渡辺征夫 WATANABE Yukio

研究者番号	80037902
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2006年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 名誉教授 2004年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス部門, 教授 2003年度 – 2004年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 教授 2002年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 2000年度: 九州大学, システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 教授 … もっと見る 2000年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 1999年度 – 2000年度: 九州大学, システム情報科学研究科, 教授 1998年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究科, 教授 1996年度 – 1998年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 教授 1996年度: 九州大学, システム情報科学研究科, 教授 1994年度 – 1996年度: 九州大学, 工学部, 教授 1987年度 – 1992年度: 九州大学, 工学部, 教授 1986年度: 九州大学, 工, 教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者応用物理学一般 / 電力工学 / 電子・電気材料工学 / プラズマ理工学 / 応用物理学一般 / プラズマ科学研究代表者以外薄膜・表面界面物性 / 表面界面物性 / プラズマ理工学 / 応用物理学一般
キーワード	研究代表者シランプラズマ / アモルファスシリコン / 微粒子 / ダスト / silane plasma / 凝集 / 水素化アモルファスシリコン / プラズマCVD / 水素希釈 / 光劣化 … もっと見る / 微細構造パラメータ / amorphous silicon / cluster / dust / 高周波放電 / パーティクル / シリコン / 光電子放出 / 光電離 / クラスター / レーザ散乱法 / プラズマプロセス / 変調高周波放電法 / ラジカル / ミ-散乱 / ラジカル種の寿命 / 矩形波振幅変調高周波放電 / laser interferometry / arc / electrode boudary layer / MHD power generation / 温度測定 / レーザ干渉法 / アーク / 電極境界層 / MHD発電 / higher order silane / multi-hollow discharge / cluster eliminating filter / light induced degradation / thin film solar cell / silicon particle / clustering reaction control in plasma CVD / ショットキセル / 太陽電池 / Si-H_2結合 / Si-H結合 / 高次シラン / マルチホロー電極 / クラスタ除去フィルタ / 薄膜太陽電池 / シリコン微粒子 / クラスタ抑制プラズマCVD法 / fill factor / microstructure parameter / pulse discharges / gas viscous force / thermophoretic force / a-Si : H / 核形成 / 変調放電法 / Siクラスタ / 曲線因子 / パルス放電 / ガス粘性力 / 熱泳動力 / クラスタ / photo-detachment / photo-ionization / photoemission / particle / サブナノ微粒子 / 光脱離 / アモルファスシロコン / 光電子脱離 / plasma CVD / coagulation / high frequency plasma / discharge frequency dependence / particles / VHFプラズマ / 放電周波数 / 高周波プラズマ / 放電周波数依存性 / LASER SCATTERING METHOD / DUSTY PLASMA / RF DISCHARGE / AMORPHOUS SILICON / PARTICLE / POWDER / PARTICULATE / SILANE PLASMA / 負イオン / rf放電 / 散乱比法 / 水素化アモルファシスシリコン / 微粒子プラズマ / パウダー / シランガス / アモルファスシリコン膜 / 自己組織化 / 収率 / スパッタリング / カーボン微粒子 / ナノ構造制御 / プラズマスパッタリング / 結晶シリコンナノ微粒子 / 微重力 / 微結晶 / 超分子 / プラスマCVD / Si微粒子 / 走査型電子顕微鏡 / レーザ偏光散乱法 / プラズマCVD法 / 帯電凝集 / 反応制御 / 変調RF放電 / RF放電 / シラン … もっと見る研究代表者以外 LSI / Sputtering / Plasma CVD / 埋め込み形状 / スパッタリング / プラズマCVD / 銅配線 / プラズマ / Inductive coupled plasma / Nano-structure / Ion-assisted CVD / Anisotropic deposition / Copper interconnects / 異法性製膜 / ルテニウム / 誘導結合型放電 / ナノ構造 / イオンアシスト製膜 / 異方性製膜 / Deposition Profile in Trench / Monte-Carlo Simulation / Ion-Assisted Deposition / Anisotropic Deposition / Cu Interconnects / イオン照射 / 水素原子 / モンテカルロシミュレーション / イオンアシスト成膜 / 異方性成膜 / Plasma Science / 核融合 / 地球・宇宙環境 / 材料プロセス / プラズマ科学 / ION / PROCESS / SPECTROSCOPY / MODELING / PARTICLES / LASER / PLASMA / FREE RADICAL / シリコン / イオン / プロセス / 分光 / モデリング / 微粒子 / レーザー / フリーラジカル / 電離不安定 / レーザ計測 / MHDアーク / 石炭スラグ / 燃焼ガスプラズマ / MHD発電 / プラズマ素子 / マイクロ材料プロセス / マイクロ化学分析 / プラズマ-表面相互作用 / ミクロ反応場 / 生成・診断・制御法 / マイクロプラズマ隠す

