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節原 裕一  Setsuhara Yuichi

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

節原 祐一  セツハラ ユウイチ

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研究者番号 80236108
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2024年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 教授
2011年度 – 2019年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 教授
2009年度: 大阪大学, 接合科学研究科, 教授
2008年度: 大阪大学, 接合科学研究所接合科学研究所, 教授
2004年度 – 2008年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 教授 … もっと見る
2001年度 – 2003年度: 京都大学, 大学院・工学研究科, 助教授
2001年度 – 2003年度: 京都大学, 工学研究科, 助教授
1996年度 – 2000年度: 大阪大学, 接合科学研究所, 助手
1995年度: 大阪大学, 溶接工学研究所, 助手
1992年度: 大阪大学, 溶接工学研究所, 助手
1991年度: 大阪大学, 溶接・工学研究所, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
材料加工・処理 / プラズマ理工学 / 複合材料・表界面工学 / 理工系 / 小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 材料加工・処理 / 理工系 / プラズマ科学 / 表面界面物性
研究代表者以外
材料加工・処理 … もっと見る / プラズマ理工学 / 航空宇宙工学 / 材料加工・組織制御工学 / 溶接工学 / 理工系 / 材料加工・処理 / 理工系 隠す
キーワード
研究代表者
プラズマ加工 / フォノン励起 / 酸化物半導体 / 内部アンテナ / 誘導結合プラズマ / 低温プロセス / 反応性プラズマ / 超短パルスレーザー照射 / 半導体活性化プロセス / ナノ表面改質 … もっと見る / 大容積プラズマ / 低インダクタンス / 反応性高密度プラズマ / 活性化反応場 / プラズマ制御 / plasma surface process / non-equilibrium process / ultra-short pulse laser / phonon excitation / ultra-shallow junction / ミリ波照射 / 非平衡プラズマ照射 / プラズマ処理 / 非平衡プロセス / 超短パルスレーザー / 半導体極浅接合 / plasma-based ion implantation / large-volume plasma source / low inductance antenna / internal antenna / inductively coupled plasmas / プラズマイオン注入プロセス / Superhard nitride / Reactive high-density plasma / Highly reactive field / Helicon plasma / 超硬質窒化物 / ヘリコン波プラズマ / 高速製膜 / 反応性制御 / 反応性プラズマPVD製膜プロセス / 低侵襲治療 / 生体分子 / 医療・福祉 / プラズマ生成・制御 / プラズマ医療 / 無機/有機積層 / 無機/有機界面 / 無機/有機積層 / 無機/有機界面 / 低温形成 / 半導体薄膜 / 反応性製膜 / 低損傷プロセス / フナノン励紀 / 高周波プラズマ / 粒子改質 / 液中プラズマ / 内部アンテナ型誘導結合プラズマ / 製膜プロセス / 酸化物ナノ粒子 / ナノコンポジット / コヒーレントフォノン / 活性化 / 極浅半導体接合 / 立方晶窒化ホウ素 / 窒化炭素 / 超硬質薄膜 / 金属原子混合プラズマ / ヘリコン波励起プラズマ … もっと見る
研究代表者以外
PVD / 高密度プラズマ / イオンビーム / TiSiN / TiCuN / high density plasma / 超硬質薄膜 / cBN / Ion Beam / アルミナ / プラズマ医療科学 / プラズマ / MEMS / 半導体マイクロ波素子 / マイクロ波励起プラズマ / プラズマスラスター / プラズマ遺伝子導入 / プラズマ遺伝子注入 / プラズマ止血 / プラズマがん治療 / 透明導電膜 / 大気圧非平衡プラズマ / ミストCVD / 酸化亜鉛 / Chemical Vapor Deposition / Etching / High-Density Plasma / Feature Profile Evolution / Surface Reaction / Particle Transport / Microstructure / Plasma Processing / 化学気相堆積 / エッチング / 加工形状進展 / 表面反応過程 / 粒子輸送過程 / 超微細構造 / プラズマプロセス / ion bombardment / inductively coupled plsasma / nanocomposite film / スパッタリング / 窒化物薄膜 / ナノコンポジット / イオン照射 / 誘導結合型プラズマ / ナノコンポジット薄膜 / selective heating / sintering aids / aluminum nitride / silicon nitride / nitride / sintering / millimeter-wave / 誘電特性 / 選択加熱 / 助剤 / 窒化アルミ / 窒化珪素 / 窒化物 / 焼結 / ミリ波 / Kapton / Polyimide / Thermal Control Material / Ion Sheath / Plasma Contactor / Electric Charging / Simulation Experiment / Space Environment / 相似則 / ポリイミドフィルム / 太陽電池パネル / 酸素プラズマ / 宇宙材料 / シミュレーション実験 / カプトン / ポリイミド / 熱制御材料 / イオンシース / プラズマ中和器 / 帯電 / シュミレーション実験 / 宇宙環境 / carbon nitride film / helicon wave / thin film / super-hard material / 真空アークプラズマ / ヘリコン波励起プラズマ / カーボン薄膜 / 真空アーク / 薄膜合成 / 窒化炭素薄膜 / ヘリコン波 / 薄膜 / Functional Gdadient / Adhesion / Intrefacial Control / Ion Beam Assisted Deposition / 傾斜機能 / 密着性 / 界面制御 / イオンビーム支援蒸着 / Functional Gradation / Materials Hybridization / Heterogeneous Materials Joining / Ceramics Sintering / Functional Materials / Electromagnetic Energy / 傾斜構造化 / 複合化 / 異材接合 / セラミックス焼結 / 機能材料 / 電磁エネルギー / Ion-Induced Crystallization / Alumina / Titania / Oxide / Surface Modification / Dynamic Mixing / 酸化チタン / イオンビ-ムスパッタリング / 酸化物薄膜 / イオンビ-ム / ルチル構造 / イオン誘起結晶化 / チタニア / 酸化物 / 表面改質 / ダイナミックミキシング / プラズマ診断 / ラジカル計測 / がん細胞 / バイオ / 医療 / 大気圧プラズマ / システムバイオロジー / ラジカル / 安全安心 / がん治療 / 再生医療 / 遺伝子導入 / 止血 / 医工連携 / 活性酸素種 / 人工脂質二重膜 / 創傷治癒 / 抗腫瘍効果 / プラズマ活性点滴 / プラズマ活性培養液 / プラズマ医療 / 非鉄材料 / 組織 / 接合機構 / 環境 / 鉄 / ハイブリッド / ツール / 摩擦攪拌接合 / 超音速流れ / 軸対称表面波励起プラズマ / マイクロノズル / マイクロプラズマ / 超小型プラズマスラスター / 超小型電気推進 / 表面波励起プラズマ / 電気推進 隠す
  • 研究課題

    (30件)
  • 研究成果

    (311件)
  • 共同研究者

    (44人)
  •  高密度プラズマ支援製膜によるナノ構造制御次世代酸化物半導体薄膜低温形成法の創成研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ医療科学創成の総括とその破壊的イノベーションへの展開

    • 研究代表者
      堀 勝
    • 研究期間 (年度)
      2017
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  次世代酸化物半導体デバイス低温大面積形成のためのプラズマ反応性高度制御法の創成研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  反応性製膜プロセスの高効率超高速化に向けた新しい原子層堆積プラズマPVD法の創成研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  大気圧非平衡プラズマを用いた表面ナノ構造を制御した酸化亜鉛薄膜形成技術の開発

    • 研究代表者
      竹中 弘祐
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ医療科学創成に関する総括研究

    • 研究代表者
      堀 勝
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2016
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  高度時空間制御による生体適合放電生成の基盤確立と革新的医療プラズマ源の創成研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2016
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高密度プラズマ反応制御による酸化物半導体薄膜の低温高品質形成法の開発と膜特性評価研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマー無機/有機ナノ表界面の複合反応解明による新しい機能制御積層技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超短パルスレーザー誘起断熱励起過程による次世代半導体ナノ表面の非熱的改質プロセス研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フォノン励起型非熱的ナノ表面改質による次世代半導体活性化プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高周波誘導結合による新しい液中プラズマ生成法の開発と粒子処理プロセスの開拓研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  複合ツールを用いたハイブリッド摩擦攪拌接合による鉄系材料の低環境負荷接合機構解明

    • 研究代表者
      中田 一博
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  マイクロプラズマスラスターの研究開発

    • 研究代表者
      斧 高一
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      京都大学
  •  気相成長ナノ粒子直接照射による酸化物ナノコンポジット機能材の低温高速成膜法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  極浅半導体接合創成のためのコヒーレントフォノン励起型アニールプロセスの解明・制御研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
      京都大学
  •  コヒーレントフォノン励起による極浅半導体接合の低温活性化に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      京都大学
  •  表面波励起プラズマを用いた超小型プラズマスラスターの研究開発

    • 研究代表者
      斧 高一
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      航空宇宙工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御

    • 研究代表者
      斧 高一
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      京都大学
  •  低インダクタンス型マルチ線状内部アンテナを用いた大容積RFプラズマ源の開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
      大阪大学
  •  高出力ミリ波帯電磁波を用いた次世代高機能セラミックス焼結・接合プロセスの開発

