (50312608)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 58.  沈 正七 (00333849)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 59.  河野 明広 (40093025)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 60.  桜井 正俊
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 61.  塚本 頴彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 62.  家城 淳
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 63.  別所 芳則
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 64.  AKIHIRO Kono
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 65.  Neelam Kaushik
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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