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  九州大学
微重力反応性プラズマ中の微粒子成長研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
超高効率太陽電池のためのクラスタ反応制御プラズマCVD研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  九州大学
LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD
- 研究代表者
  
  白谷正治
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  九州大学
プラズマを用いたミクロ反応場の創成と応用の新展開に関する総合的研究
- 研究代表者
  
  橘邦英
- 研究期間 (年度)
  2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  京都大学
シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  九州大学
シリコン系超分子の作製と構造抑制に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  九州大学
プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  九州大学
シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  九州大学
プラズマ科学の基盤充実に関する総合的研究
- 研究代表者
  
  佐藤徳芳
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  東北大学
高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  九州大学
シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  九州大学
プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1992
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  九州大学
高周波電圧矩形波変調法によるシランプラズマの反応制御研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  九州大学
パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  九州大学
パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  九州大学
レザーを用いたMHD発電電極境界層アーク現象に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  渡辺征夫
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1988
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電力工学
- 研究機関
  九州大学
高温熱エネルギーによる直接発電
- 研究代表者
  
  赤崎正則
- 研究期間 (年度)
  1986
- 研究種目
  
  エネルギー特別研究(エネルギー)
- 研究機関
  九州大学

すべて 2006 2005 2004

すべて雑誌論文図書産業財産権

[図書] 「プラズマの生成と診断-応用への道-」7.2節ダストプラズマ2004
- 著者名/発表者名
  渡辺征夫
- 出版者
  コロナ社
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingen
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Substrate temperature dependence of deposition rate in anisotropic plasma CVD of Cu2006
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingen
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 506-507
  
  ページ: 197-201
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Plasma anisotropic CVD of high purity Cu using Cu(hfac)_22006
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Wtanabe, Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 119-120
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu (EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
- 著者名/発表者名
  K.Takenaka, K.Koga, M.Shiratani, Y.Watanabe, T.Shingen
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 506-507
  
  ページ: 197-201
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Plasma anisotropic CVD of high purity Cu using Cu(hfac)_22005
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Watanabe, Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Proc.of the 6 th International Conference on Reactive Plasmas and 23 rd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 119-120
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Effects of ion irradiation on plasma anisotropic CVD2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources
  
  ページ: 75-78
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges2005
- 著者名/発表者名
  Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges2005
- 著者名/発表者名
  Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in oress)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15654082
[雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingenn
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Measruement of H density in Cu CVD discharges using VUV absorption spectroscopy2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proc.of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 639-640
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Evaluation of contribution of higher-order silane radicals in silane discharges to Si-H_2 bond formation in a-Si:H films2005
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources (in press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Control of deposition profile of Cu for LSI interconnects by plasma chemical vapor deposition2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Manabu Takeshita, Makoto Kita, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Pure Appl.Chem. 77, 2
  
  ページ: 391-398
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Deposition of highly stable a-Si : H films using cluster-eliminating filter2005
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 157-158
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Deposition of highly stable a-Si:H films using cluster-eliminating filter2005
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 157-158
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Production of Crystalline Si Nano-particles Using Pulse VHF discharges and Their Stability2005
- 著者名/発表者名
  Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 643-644
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Nano-particle formation due to interaction between H_2 plasma and carbon wall2005
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Yasuhiro Kitamura, Masaharu SHiratani, Yukio Watanabe, Akio Komori
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15654082
[雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharge2005
- 著者名/発表者名
  Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Control of deposition profile of Cu for LSI interconnects by plasma chemical vapor deposition2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Manabu Takeshita, Makoto Kita, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Pure Appl. Chem. 77
  