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ヘリコン波励起型反応性高密度金属原子混合プラズマの開発と超硬質薄膜合成への応用研究代表者

    • 研究代表者
      節原 裕一
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高密度プラズマPVDによる次世代超硬質窒化物薄膜合成

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  宇宙飛翔体周辺環境の地上シュミレーション法の開発研究と宇宙用材料の劣化試験

    • 研究代表者
      田原 弘一
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      航空宇宙工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  電磁加熱による機能材料プロセシングに関する研究

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      大阪大学
  •  イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      大阪大学
  •  イオンダイナミックミキシング法による機能性表面改質の研究

    • 研究代表者
      三宅 正司
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      溶接工学
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Stability and gap states of amorphous In-Ga-Zn-Ox thin film transistors: Impact of sputtering configuration and post-annealing on device performance2024

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Nunomura Shota、Hayashi Yuji、Komatsu Hibiki、Toko Susumu、Tampo Hitoshi、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 790 ページ: 140203-140203

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2024.140203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03374, KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [雑誌論文] Plasma processing technique by combination of plasma-assisted reactive sputtering and plasma annealing for uniform electrical characteristics of InGaZnO thin film transistors formed on large-area substrates2023

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Yoshitani Tomoki、Endo Masashi、Hirayama Hiroyuki、Toko Susumu、Uchida Giichiro、Ebe Akinori、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SI ページ: SI1005-SI1005

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acbd56

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [雑誌論文] Analysis of oxygen-based species introduced during plasma assisted reactive processing of a-IGZO films2023

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Hirayama Hiroyuki、Endo Masashi、Toko Susumu、Uchida Giichiro、Ebe Akinori、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SL ページ: SL1018-SL1018

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acdb7e

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [雑誌論文] Analysis of residual oxygen during a-IGZO thin film formation by plasma-assisted reactive sputtering using a stable isotope2023

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Endo Masashi、Hirayama Hiroyuki、Toko Susumu、Uchida Giichiro、Ebe Akinori、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 215 ページ: 112227-112227

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2023.112227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [雑誌論文] Effects of post-deposition plasma treatments on stability of amorphous InGaZnOx thin-film transistors prepared with plasma-assisted reactive magnetron sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SA ページ: SAAC03-SAAC03

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aaec18

    • NAID

      210000135226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Influence of sputtered atom flux on the electrical properties of a-IGZO films deposited by plasma-enhanced reactive sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Alloys and Compounds

      巻: 772 ページ: 642-649

    • DOI

      10.1016/j.jallcom.2018.09.143

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Low-temperature formation of high-mobility a-InGaZnOx films using plasma-enhanced reactive processes2019

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Endo Masashi、Hirayama Hiroyuki、Uchida Giichiro、Ebe Akinori、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: 9 ページ: 090605-090605

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab219c

    • NAID

      210000156015

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Selective production of ROS and RNS in the plasma treated water by using nonthermal low- and high-frequency plasma jets2018

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Jpn J Appl Phys

      巻: 57 号: 1 ページ: 0102B4-0102B4

    • DOI

      10.7567/jjap.57.0102b4

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-WRAPUP-17H06075, KAKENHI-PROJECT-17H02805
  • [雑誌論文] Fabrication of high-performance InGaZnOx thin film transistors based on control of oxidation using a low-temperature plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Endo Masashi、Uchida Giichiro、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 112 号: 15 ページ: 152103-152103

    • DOI

      10.1063/1.5011268

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Low-temperature formation of c-axis-oriented aluminum nitride thin films by plasma-assisted reactive pulsed-DC magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      Takenaka Kosuke、Satake Yoshikatsu、Uchida Giichiro、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 1S ページ: 01AD06-01AD06

    • DOI

      10.7567/jjap.57.01ad06

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Process controllability of inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition for the fabrication of a-InGaZnOx channel TFTs2016

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, K. Nakata, H. Otani, S. Osaki, G. Uchida, Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AA18-01AA18

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01aa18

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [雑誌論文] Effects of working pressure on the physical properties of a-InGaZnOx films formed using inductively-coupled plasma-enhanced reactive sputtering deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Keitaro Nakata, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe
    • 雑誌名

      EEE Transactions on Plasma Science

      巻: 44 号: 12 ページ: 3099-3106

    • DOI

      10.1109/tps.2016.2593458

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [雑誌論文] Effects of nonthermal plasma jet irradiation on the selective production of H2O2 and NO2- in liquid water2016

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka, T. Kawasaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 120 号: 20 ページ: 203302-203302

    • DOI

      10.1063/1.4968568

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-16H03895, KAKENHI-PROJECT-25820113
  • [雑誌論文] Control of reactive oxygen and nitrogen species production in liquid by nonthermal plasma jet with controlled surrounding gas2016

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, G. Uchida, A. Nakajima, K. Takenaka, Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 1S ページ: 01AC06-01AC06

    • DOI

      10.7567/jjap.56.01ac06

    • NAID

      210000147376

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Low-temperature atmospheric-pressure plasma sources for plasma medicine2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Archives of Biochemistry and Biophysics

      巻: 605 ページ: 3-10

    • DOI

      10.1016/j.abb.2016.04.009

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Influence of voltage pulse width on the discharge characteristics in an atmospheric dielectric-barrier-discharge plasma jet2016

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AH03-01AH03

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01ah03

    • NAID

      210000146000

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Low-temperature formation of amorphous InGaZnOx films with inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Hirofumi Otani, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 6S2 ページ: 06GC02-06GC02

    • DOI

      10.7567/jjap.54.06gc02

    • NAID

      210000145321

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [雑誌論文] Atmospheric-Pressure Gas-Breakdown Characteristics with a Radio-Frequency Voltage2015

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 15 号: 3 ページ: 2192-2196

    • DOI

      10.1166/jnn.2015.10233

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Low-temperature formation of a-IGZO films with inductively coupled plasma-enhanced reactive sputter deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Hirofumi Otani, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [雑誌論文] Atmospheric-Pressure Plasma Interaction with Soft Materials as Fundamental Processes in Plasma Medicine2015

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 15 号: 3 ページ: 2115-2119

    • DOI

      10.1166/jnn.2015.10229

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Influence of He Gas Flow Rate on Optical Emission Characteristics in Atmospheric-Dielectric Plasma Jet2015

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 43 号: 3 ページ: 734-744

    • DOI

      10.1109/tps.2014.2387064

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Dynamic Properties of Helium Atmospheric Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet2015

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 15 号: 3 ページ: 2324-2329

    • DOI

      10.1166/jnn.2015.10232

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Gas Flow Rate Dependence of the Discharge Characteristics of a Plasma Jet Impinging Onto the Liquid Surface2015

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 43 号: 12 ページ: 4081-4087

    • DOI

      10.1109/tps.2015.2488619

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-24340143
  • [雑誌論文] Plasma Interaction with Organic Molecules in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine2015

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki, H. Abe, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 15 号: 3 ページ: 2120-2124

    • DOI

      10.1166/jnn.2015.10230

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Analysis of Dynamic Discharge Characteristics of Plasma Jet Based on Voltage and Current Measurements Using a Metal Plate2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Kazufumi Kawabata, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 43 号: 11 ページ: 3821-3826

    • DOI

      10.1109/tps.2015.2482998

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Effects of gas flow on oxidation reaction in liquid induced by He/O2 plasma-jet irradiation2015

    • 著者名/発表者名
      A. Nakajima, G. Uchida, T. Kawasaki, K. Koga, T. Sarinont, T. Amano, K. Takenaka, M. Shiratani, and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 118 号: 4 ページ: 043301-043301

    • DOI

      10.1063/1.4927217

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820113, KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PLANNED-24108009
  • [雑誌論文] Effects of discharge voltage waveform on the discharge characteristics in a helium atmospheric plasma jet2015

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 117 号: 15 ページ: 1533011-6

    • DOI

      10.1063/1.4918546

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] プラズマを用いたソフトマテリアルプロセス技術の展開 ~低温・低ダメージの材料プロセスからプラズマ医療~2014

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 3 ページ: 15-21

    • NAID

      130004972746

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [雑誌論文] Effect of Driving Voltage Frequency on the Discharge Characteristics in Atmospheric Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet2014

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53 号: 11S ページ: 11RA08-11RA08

    • DOI

      10.7567/jjap.53.11ra08

    • NAID

      210000144622

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Ser.

      巻: 518 ページ: 12018-12018

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012018

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [雑誌論文] Investigation of Plasma-Organic Materials Interaction in Aqueous Solution with Atmospheric Pressure Plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Ser.

      巻: 518 ページ: 12019-12019

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012019

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [雑誌論文] プラズマを用いたソフトマテリアルプロセス技術の展開 ~低温・低ダメージの材料プロセスからプラズマ医療~2014

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 3 ページ: 15-21

    • NAID

      130004972746

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Molecular-Structure Variation of Organic Materials Irradiated with Atmospheric Pressure Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki and Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Molecular-structure variation of biomolecules irradiated with atmospheric-pressure plasma through plasma/liquid interface2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 54 号: 1S ページ: 01AF04-01AF04

    • DOI

      10.7567/jjap.54.01af04

    • NAID

      210000144756

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Plasma-Enhanced Reactive Magnetron Sputtering Assisted with Inductively Coupled Plasma for Reactivity- Controlled Deposition of Microcrystalline Silicon Thin Films2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara and Akinori Ebe
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NB05-11NB05

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nb05

    • NAID

      210000143099

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [雑誌論文] Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 掲載確定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Plasma interaction with Zn nano layer on organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation2013

    • 著者名/発表者名
      Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 228 ページ: S271-S275

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2012.05.126

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [雑誌論文] プラズマとソフトマテリアルとの相互作用 -低ダメージの表面プロセスからプラズマ医療にわたる基礎過程-2013

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 64 ページ: 628-633

    • NAID

      130004704921

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid through Plasma/Liquid Interface2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NE04-11NE04

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11ne04

    • NAID

      210000143115

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001, KAKENHI-PLANNED-24108003, KAKENHI-PROJECT-24760597
  • [雑誌論文] Plasma Interactions with Amino Acid (L-Alanine) as a Basis of Fundamental Processes in Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, K. Cho, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 13 ページ: S59-S63

    • DOI

      10.1016/j.cap.2013.01.030

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001, KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Masaru Hori
    • 雑誌名

      MRS Proc.

      巻: 1598

    • DOI

      10.1557/opl.2013.1155

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108002, KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [雑誌論文] Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 441 ページ: 012001-012001

    • DOI

      10.1088/1742-6596/441/1/012001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001, KAKENHI-PLANNED-24108002
  • [雑誌論文] Effects of Irradiation with Ions and Photons in Ultraviolet-Vacuum Ultraviolet Regions on Nano-Surface Properties of Polymers Exposed to Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 1S ページ: 01AJ02-01AJ02

    • DOI

      10.1143/jjap.51.01aj02

    • NAID

      210000140089

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [雑誌論文] Investigation of chemical bonding states at interface of Zn/organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation2012

    • 著者名/発表者名
      Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 523 ページ: 15-19

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2012.05.061

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325, KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [雑誌論文] フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析2011

    • 著者名/発表者名
      趙 研, 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝
    • 雑誌名

      高温学会誌

      巻: 37 ページ: 289-297

    • NAID

      10030167027

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [雑誌論文] フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析2011

    • 著者名/発表者名
      趙研, 節原裕一, 竹中弘祐, 白谷正治, 関根誠, 堀勝
    • 雑誌名

      高温学会誌

      巻: 37 ページ: 289-297

    • NAID

      10030167027

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [雑誌論文] Low-Temperature and Nano-Suiface Modification of Materials with Low-Damage Plasma and Photon-Induced Phonon Excitation Processes2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Setsuhara
    • 雑誌名

      The international workshop on advanced thin films and surface technology, Changwon, Korea., Novemver 13, 2007

      ページ: 3-3

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026009
  • [雑誌論文] Designing of Meters-Scale Ultra-Large Area RF Plasma Sources Sustained with Multiple Low-Inductance-Antenna Modules2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc. 24th Symp. on Plasma Processing, Osaka, Japan, 2007.1.29-31

      ページ: 61-62

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Low-Damage Plasma and Photon-Induced Processes for Low-Temperature and Nano-Surface Modification of Materials2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Setsuhara
    • 雑誌名

      Trans-Pacific Workshop on Flexible Electronics, Dallas, USA, December 3, 2007.

      ページ: 16-16

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026009
  • [雑誌論文] Phase Structure Control of Yttrium Iron Garnet Nanoparticle Films Using Inductively-Coupled High-Pressure RF Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc. 24th Symp. on Plasma Processing, Osaka, Japan, 2007.1.29-31

      ページ: 111-112

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Development of Internal-Antenna-Driven RF Plasma Sources for Ultra-Large-Area Deposition of Carbon-Related Films2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      11th International Conferences on Modern Materials and Technologies, Acireale, Sicily, Italy, 2006.6.4-9, (2006) (INVITED)

      ページ: 179-180

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Properties of Inductively-Coupled RF Plasma Sources with Multiple Low-Inductance Antenna Modules2006

    • 著者名/発表者名
      K.Takenaka, Y.Setsuhara, K.Nishisaka, A.Ebe, S.Sugiura, K.Takahashi, K.Ono
    • 雑誌名

      Proc.6th International Conf. on Reactive Plasmas and 23rd Symp. on Plasma Processing, Matsushima, Japan, Jan.24-27

      ページ: 183-184

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Development of Meters-Scale Large-Area RF Plasma Sources with Control Capabilities of Power deposition Profiles2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc.6^<th> International Conf.on Reactive Plasmas and 23^<nd> Symp.on Plasma Processing, Matsushima, Japan, Jan.24-27,(2006)

      ページ: 179-180

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Microwave-sustained miniature plasmas for an ultra small thruster2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Takao, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • NAID

      120005553870

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16040211
  • [雑誌論文] Technologies for next-generation shallow junction formation2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Research Report for Feasibility of Applications in Optical Technologies - Femtosecond Laser Processing Technologies - (Optoelectronic Industry And Technology Development Association)

      ページ: 63-89

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Nonequilibrium Activation of Boron-Implanted Ultra-Shallow Junctions By Femtosecond-Laser Induced Phonon Excitation Process2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      4th International Conference on Silicon Epitaxy and Hetereostructures (ICSI-4), Awaji, Japan, May 23-26, (2005)

      ページ: 306-307

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] 次世代メートルサイズ大面積プロセス用プラズマ源2005

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 81・2

      ページ: 85-93

    • NAID

      110003827774

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] メートルサイズの大面積プロセスに向けたプラズマ技術2005

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 雑誌名

      表面技術 56・5

      ページ: 268-275

    • NAID

      10015665593

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Meter-scale Large-Area Plasma Sources for Next-Generation Processes2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      J.Plasma and Fusion Research 81(2)

      ページ: 85-93

    • NAID

      110003827774

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] メートルサイズの大面積プロセスに向けたプラズマ技術2005

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 雑誌名

      表面技術 56・5

      ページ: 268-275

    • NAID

      10015665593

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Microwave-sustained miniature plasmas for an ultra small thruster2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Takao, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • NAID

      120005553870

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655364
  • [雑誌論文] Nonequilibrium Activation of Boron-Implanted Ultra-Shallow Junctions By Femtosecond-Laser Induced Phonon Excitation Process2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fujita
    • 雑誌名

      4th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-4), Awaji, Japan, May 23-26

      ページ: 306-307

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] 次世代メートルサイズ大面積プロセス用プラズマ源2005

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 81・2

      ページ: 85-93

    • NAID

      110003827774

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] 次世代半導体接合形成2005

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 雑誌名

      光技術応用システムのフィージビリティー調査報告書-フェムト秒加工技術-(財団法人光産業技術振興協会)

      ページ: 63-89

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Microwave-sustained miniature plasmas for an ultra small thruster2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Takao, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • NAID

      120005553870

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16040211
  • [雑誌論文] Plasma Technologies for Meters-scale Large-Area Processes2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, A.Ebe
    • 雑誌名

      J.Surface Finishing Society of Japan 56(5)

      ページ: 268-275

    • NAID

      10015665593

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Optical emission spectroscopy of a microwave-excited plasma source for very small propulsion2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Takao, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society Vol.49,No.5

      ページ: 40-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655364
  • [雑誌論文] Low-Temperature Activation of Ion Implanted Nano-Scale Dopant Layer for Ultra-Shallow Semiconductor Junction Formation by Nonequilibrium Phonon Excitation Processes2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fujita, K.Takahashi, K.Ono
    • 雑誌名

      Ninth International Conference on Plasma Surface Engineering (Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 13-17)

      ページ: 372-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Formation of Ultra-Shallow Junctions by Laser-Induced Nonequillibrium Modification Process of Surface Nano Layers2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc.7th China-Japan Symposium on Thin Films (Chengdu, China, September 20-22, 2004)

      ページ: 23-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules -Novel Plasma Technologies toward Meters-Scale FPD Processing-2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, A.Ebe
    • 雑誌名

      Proc.The International Union of Material Research Society -International Conference in Asian 2004 (IUMRS-ICA-2004), Hsinchu, Taiwan, November 16-18, (2004) (CDROM)

      ページ: 1-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656226
  • [雑誌論文] Formation of Ultra-Shallow Junctions by Laser-Induced Nonequilibrium Modification Process of Surface Nano Layers2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fujita
    • 雑誌名

      Proc.7th China-Japan Symposium on Thin Films, Chengdu Sichuan, China, September 20-22

      ページ: 23-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules - Novel Plasma Technologies toward Meters-Scale FPD Processing -2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, A.Ebe
    • 雑誌名

      Proc.The International Union of Material Research Society - International Conference in Asian 2004 (IUMRS-ICA-2004),Hsinchu, Taiwan, November 16-18,(2004) (CDROM)

      ページ: 1-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] 誘導結合型フルオロカーボンプラズマを用いた高誘電率HfO_2薄膜のエッチング2004

    • 著者名/発表者名
      高橋和生, 斧 高一, 節原裕一
    • 雑誌名

      表面技術 Vol.55 No.12

      ページ: 793-799

    • NAID

      10014096314

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14380209
  • [雑誌論文] Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules - Novel Plasma Technologies toward Meters-Scale FPD Processing -2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc.The International Union of Material Research Society - International Conference in Asia 2004 (IUMRS-ICA-2004), Hsinchu, Taiwan, November 16-18, (2004) (CDROM)