  ページ: 391-398
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Deposition of highly stable a Si:H films using cluster-eliminating filter2005
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 157-158
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Measruement of H density in Cu CVD discharges using VUV absorption spectroscopy2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proc. of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 639-640
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Species responsible for Si-H_2 bond formation in a-Si:H films deposited using silane high frequency discharges2005
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films (in press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Effects of sputtering due to ion irradiation on plasma anisotoropiv CVD of Cu2005
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources
  
  ページ: 75-78
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Study on ion irradiation effects on plasma anisotropic Cu CVD using triode discharge2005
- 著者名/発表者名
  Takao Kaji, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proc.of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 641-642
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Productin of Crystalline Si Nano-particles Using Pulse VHF discharges and Their Stability2005
- 著者名/発表者名
  Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 643-644
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Study on ion irradiation effects on plasma anisotropic Cu CVD using triode discharge2005
- 著者名/発表者名
  Takao Kaji, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proc. of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  ページ: 391-398
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films2004
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A 22・4
  
  ページ: 1536-1539
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si : H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films2004
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A 22-4
  
  ページ: 1536-1539
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Dissociative ionization of Cu(EDMDD)_2 by electron impact2004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology
  
  ページ: 171-172
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD2004
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology
  
  ページ: 33-34
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Makoto Kita, Toshio Kinoshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A 22, 4
  
  ページ: 1903-1907
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
- 著者名/発表者名
  K.Takenaka, M.Kita, T.Kinoshita, K.Koga, M.Shiratani, Y.Watanabe
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A 22・4
  
  ページ: 1903-1907
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Makoto Kita, Toshio Kinoshita, hazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A 22
  
  ページ: 1903-1907
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD2004
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International COR Forum on Plasma Science and Technology
  
  ページ: 33-34
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Evaluation of contribution of higher-order silane radicals in silane discharges to Si-H_2 bond formation in a-Si:H films2004
- 著者名/発表者名
  Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047
[雑誌論文] Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions2004
- 著者名/発表者名
  Masaharu Shiratani, T.Kakeya, K.Koga, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15654082
[雑誌論文] Dissociative ionization of Cu(EDMDD)_2 by electron impact2004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International COR Forum on Plasma Science and Technology
  
  ページ: 171-172
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Effects of solvent on properties of Cu films prepared by HAPCVD using Cu (EDMDD)_22004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of 26th International Symposium on Dry Process
  
  ページ: 347-352
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Effects of solvent on properties of Cu films prepared by HAPCVD using Cu(EDMDD)_22004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of 26th International Symposium on Dry Process
  
  ページ: 347-352
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[雑誌論文] Effects of ion irradiation on plasma anisotropic CVD2004
- 著者名/発表者名
  Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Adbanced Electromagnetic Energy Sources (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360020
[産業財産権] クラスタフリーアモルファスシリコン膜とそれを製造する方法及び装置2004
- 発明者名
  渡辺征夫, 白谷正治, 古閑一憲
- 権利者名
  九州大学
- 産業財産権番号
  2004-244333
- 出願年月日
  2004-08-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205047

1. 白谷正治 (90206293)

共同の研究課題数: 12件

共同の研究成果数: 40件
2. 福澤剛 (70243904)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
3. 古閑一憲 (90315127)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 40件
4. 川崎仁晴 (10253494)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
5. 橘邦英 (40027925)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 村岡克紀 (80038546)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 小城左臣 (80108654)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 後藤俊夫 (50023255)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 真壁利明 (60095651)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 菅井秀郎 (40005517)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 佐藤徳芳 (40005252)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 犬竹正明 (90023738)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 加藤義章 (30093397)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 佐藤哲也 (80025395)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 天岸祥光 (10042409)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 益田光治 (40038097)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 池上知顕 (20136518)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 寺嶋和夫 (30176911)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 石井彰三 (40016655)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 矢部孝 (60016665)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 赤崎正則 (30037676)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 粥川尚之 (50001780)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 原武久 (20026214)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. 佐賀井武 (70008423)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 大竹一友 (80016427)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 中島寛 (70172301)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

渡辺 征夫 WATANABE Yukio

研究課題

研究成果

共同研究者

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

微重力反応性プラズマ中の微粒子成長研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超高効率太陽電池のためのクラスタ反応制御プラズマCVD研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマを用いたミクロ反応場の創成と応用の新展開に関する総合的研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シリコン系超分子の作製と構造抑制に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

プラズマ科学の基盤充実に関する総合的研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明研究代表者

渡辺征夫 WATANABE Yukio