      ページ: 1-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Low-Temperature Activation of Ion Implanted Nano-Scale Dopant Layer for Ultra-Shallow Semiconductor Junction Formation by Nonequillibrium Phonon Exitation Processes2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fujita, K.Takahashi, K.Ono
    • 雑誌名

      Ninth International conference on Plasma Surface Engineering(Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 13-17,2004)

      ページ: 372-372

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Formation of Ultra-Shallow Junctions by Laser-Induced Nonequillibrium Modification Process of Surface Nano Layers2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fujita
    • 雑誌名

      Proc.7th China-Japan Symposium on Thin Films(Chengdu, China, September 20-22,2004)

      ページ: 23-24

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, A.Ebe
    • 雑誌名

      Proc. The International Union of Material Research Society - International Conference in Asian 2004 (IUMRS-ICA-2004), Hsinchu, Taiwan, November 16-18 (CD-ROM)

      ページ: 1-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Etching of High Dielectric Constant HfO_2 Thin Films in Inductively Coupled Fluorocarbon Plasmas2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takahashi, K.Ono, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      J.Surface Finishing Soc.Jpn.[in Japanese] Vol.55, No.12

      ページ: 793-799

    • NAID

      10014096314

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14380209
  • [雑誌論文] Optical emission spectroscopy of a microwave-excited plasma source for very small propulsion2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Takao, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society Vol.49,No.5

      ページ: 40-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16040211
  • [雑誌論文] Low-Temperature Activation of Ion Implanted Nano-Scale Dopant Layer for Ultra-Shallow Semiconductor Junction Formation by Nonequillibrium Phonon Excitation Processes2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Ninth International Conference on Plasma Surface Engineering (Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 13-17, 2004)

      ページ: 372-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] PHOTON-INDUCED PHONON EXCITATION PROCESS AS NONEQUILLIBRIUM SUBSURACE MODIFICATION OF ION-IMPLANTED NANO-SCALE LAYER FOR ULTRA-SHALLOW JUNCTION FORMATION2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003), Jeju, Korea, September 28-October 3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Photon-Induced Phonon Excitation Process As Nonequilibrium SUBSURFACE MODIFICATION OF ION-IMPLANTED NANO-SCALE LAYER FOR ULTRA-SHALLOW JUNCTION FORMATION2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003), Jeju, Korea, September 28-October 3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] NONEQUILIBRIUM FORMATION OF NANOSCALE ULTRA-SHALLOW JUNCTIONS BY COHERENT PHONON EXCITATION PROCESS2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida, M.Fuita, S.Adachi, B.Mizuno, K.Takahashi, K.Nogi, K.Ono
    • 雑誌名

      International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials, Kurashiki, Japan, September 24-27

      ページ: 91-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] NONEQUILLIBRIUM FORMATION OF NANOSCALE ULTRA-SHALLOW JUNCTIONS BY COHERENT PHONON EXCITATION PROCESS2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      International Conference on the Characterization and Control of Interfaces for High Qulity Advanced Materials, Kurashiki, Japan, September 24-27

      ページ: 91-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360388
  • [雑誌論文] Profile Simulation Model for Nanometer-Scale Control of Critical Dimensions and Etched Profiles2002

    • 著者名/発表者名
      A.Sano, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc.2nd International Symposium on Dry Process, DPS-2004, Tokyo, Japan 2002

      ページ: 177-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14380209
  • [雑誌論文] Profile Simulation Model for Nanometer-Scale Control of Critical Dimensions and Etched Profiles2002

    • 著者名/発表者名
      A.Sano, K.Ono, K.Takahashi, Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Proc.2nd International Symposium on Dry Process, DPS-2004, Tokyo (IEEJ, Tokyo, 2002)

      ページ: 177-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14380209
  • [産業財産権] プラズマ発生装置及びこれを用いたプラズマ生成方法2017

    • 発明者名
      節原裕一,内田儀一郎,竹中弘祐
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2017-068320
    • 出願年月日
      2017-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングを用いたa-IGZO薄膜の特性制御2024

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 上田 拓海, 都甲 将, 江部 明憲, 節原 裕一
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会,東京都市大学世田谷キャンパス&オンライン,(2024.03.22-2024.03.25)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成2023

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、小松 響、藤村 知輝、都甲 将、井手 啓介、江部 明憲、神谷 利夫、節原 裕一
    • 学会等名
      2023年第70回応用物理学会春季学術講演会,上智大学四谷キャンパス+オンライン,(2023.03.15-2023.03.18)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Reactivity-Control Plasma Processes for Low-Temperature Formation of High-Quality Oxide Thin-Film Transistors2023

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS, (THERMEC‘2023),VIENNA, AUSTRIA,(2023.07.03-2023.07.07)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Development of Plasma Assisted Reactive Process for Uniform Formation of High Mobility Oxide Semiconductor Thin Film Transistors over Large Areas2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Tomoki Yoshitani, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM2022),Centennial Hall of Kyushu University. Kyushu, Japan,(2023.01.09-2023.01.12)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Formation of Ga-based amorphous oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      25th International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC25),Miyako Messe、Kyoto, Japan,(2023.05.21-2023.05.26)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Fabrication of amorphous gallium oxide thin film transistors by plasma-assisted reactive processes2023

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, T. Komatsu, S. Toko, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023),Winc Aichi, Nagoya, Japan,(2023.11.21-2023.11.22)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Reactive Plasma Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin-Film Transistors2022

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Annual Meeting, Center For Plasma and Thin Film Technologies (CPTFT), Ming Chi University of Technology, online,(2022.06.17)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] 高移動度IGZO薄膜トランジスタの大面積均一形成に向けたプラズマ支援反応性プロセスの開発2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、吉谷 友希、都甲 将、内田 儀一郎、江部 明憲、節原 裕一
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会,ハイブリッド開催(青山学院大学相模原キャンパス+オンライン),(2022.03.22-2022.03.26)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Development of Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films2022

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Keisuke Ide, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2) ,Senri Life Science Center, Osaka, Japan,(2022.10.25-2022.10.26)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Low-temperature formation of functional oxide materials with plasma-assisted reactive processes2022

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, S. Toko, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021), 産業貿易センター(横浜, (2022.12.05)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスによる酸化物半導体薄膜形成2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、都甲 将、節原 裕一
    • 学会等名
      2021 (令和3)年度第3回溶接協会表面改質技術研究委員会,Web会議,(2022.02.21)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] プラズマ支援反応プロセスで作成されたIGZO薄膜トランジスタの特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      林 祐仁、小松 響、都甲 将、竹中 弘祐、江部 明憲、節原 裕一
    • 学会等名
      The 39th Symposium on Plasma Processing/The 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP-39/SPSM34),Web会議,(2022.01.24-2022.01.26)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Development of Plasma-Assisted Reactive Process for Large-Area Uniform Formation of High Mobility IGZO Thin-Film Transistors2022

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, T. Yoshitani, G. Uchida, A. Ebe, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      The 43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022),Osaka International Convention Center, (Osaka, Japan) & Online,(2022.11.24-2022.11.25)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスを用いた高性能IGZO薄膜トランジスタの低温形成2022

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、林 祐仁、都甲 将、江部 明憲、節原 裕一
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会,東北大学川内キャンパス&ハイブリッド開催,(2022.09.20-2022.09.23)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistors Fabricated with Plasma-Assisted Reactive Processes2022

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022),Sendai International Center, Sendai, Japan ,(2022.10.03-2022.10.07)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials2021

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021), Remote e-conference,(2021.09.26-2021.10.01)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Effect of process conditions on characteristics of InGaZnO thin-film transistors fabricated with plasma-assisted reactive process2021

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, H. Hirayama, Y. Hayashi, H. Komatsu, G. Uchida, A. Ebe, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021),Web会議,(2021.11.18-2021.11.19)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(IV)2021

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、平山 裕之、藤村 知輝、林 祐仁、内田 儀一郎、江部 明憲、節原 裕一
    • 学会等名
      2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会,Web会議,(2021.09.10-2021.09.13)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactive Processes for Low-Temperature Fabrication of High-Mobility Oxide Thin Film Transistors2021

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      INTERFINISH2020 20th World Congress, Web会議,(2021.09.06-2021.09.08)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K21051
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(II)2020

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一、竹中 弘祐、平山 裕之、内田 儀一郎、江部 明憲
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会, 東京 (2020.03.12-2020.03.15)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Effects of post-processing temperature on performance of IGZO TFTs fabricated with plasma-enhanced reactive processes2020

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2020) / (IC-PLANTS 2020), Nagoya, Japan (2020.03.08-2020.03.11)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成2019

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一、竹中 弘祐、平山 裕之、遠藤 雅、内田 儀一郎、江部 明憲
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会,北海道大学,(2019.09.18-2019.09.21)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-temperature Formation of High-Mobility In GaZnOx Thin-Film Transistors by Plasma-Enhanced Reactive Processes2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      7th Global Nanotechnology Congress and Expo, Kuala Lumpur, Malaysia (2019.12.02-2019.12.04)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility Oxide Semiconductor TFT2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 5th Asian Workshop on Applied Plasma Science and Engineering 2019 (APSE2019),University of Malaya, Kuala Lumpur, Malaysia,(2019.01.28-2019.01.29)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Functional thin film deposition using plasma-assisted reactive process2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Yuichi Setsuhara, Keisuke Ide, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development Satellite (iLIM-s), Nagoya, Japan (2019.11.01-2019.11.03)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactivity-Control Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin-Film Transistors2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019), Jeju, Korea (2019.09.01-2019.09.05)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Plasma-assisted Reactive Process for Fabrication of High Mobility IGZO Thin Film Transistor at Low-Temperature2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019,Yokohama, Japan,(2019.12.10-2019.12.14)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-temperature formation of high-mobility InGaZnOx thin film transistor by ICP-enhanced reactive plasma processes2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019), Kanazawa, Japan (2019.06.11-2019.06.14)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Development of low-temperature plasma process for formation of functional thin films2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Keisuke Ide, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4), Sendai, Japan (2019.10.03-2019.10.04)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Formation of amorphous oxide thin films using plasma-assisted reactive sputter deposition2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Hirayama, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development Satellite (iLIM-s),Nagoya, Japan,(2019.11.01-2019.11.03)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Plasma-assisted reactive processes for low-temperature fabrication of high-mobility InGaZnOx TFTs2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Horoyuki Hirayama, Tomoki Yoshitani, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      XXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Sapporo, Hokkaido, Japan (2019.07.14-2019.07.19)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Reactive plasma processes for formation of high-mobility IGZO thin-film transistors2019

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara1, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida and Akinori Ebe
    • 学会等名
      21st International Conference on Advanced Energy Materials and Research, Zurich, Switzerland (2019.07.11-2019.07.12)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Gate-bias instability of post-deposition plasma treated amorphous InGaZnOx thin-film transistors prepared with plasma-assisted reactive magnetron sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process (DPS2018),Nagoya University, Nagoya,(2018.11.13-2018.11.15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] 反応性プラズマプロセスを用いた機能性薄膜合成2018

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 節原 裕一
    • 学会等名
      日本溶接協会平成30年度第2回(通算88回) 表面改質技術研究委員会,神奈川,(2018.10.10)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] ICP-Assisted Reactive Sputter Deposition and Plasma-Enhanced Annealing Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility In-Ga-Zn-O Thin-Film Transistors2018

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      16th International Conference on Plasma Surface Engineering,Congress Center, Garmisch-Partenkirchen, Germany,(2018.09.17-2018.09.21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistor by Advanced Reactive Sputter Deposition Enhanced with ICP2018

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC’2018),Paris, France,(2018.07.09-2018.07.13)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactive Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistor and Functional Films for Solar Cells2018

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      5th Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018 and 2nd International Symposium on Energy Research and Application,Sungkyunkwan University, Swuon, South Korea,(2018.02.05-2018.02.06)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] プラズマアシスト反応性プロセスを用いた低温での高移動度薄膜トランジスタの作製2018

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 節原 裕一, 内田 儀一郎, 井手 啓介, 神谷 利夫
    • 学会等名
      第2回酸化物半導体討論会/学際・国際的高度人材育成ライフイノベーションマテリアル創製共同研究プロジェクト分科会/第76回フロンティア材料研究所講演会,神奈川,(2018.10.26)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] プラズマ支援反応性プロセスを用いた高移動度IGZO薄膜の低温形成2018

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一、遠藤 雅、竹中 弘祐、内田 儀一郎、江部 明憲
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会,東京,(2018.03.18-2018.03.21)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] 低ダメージ大面積プロセス対応プラズマ生成・制御技術の開発2018

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 学会等名
      2018年度フロンティア材料研究所学術賞受賞記念講演会・若手教員講演会,東京,(2018.09.04)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Formation of Functional Thin Films at Low Temperature using Plasma-assisted Reactive Processes2018

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 節原 Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Tomoki Yoshitani, Hiroyuki Hirayama, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara裕一, 内田 儀一郎, 井手 啓介, 神谷 利夫
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会,西日本総合展示場 他,(2018.12.18-2018.12.20)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Functional Thin Film Deposition by Advanced Plasma Assisted CVD & PVD Process2017

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      International union of materials research societies-The 15th International conference of advanced materials,Kyoto, Japan,(2017.08.27-2017.09.01)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Characterization of atmospheric-pressure plasma jets and interaction with liquid for control of reactive species in plasma-activated aqueous solutions2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, J. Ikeda, Y. Mino, K. Takenaka
    • 学会等名
      International Conference on Plasma Medical Science Innovation (ICPMSI) 2017
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2017-02-27
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Advanced ICP-Enhanced Plasma Systems for Meters-Scale Large-Area Processes2017

    • 著者名/発表者名
      Akinori Ebe, Kazuaki Nishisaka, Kazuto Okazaki, Atsushi Osawa, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering,Jeju, Korea,(2017.09.11-2017.09.15)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成(II)2017

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一、遠藤 雅、竹中 弘祐、内田 儀一郎、江部 明憲
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会 ,福岡,(2017.09.05-2017.09.08)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistors Using ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes2017

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017),Tokyo, Japan,(2017.11.16-2017.11.17)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Advanced Plasma Processing for Formation of Functional Thin Films2017

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, G. Uchida, K. Ide, T. Kamiya, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      2nd Int. Symp. on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-2),Nagoya, Japan ,(2017.09.29-2017.10.02)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] (特別講演)大気圧プラズマの現状と将来展望2017

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 学会等名
      日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会プラズマ材料科学スクール
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Formation of High-mobility IGZO Thin Film Transistors Using ICP-enhanced Reactive Sputter Deposition2017

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      第34回プラズマプロセシング研究会(SPP34), 第29回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM29)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2017-01-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistor2017

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 22nd Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics and The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
    • 発表場所
      Suwon,Korea,
    • 年月日
      2017-04-05
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistor2017

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 22nd Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics and The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials,Suwon,Korea,(2017.04.05-2017.04.07)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistors for Flexible Electrinics with ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes2017

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2017),Jeju, Korea,(2017.09.11-2017.09.15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistor by Advanced Reactive Sputter Deposition Enhanced with ICP2017

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Masashi Endo, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Frontiers in Materials Processing Applications, Research and Technology,Bordeaux, France,(2017.07.09-2017.07.12)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Plasma-Liquid Interactions with Atmospheric-Pressure Plasma Jets for Controlling Reactive Species in Plasma-Activated Aqueous Solutions2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, J. Ikeda, Y. Mino, K. Takenaka
    • 学会等名
      The 3rd International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications
    • 発表場所
      Hochiminh, Vietnam
    • 年月日
      2017-01-11
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成2017

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 遠藤 雅, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] SPATIO‐TEMPORAL BEHAVIORS OF ATMOSPHERIC‐PRESSURE PLASMA JETS FOR INVESTIGATION OF REACTIVE‐SPECIES PRODUCTION IN LIQUID2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, A. Nakajima, G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda
    • 学会等名
      43rd IEEE International Conference on Plasma Science
    • 発表場所
      Banff, Alberta, Canada
    • 年月日
      2016-06-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成2016

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 中田 慶太郎, 佐竹 義且, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Combinatorial characterization of a-IGZO film properties deposited with ICP-enhanced reactive sputtering2016

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      38th International Symposium on Dry Process (DPS2016)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2016-11-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] Control of ROS and RNS productions in liquid in atmospheric pressure plasma-jet system2016

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Taiki Ito, Kosuke Takenaka, Junichiro Ikeda, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      69th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2016-10-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 高密度プラズマの基礎から応用まで2016

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 学会等名
      日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第72回研究会
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04509
  • [学会発表] 周辺雰囲気ガス制御型プラズマジェット照射による溶液中活性酸素・窒素種生成2016

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 中島 厚, 伊藤 泰喜, 竹中 弘祐, 節原 裕一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Effects of surrounding gas flow on ROS and RNS productions in non-thermal plasma-jet system2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, T. Ito, A. Nakajima, K. Takenaka, J. Ikeda
    • 学会等名
      6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovakia
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure dielectric barrier discharge plasma jets for reactive interactions with materials2016

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, K. Kawabata, K. Takenaka
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC’2016)
    • 発表場所
      Graz, Austria
    • 年月日
      2016-05-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Dynamical Behaviors and Plasma-Liquid Interactions of Atmospheric-Pressure Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jets2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka
    • 学会等名
      The 2nd Asian International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications Major Topics: Plasma Technology for Agriculture, Bio and Medicine
    • 発表場所
      Chiang Mai, Thailand
    • 年月日
      2016-02-23
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Effects of plasma-jet irradiation on the surface of liquid and its effects on ROS and RNS generations in bulk solution2016

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      26th Annual meeting of MRS-Japan 2016
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2016-12-19
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Spatio-temporal Behaviors of Atmospheric-pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma Jets for Reactive Interactions with Materials2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka
    • 学会等名
      9th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2016)
    • 発表場所
      Graz, Austria
    • 年月日
      2016-05-29
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Effects of plasma-irradiation distance on ROS and RNS productions in liquid2016

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, A. Nakajima, T. Ito, K. Takenaka, T. Kawasaki, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovakia
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Electrical discharge characteristics of atmospheric plasma jets2016

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2016)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-03-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Spatio‐temporal behaviors of atmospheric‐pressure plasma jets for investigation of reactive‐species production in liquid2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, A. Nakajima, G. Uchida, T. Ito, K. Takenaka, J. Ikeda
    • 学会等名
      43rd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS 2016)
    • 発表場所
      Banff, Canada
    • 年月日
      2016-06-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Dynamical-Behavior Characterization of Atmospheric-Pressure Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jets for Control of Reactive Oxygen and Nitrogen Species in Liquid2016

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Taiki Ito, Kosuke Takenaka
    • 学会等名
      15th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2016-09-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma-Assisted Mist CVD for Formation of Textured ZnO Films : Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)
    • 発表場所
      Nagasaki University, Nagasaki, Japan
    • 年月日
      2015-12-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Control of discharge characteristics of a plasma jet by ambient gas-flow conditions2015

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2015-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] プラズマ医療装置に求められている要素と世界動向2015

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Atmospheric-Pressure-Plasma Assisted Mist CVD of Zinc Oxide Films2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju Island, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響2015

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐,内田 儀一郎, 節原 裕一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Effects of plasma-irradiation distance on oxidation reaction in liquid induced by He/O2 plasma-jet irradiation2015

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Nakajima, Giichiro Uchida, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2015-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge characteristics in atmospheric plasma jets produced in various gas flow patterns2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition of a-IGZO Films for Thin Film Transistor Applications2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-9) /28th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-28)
    • 発表場所
      Nagasaki, Japan
    • 年月日
      2015-12-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタ製膜プロセスによるIGZO薄膜デバイス低温形成2015

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 陶山 悠太郎, 中田 慶太郎, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 江部 明憲
    • 学会等名
      第27回酸化物半導体討論会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-05-18
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] 液面に入射するプラズマジェットの放電特性2015

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 中島 厚, 竹中 弘祐, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 大気圧He/O2プラズマジェット照射による液中活性酸素種生成に及ぼすガス流パターンの効果2015

    • 著者名/発表者名
      中島 厚, 内田 儀一郎, 川崎 敏之, 古閑 一憲, Thapanut Sarinont, 天野 孝昭, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 節原 裕一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Dynamical Characterizations of Atmospheric-Pressure Plasma Jets as Evaluation Protocols for Plasma Medicine2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida,, Kazufumi Kawabata Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka
    • 学会等名
      The 21st Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Material
    • 発表場所
      Yangyang, Korea
    • 年月日
      2015-10-03
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Effect of Mists on Surface Structure of ZnO Films Deposited with Plasma-Assisted Mist CVD2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜開港記念会館 他
    • 年月日
      2015-12-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Gas flow rate dependence of the production of reactive oxygen species in liquid by a plasma-jet irradiation2015

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Toshiyuki Kawasaki, Kazunori Koga, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-Temperature Growth of Zinc Oxide Films by Atmospheric-Pressure Plasma-Assisted Mist CVD2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Characterization and Control of Interfaces for High Quality Advanced Materials (ICCCI 2015)
    • 発表場所
      Kurashiki Royal Art Hotel, Kurashiki, Japan
    • 年月日
      2015-07-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Discharge characteristics of a helium atmospheric plasma jet impinging onto the liquid surface2015

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Nakajima, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of a-IGZO TFTs with ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Keitaro Nakata, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Plasma-Assisted Mist Chemical Vapor Deposition of Zinc Oxide Films for Flexible Electronics2015

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] プラズマ医療装置に求められている要素と世界動向2015

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会 分科企画シンポジウム「プラズマ医療科学の最前線」
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001
  • [学会発表] Effects of discharge voltage waveform on discharge characteristics in a helium atmospheric plasma jet2015

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 大気圧非平衡プラズマ照射による液中ラジカル生成の制御2015

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部 特別講演会
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2015-04-27
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] プラズマ医療のための大気圧放電プラズマの時空間制御2015

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一
    • 学会等名
      新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」+「統合的神経機能の制御を標準とした糖鎖の作動原理解明」合同公開シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-08-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 非平衡プラズマジェットの動的放電特性2015

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 川崎 敏之, 古閑 一憲, 白谷 正治
    • 学会等名
      第21回プラズマ新領域研究会「プラズマ流の可視化」
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2015-10-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] ICP-Enhanced Sputter Deposition for Reactivity Control and Low-Temperature Formation of a-IGZO Films2015

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Keitaro Nakata, Yoshikatsu Satake, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Akinori Ebe
    • 学会等名
      9th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9) / 33rd Symposium on Plasma Processing (SPP-33) / 68th Gaseous Electronics Conference (GEC-68)
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Effects of gas-mixing structure on discharge properties of atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine2014

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性2014

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 竹中 弘祐, 大崎 創一郎, 陶山 悠太郎, 大谷 浩史, 金井 厚毅, 江部 明憲
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Dynamics and Reactive Particle Generation in Atmospheric-Pressure Discharge as a Basis for Plasma Medicine2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, A. Miyazaki, K. Takenaka, K. Takeda, K. Ishikawa, M. Hori
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001
  • [学会発表] RF plasma sources for PECVD and soft-material processes2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
    • 学会等名
      The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] 低ダメージプロセスに向けたプラズマ技術-フレキシブルデバイスからプラズマ医療-2014

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第138回定例研究会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2014-06-02
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge characteristics of plasma jet operated in gas-mixture system for plasma biomedicine2014

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International workshop on control of fluctuation of plasma processes
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactivity- Controlled Sputter Deposition Process for Low-Temperature Formation of Semiconductor Films2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai, Soichiro Osaki
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP- 8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Dynamics and Reactive Particle Generation in Atmospheric-Pressure Discharge as a Basis for Plasma Medicine2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      18th International workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Properties of ICP-Enhanced Reactive Sputter Discharge for Formation of Advanced Semiconductor Films2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Soichiro Osaki, Yutaro Suyama, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014) / 7th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2014)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition Process for Low-Temperature Formation of Semiconductor Films2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai, Soichiro Osaki
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Discharge Characteristics of Plasma Jet Operated in Gas-Mixture System for Plasma Biomedicine2014

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Molecular Structural Change of Soft Materials via Irradiation with Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine2014

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Molecular-Structure Variation of Soft Material Irradiated with Atmospheric-Pressure Plasma Jet2014

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Spatial profiles of emission spectra from atmospheric-pressure plasma jet for plasma medicine2014

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara and Masaru Hori
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 低ダメージプロセスに向けたプラズマ技術-フレキシブルデバイスからプラズマ医療-2014

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 竹中 弘祐, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第138回定例研究会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2014-06-02
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Optical Emission Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet for Plasma Biomedicine2014

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Kazufumi Kawabata, Yuichi Setsuhara, and Masaru Hori
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-8)/31st Symposium on Plasma Processing (SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Properties of ICP-Enhanced Reactive Sputter Discharge for Formation of Advanced Semiconductor Films2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Soichiro Osaki, Yutaro Suyama, Hirofumi Ohtani, Atsuki Kanai
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2014)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Development of advanced ICP-enhanced reactive sputter deposition technologies for flexible devices2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The workshop of the Joint Institute for Plasma Nano Materials (IPNM)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2013-10-23
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] DC-Voltage Gas-Breakdown Characteristics at Atmospheric Pressure for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Designing Plasma-Enhanced Magnetron Sputtering with Low-Inductance Antenna Modules2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2013)
    • 発表場所
      Gifu, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御性2013

    • 著者名/発表者名
      節原裕一、竹中弘祐、大谷浩史、金井厚毅、江部明憲
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Atmospheric-Pressure Plasma Interaction with Soft Materials as Fundamental Processes in Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka , Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] ソフトマテリアル-プラズマ相互作用と低ダメージプロセス(無機/有機積層デバイスからプラズマ医療)2013

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 学会等名
      日本真空学会11月研究例会
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials in Air and Liquid2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Masaru Hori
    • 学会等名
      3rd International Symposium for Plasma Biosciences (ISPB2013-3)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 医療プラズマ源の創成に向けたプラズマ-生体分子相互作用の究明と放電制御2013

    • 著者名/発表者名
      節原裕一
    • 学会等名
      新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」第2回公開シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofimi Ohtani, Akinori Ebe
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      浜松
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Characterization of Atmospheric-Pressure Discharge and its Interaction with Soft Materials as a Basis for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Control Capability of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Inner Type Low-Inductance Antenna Modules2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Hirofumi Otani, Atsuki Kanai, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      第23回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] プラズマ医療の基礎過程としての気液界面を介したプラズマと液体中有機物との相互作用2013

    • 著者名/発表者名
      竹中弘祐、節原裕一
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木
    • 年月日
      2013-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Degradation of methylene blue in aqueous solution via plasma exposure through gas/liquid interface2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12), The third Asia-Europe Physics Summit (ASEPS3)
    • 発表場所
      Chiba Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma-biomaterials interaction analysis as a basis of fundamental processes in plasma medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス, 名古屋市
    • 年月日
      2013-01-28
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-24108001
  • [学会発表] Properties of Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kosuke Takenaka, Atsushi Miyazaki, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma-Biomaterials Interaction Analysis as a Basis of Fundamental Processes in Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2013-01-28
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition Processes for Low-Temperature Formation of IGZO TFT2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      35th International Symposium on Dry Process (DPS2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Characteristics of Atmospheric Pressure Discharge and Interactions with Soft Materials2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka
    • 学会等名
      The 16th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Okazaki, Japan
    • 年月日
      2013-01-25
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 高品質半導体薄膜作製のためのプラズマ支援反応性スパッタリングプロセスの高度制御2013

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 竹中 弘祐, 大谷 浩史, 金井 厚毅, 大崎 創一郎, 江部 明憲
    • 学会等名
      第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactivity-Controlled Sputter Deposition with New Type of Low-Inductance Antenna Modules for High-Rate and Large-Area Deposition of Functional Films2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Controllability of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition Process with ICPs Sustained by Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soishiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26)
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Advanced reactive sputter deposition system enhanced with ICPs driven by new type of low- inductance antenna modules2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2013)
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka and Masaru Hori
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Hiroya Abe, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      浜松
    • 年月日
      2013-01-21
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Atmospheric-Pressure Gas-Breakdown Characteristics with RF and UHF Voltage for Plasma Medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Yuichi Setsuhara,
    • 学会等名
      International Conference on Surface Engineering (ICSE 2013)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofimi Ohtani, Akinori Ebe
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      浜松
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Sputtering with Multiple Inner Type Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Formation of Thin Film Devices2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Advanced reactive sputter deposition system enhanced with ICPs driven by new type of low-inductance antenna modules2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Soichiro Osaki, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC'2013)
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Process Control Capabilities of ICP-Enhanced Sputter Discharge for Reactive Large-Area Deposition of Functional Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 15th Korea-Japan Workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Process Control Capabilities of ICP-Enhanced Sputter Discharge for Reactive Large-Area Deposition of Functional Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka and Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 15th Korea-Japan Workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2012-06-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Low-Temperature and Low-Damage Plasma Processing of Inorganic/Organic Hybrid Materials for Development of Flexible Electronics2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Materials Development and Integration of Novel Structural Metallic and Inorganic Materials
    • 発表場所
      Aichi, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Process Control Capabilitiesof ICP-Enhanced Sputter Discharge for ReactiveLarge-Area Deposition of Functional Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The15th Korea-Japan Workshop for AdvancedPlasma Process and Diagnostics
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] 高度時空間制御による生体適合放電生成の基盤確立と革新的医療プラズマ源の創成2012

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一
    • 学会等名
      新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」第1回公開シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Control Capabilities of Reactive Sputter Deposition Process via ICPs Driven by Low-Inductance Antenna for Large-Area Formation of Thin Film Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Texas, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Process Control Capabilities Of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition With New Type Of Low-Inductance-Antenna Driven ICP For Large-Area Formation Of Semiconductor Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
    • 発表場所
      Kyoto, Japa
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタ低温形成技術の開発2012

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 趙 研, 大地 康史, 竹中 弘祐, 江部 明憲
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Inductance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Yasufumi Ohchi, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      13th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition with Low-Inductance Antenna for Low-Temperature Fabrication of Flexible Photovoltaic Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いた長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発2012

    • 著者名/発表者名
      竹中弘祐, 節原裕一, 江部明憲
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Radio Frequency Plasma Generation over Water Surface at Saturated Water Vapor Pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2012-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition with Low-Inductance Antenna for Low-Temperature Fabrication of Flexible Photovoltaic Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Enhanced ReactiveSputter Deposition with Low-Inductance Antennafor Low-Temperature Fabrication of FlexiblePhotovoltaic Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 6th InternationalConference on Technological Advances of ThinFilms & Surface Coatings
    • 発表場所
      Singapore
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] nvestigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine2012

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2012-10-02
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Process Control Capabilities of ICP-Enhanced Sputter Discharge for Reactive Large-Area Deposition of Functional Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 15th Korea-Japan Workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics
    • 発表場所
      Seoul, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2012-06-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition with Low-Inductance Antenna for Low-Temperature Fabrication of Flexible Photovoltaic Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings
    • 発表場所
      Singapore(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Ken Cho,Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      4th International Symposi凵m on Advanced PlasmaScience and its Applications (ISPIasma 2012)
    • 発表場所
      Aichi, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Control Capabilities of Reactive Sputter Deposition Process via ICPs Driven by Low-Inductance Antenna for Large-Area Formation of Thin Film Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Texas, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] ICP-Assisted Reactive Sputter-Deposition with Inner-Type Low-Inductance Antenna (LIA)2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, A. Ebe
    • 学会等名
      The 14th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics(招待講演)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] ICP-Enhanced Reactive Processes with Low-Inductance Antenna2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Ken Cho, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2012)
    • 発表場所
      Aichi, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Process Control Capabilities Of Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition With New Type Of Low-Inductance-Antenna Driven ICP For Large-Area Formation Of Semiconductor Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Hirofumi Ohtani, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Joint conference on the 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (11th APCPST-11) and 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-25)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] ICP-Assisted Reactive Sputter-Deposition with Inner-Type Low-Inductance Antenna (LIA)2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 14th International Workshop on Advanced Plasma Processing andDiagnostics, The 2nd Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-NanoMaterials
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma Interactions with Soft-Materials as a Basis of Fundamental Processes for Plasma Medicine2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium for Plasma Biosciences
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2012-08-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Water Plasma Interactions in Solution2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Water Science and Technology (ISAWST-1)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2012-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma- Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Inductance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Yasufumi Ohchi, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      13th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2012-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Effect of Plasma Irradiation on Interfacial Nano Layers in Inorganic / Organic Hybrid Structures2012

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - International conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials as a Basis for Plasma Medicine2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine. Masaru Hori
    • 学会等名
      International Workshop on Advanced Plasma Technology for Green Energy and Biomedical Applications (APT2012)
    • 発表場所
      Chiang Mai, Thailand,
    • 年月日
      2012-08-24
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Development of ICP-Enhanced Reactive Sputtering System with Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Large-Area Deposition of Silicon Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      34th International symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Assisted Sputtering with ICP Driven by Inner-Type Low-Inductance Antenna2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, A. Ebe
    • 学会等名
      4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2012)
    • 発表場所
      愛知県春日井市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Yuichi Setsuhara, Yasufumi OhchiKen Cho, Kosuke Takenaka, Akinori EbePlasma-Enhanced Sputtering Assisted with ICP via New Type of Low-Induetance Antenna for Reactivity-Controlled and Low-Damage Formation of Semiconductor Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Yasufumi OhchiKen Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      13th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2012-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明アモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタ低温形成技術の開発2012

    • 著者名/発表者名
      節原 裕一, 趙 研, 大地 康史, 竹中弘祐, 江部 明憲
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Assisted Deposition of Functional Thin Films and Process Analyses for Development of Flexible Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Society (IUMRS)-lnternational Conference in Asia (ICA) 2011
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Development of Plasma-Enhanced Reactive Large-Area Processes2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Advanced Plasma Technology for Green Energy and Biomedical Apllications
    • 発表場所
      Chiangmai, Thailand(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Development of Inner-Type ICPs for Reactive Large-Area Processes2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Akinori Ebe
    • 学会等名
      The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Deajeon, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Development of ICP-assisted sputter process for large-area production of thin-film solar cells2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      2011 International Workshop on Environment and Resources
    • 発表場所
      New Taipei City, Taiwa(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Characterization of Inductively-Coupled RF Plasmas with Inner-Type Low-Inductance Antennas and Application to Plasma-Assisted Reactive Sputter Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Ken Cho, Yasufumi Ohchi, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第21回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] 埋め込み型低インダクタンスアンテナを用いたプラズマ支援反応性スパッタリング法により作製したa-IGZO膜の特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      大地康史, 趙研, 竹中弘祐, 節原裕一, 江部明憲
    • 学会等名
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年(研究会創設25周年)記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] 埋込型低インダクタンスアンテナによるプラズマ生成技術の開発と大面積・低ダメージ反応性プロセスへの応用2011

    • 著者名/発表者名
      節原裕一, 趙研, 竹中弘祐, 江部明憲
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Plasma-Assisted Deposition of Functional Thin Films and Process Analyses for Development of Flexible Electronic2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara
    • 学会等名
      IUMRS-ICA 2011 12th International Conference in Asia(招待講演)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Development of Plasma-Enhanced Reactive Large-Area Processes2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, A. Ebe
    • 学会等名
      Advanced Plasma Technology for Green Energy and Biomedical Apllications(招待講演)
    • 発表場所
      Chiangmai, Thailand
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Development of Low-Damage Reactive Sputter Deposition Processes with Inner-Type Low Inductance Antenna2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, A. Ebe
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Plasma-Assisted Deposition of Functional Thin Films and Process Analyses for Development of Flexible Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Society (IUMRS)- International Conference in Asia (ICA) 2011
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2011-09-20
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices2011

    • 著者名/発表者名
      K. Cho, K. Takenaka, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori
    • 学会等名
      33rd International symposium on Dry Process
    • 発表場所
      京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656465
  • [学会発表] Development of Low-Damage Reactive Sputter Deposition Processes with lnner-Type Low Inductance Antenna2011

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      Ishikawa, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360325
  • [学会発表] Photon-Induced Phonon Excitation Process as Low-Temperature Nonequillibrium Nano-Surface Modification of Semiconductors2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, M.Hashida
    • 学会等名
      7th Asian-European Int.Conf.Plasma Surface Eng.(AEPSE 2009)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2009-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20035009
  • [学会発表] Optical Emission Analysis of Water Vapor Plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      Shogo Kawajiri, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The IUMRS International Conference in Asia 2008, Nagoya, Japan, (2008.12.09-2008.12.13)
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2008-12-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19654090
  • [学会発表] Low-Temperature and Nano-Surface Modification of Materials with Low-Damage Plasma and Femtosecond Laser-Induced Processes2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara
    • 学会等名
      Interfinish 2008 17th World Interfinish Congress and Exposition, Busan, Korea, June 16-19, 2008.(INVITED)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2008-06-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20035009
  • [学会発表] Low-Temperature and Nano-Surface Materials Modification with Low-Damage Plasma and Laser-Induced Phonon Excitation Processes2008

    • 著者名/発表者名
      Y, Setsuhara
    • 学会等名
      6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & 3rd Plasma Application Monodzukuri, Nagoya, Japan, January 8-9, 2008.
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2008-01-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19026009
  • [学会発表] Spatial and Temporal Characteristics of Atmospheric-Pressure Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2014-11-30 – 2014-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge Characteristics and Dynamics of Atmospheric Pressure Plasmas for Plasma Medicine

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata and K. Takenaka
    • 学会等名
      19th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      Gunsan, Korea
    • 年月日
      2014-06-07 – 2014-06-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma Interactions with Organic Materials in Liquid through Gas/liquid Interface via Atmospheric-Pressure Plasma

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, K. Kawabata, A. Nakajima, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] ミストプラズマCVDを用いた透明導電酸化物薄膜の形成

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐、節原 裕一
    • 学会等名
      平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会
    • 発表場所
      東北大学青葉台キャンパス
    • 年月日
      2014-09-25 – 2014-09-26
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Dynamic Properties of Atmospheric Pressure Plasma Jet for Plasma Medicine

    • 著者名/発表者名
      K. Kawabata, G. Uchida, K. Takenaka and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma/biomolecules Interaction in Liquid as Fundamental Processes in Plasma Medicine

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, K. Kawabata, A. Nakajima, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma Interactions with Biological Molecules in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation through Gas/Liquid Interface

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge Characteristics of Atmospheric Pressure Plasma Jet Operated under Various Gas Conditions

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-temperature Formation of a-IGZO Films with ICP-enhanced Reactive Sputter Deposition

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, Y. Sutama, K. Nakata, K. Takenaka, G. Uchida and A. Ebe
    • 学会等名
      7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015) / 8th Int. Conf. on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Plasma Interactions with Soft Materials in Air and Liquid

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, A. Miyazaki, K. Takenaka, H. Abe and M. Hori
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2014-05-18 – 2014-05-23
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Deposition of Oxide Semiconductor Films via ICP-Enhanced Reactive Sputtering for Development of Advanced Flexible Devices

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Takenaka, Y. Suyama, S. Osaki and A. Ebe
    • 学会等名
      Plasma Conf. 2014
    • 発表場所
      新潟
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Influence of Voltage Pulse Width on Discharge Characteristics in Dbd Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Frequency Dependence of Atmospheric-Pressure Discharge Generation

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2014-11-30 – 2014-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Process Controllability of ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition for Low-Temperature Formation of IGZO TFT

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, K. Takenaka, G. Uchida and A. Ebe
    • 学会等名
      36th Int. Symp. on Dry Process (DPS2014)
    • 発表場所
      YOKOHAMA, Japan
    • 年月日
      2014-11-27 – 2014-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Temporal Behavior of Reactive Particle Production in DBD Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, K. Takeda, K. Ishikawa, M. Hori and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Deposition of zinc oxide films with atmospheric-pressure plasma-assisted mist CVD

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      ISPlasma 2015 / IC-PLANTS 2015
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Formation of Zinc Oxide Films Deposited by Plasma-Assisted Mist CVD for Transparent Conducting Oxide Application

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2015-01-09 – 2015-01-10
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] RF plasma sources for PECVD and soft-material processes

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, S. Osaki, K. Takenaka and A. Ebe
    • 学会等名
      The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2014-04-01 – 2014-04-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Characteristics of Reactive Particle Production in Atmospheric Pressure DBD Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2014-05-18 – 2014-05-23
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 大気圧高周波放電プラズマの動的特性

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 川端 一史, 節原 裕一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of a-IGZO Films by ICP-Enhanced Reactive Sputter Deposition

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, S. Osaki, Y. Suyama, K. Takenaka and G. Uchida
    • 学会等名
      Int. Union of Materials Research Societies-The IUMRS Int. Conf. in Asia 2014
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630335
  • [学会発表] Effect of Plasma Excitation Frequency on the Discharge Characteristics of Atmospheric Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      Plasma Conf. 2014
    • 発表場所
      新潟
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Plasma Interactions with Mist in Atmospheric-Pressure Plasma Irradiation

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜開港記念会館 他
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Deposition of Zinc Oxide Film Using Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Plasma

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, and Yuichi Setsuhara
    • 学会等名
      The International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW 2014)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2014-11-26 – 2014-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Discharge Characteristics of Atmospheric RF Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      7th Int. Symp. on Adv. Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 気液界面を介した大気圧非平衡プラズマ照射が液体中のアミノ酸へ与える影響

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 内田 儀一郎, 川端 一史, 中島 厚, 阿部 浩也, 節原 裕一
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会, (.3.11-14)
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge Characteristics and Interaction with Soft Materials in Vacuum, Air and Liquid

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, A. Miyazaki and K. Takenaka
    • 学会等名
      14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2014-09-15 – 2014-09-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Spatio-temporal behaviors of atmospheric-pressure discharges

    • 著者名/発表者名
      Y. Setsuhara, G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      The 20th Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-01-27 – 2015-01-29
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

    • 著者名/発表者名
      竹中弘祐,内田儀一郎,節原裕一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420738
  • [学会発表] Spatial and Temporal Properties of Atmospheric-Pressure Dbd Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Kawabata, K. Takenaka, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      The 2nd Int. Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT2015)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 大気圧プラズマジェット放電特性に及ぼす放電電圧パルス幅の効果

    • 著者名/発表者名
      内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 川端 一史, 節原 裕一
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] 気液界面を介した大気圧非平衡プラズマと生体分子との相互作用

    • 著者名/発表者名
      竹中 弘祐, 川端 一史, 宮崎 敦史, 阿部 浩也, 内田 儀一郎, 節原 裕一
    • 学会等名
      第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge Characteristics and Radical Generation in Dielectric Barrier Discharge

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2014-09-15 – 2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Discharge Properties and Radical-Generation Chracteristics in DBD Plasma Jet

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Takenaka, K. Kawabata, A. Miyazaki, Y. Setsuhara, K. Takeda, K. Ishikawa and M. Hori
    • 学会等名
      14th Int. Conf. on Plasma Surface Engineering,
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2014-09-15 – 2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • [学会発表] Interactions of Atmospheric Pressure Non-equilibrium-Plasma with Organic Materials through Gas/Liquid Interface

    • 著者名/発表者名
      K. Takenaka, A. Miyazaki, K. Kawabata, G. Uchida and Y. Setsuhara
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Plasma Medicine (ICPM5)
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2014-05-18 – 2014-05-23
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108003
  • 1.  三宅 正司 (40029286)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  高橋 和生 (50335189)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 13件
  • 3.  竹中 弘祐 (60432423)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 168件
  • 4.  斧 高一 (30311731)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 13件
  • 5.  巻野 勇喜雄 (20089890)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  内田 儀一郎 (90422435)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 98件
  • 7.  庄司 多津男 (50115581)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  緒方 潔
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  熊谷 正夫
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  津村 卓也 (00283812)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  堀 勝 (80242824)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 5件
  • 12.  田中 昭代 (10136484)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  池原 譲 (10311440)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  中田 一博 (80112069)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  柴柳 敏哉 (10187411)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  田中 学 (20243272)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  藤井 英俊 (00247230)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  金子 俊郎 (30312599)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  清水 伸幸 (70262128)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  平田 孝道 (80260420)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 21.  阿部 浩也 (50346136)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 22.  奈賀 正明 (00005985)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  村川 英一 (60166270)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  池内 健二 (10030058)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  田原 弘一 (20207210)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  大前 伸夫 (60029345)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  田川 雅人 (10216806)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  安井 利明 (10263229)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  藤田 雅之 (30260178)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 30.  橋田 昌樹 (50291034)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 31.  藤山 寛 (20112310)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  水野 彰 (20144199)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  吉川 史隆 (40224985)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  小野 亮 (90323443)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  小田 哲治 (90107532)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  SAMANDI Maso
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  DUNNE Druce
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  木幡 護
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  佐野 三郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 40.  佐治 他三郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 41.  MASOUD Saman
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 42.  DRUCE Dunne
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 43.  布村 正太
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 44.  川崎 敏之
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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