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遠藤 勝義  ENDO Katsuyoshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90152008
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2012年度 – 2013年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2011年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2010年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2009年度 – 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2007年度 – 2009年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る
2001年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
1998年度 – 2000年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授
1992年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 助教授
1989年度 – 1990年度: 大阪大学, 工学部, 助手
1986年度: 大阪大学, 工学部, 助手
1986年度: 金沢大学, 工学部(現在 大阪大学・工学部), 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学
研究代表者以外
機械工作 / 機械工作・生産工学 / 応用光学・量子光工学 / 生産工学・加工学 / 電子デバイス・機器工学 / 機械材料・材料力学 / 機械工作・生産工学 / 機械材料工学
キーワード
研究代表者
STS / STM / 超精密加工 / 形状誤差 / 5軸同時制御 / 法線ベクトル / 高精度ミラー / 形状測定 / Si(001)2×1表面 / 局所状態密度 … もっと見る / 第一原理分子動力学 / surface defect / surface morphology / high-frequency pulse / surface characterization / ultra-precision machining / insulator / scanning tunneling spectroscopy / scanning tunneling microscope / 表面欠陥 / 表面微細構造 / 高周波パルス / 表面キャラクタリゼーション / 絶縁体 / 走査トンネル分光法 / 走査トンネル顕微鏡 / two-photon absorption / crystalline silicon / silane / excimer laser / cryogenic substrate / condensed phase / deposition / photochemical reaction / ダイヤモンド成膜 / 原子状水素 / 凝集用 / KrF / ArF / 無定形炭素 / ダイヤモンド合成 / μc-Si / 凝集相 / C系薄膜 / Si系薄膜 / エキシマレーザー / 1光子吸収 / 2光子吸収 / 低温凝集相 / 光化学反応 / Si wafer / Elementary analysis / Si (001) 2*1 surface / Local density of states / First principle MD / H-terminated Si surface / Ab-inito MO / 電子構造 / 表面分析 / 金属汚染物 / シリコンウェーハ / 走査型トンネル分光法 / 水素終端化 / 走査型トンネル分光 / 走査型トンネル顕微鏡 / Siウェーハ / 元素分析 / Si (001) 2×1表面 / 水素終端化Si表面 / Ab-initio分子軌道法 / 発光特性 / ウエットエッチング / ワイドギャップ半導体 / 表面清浄化 / 結晶欠陥 / プロセス表面 / 表面原子構造 / 表面科学 / 窒化ガリウム / 5軸同時制御 / 走査型形状測定装置 / ナノ精度 / 非球面ミラー / ロータリーエンコーダー / アルゴリズム / 最小二乗法 / 角度検出光学系 / 高精度ゴニオメータ / ロータリーエンコーダ / スロープエラー / 形状計測 / 絶対形状測定 / 非球面光学素子 / ZrN,AlN / Si単結晶薄膜 / スパッタリング成膜 / 反応性イオンエッチング / プラズマプロセス / 表面反応素過程 … もっと見る
研究代表者以外
EEM / 走査型近接場光学顕微鏡 / フォトレジスト / HeCdレーザー / WGMモード / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 高空間分解能 / フェムト秒レーザー / SNOM / Fracture mechanics / 破壊力学 / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / 光の近接場 / Helium / Scanning Near-field Optical Microscope / scanning near-field optical microscope / レーザ / 近接場 / 表面処理 / プラズマCVD / CVD / 表面改質 / 粉末粒子 / 薄膜 / LMIS / 3次元境界要素法 / 極微小突起プローブ / 準安定粒子 / 負グロー / シース / 非発光励起種 / 時空間分解発光分光計測 / 大気圧・高周波プラズマ / Avoidance of tool breakage / Interrupted machining / Adaptive control / Tool life prediction / Cutting tool breakage / CNCシステム / 予測制御 / 欠損回避 / 工具欠損寿命 / 工具欠損回避 / 断続切削 / 適応制御 / 工具寿命予測 / CNC / 切削工具欠損 / J-integral / Plastic flow type material removal / Material removal mechanics / High speed microcutting / Engineering ceramics / Ceramics / 部分安定化ジルコニア / J積分 / 塑性変形型材料除去 / 材料除去機構 / 高速マイクロ切削 / エンジニアリングセラミックス / セラミックス / asymmetric aspheric figure / goniometers / normal vector / slope error / surface figuring / EUV / Synchrotron radiation optics / 基準面 / 法線ベクトル測定 / 非球面ミラー / X線光学素子 / 大型ミラー / 非基準面 / 法線ベクトル計測 / 非球面形状 / 集効用ミラー / 放射光 / ナノメータ / 非球面 / スロープエラー / ゴニオメータ / 法線ベクトル / 基準面無し / 形状計測 / repeatability / absolute shape measurement / optical interferometry / Helium-Neon laser / single mode optical fiber / phase shift interferometry / point light source / diffracted Spherical wavefront / EUVL露光装置 / 点光源回折干渉法 / 絶対形状計測 / 光ファイバ / 計測の再現性 / 高精度絶対形状計測 / 光干渉計測 / He-Neレーザー / シングルモード光ファイバ / 位相シフト干渉法 / 点光源 / 回折球面波 / high spatial resolution / multi photon absorption process / 3-dimensional finite element method / ultraviolet resins / micro protrusion probe / femto-second laser / evanescent field / 極微細光加工 / チタンサファイアレーザー / 多光子吸収過程 / 紫外線硬化性樹脂 / three dimensional boundary element method / micro protrusion / HeCd laser / photoresist / Morphology Dependent Resonances / Whispering Gallery Modes / spherical micro resonator / 時間領域差分法 / 走査系近接場光学顕微鏡 / 三次元境界要素法 / MDRs / WGMs / Ultra clean technology / First-principles molecular dynamics simulation / Electrochemical machining in ultrapure water / Atmospheric pressure plasma CVD / Plasma CVM / Ultra precision machining / Perfect surfaces / STM / 第一原理分子動力学シュミレーション / 超純粋電解加工 / ウルトラクリーンテクノロジー / 第一原理分子動力学シミュレーション / 超純水電解加工 / 大気圧プラズマCVD / プラズマCVM / 超精密加工 / 完全表面 / Free radicals / Sheath / Mean free path / Spatiotemporal optical emission spectroscopy / Atmospheric VHF plasma / プラズマシース / プラズマシミュレーション / 局所電界近似法 / 中性Heラジカル / 時空間分解発光分光 / 容量結合型プラズマ / 粒子密度計測 / 温度計測 / 吸収分光 / 平均自由行程 / Boundary Element Method / High Spatial Resolution / Polystirene Latex Sphere / 光による微細加工 / 微小突起 / 高分解能 / ラテックス球プローブ / 境界要素法 / Low temperature deposition / Thin film / Silicon / Surface modification / Ion gun / 表面制御 / 薄膜用基板 / イオン照射 / シリコン薄膜 / 低温成膜 / シリコン / イオンガン / coating / surface preparation / ultra-fine particle / plasma CVD / マイクロ波プラズマ / コーティング / near field / ultra precision machined surface / surface of insulator / laser / piezo actuator / surface roughness / near-field / ニアフィールド / 超精密加工表面 / 絶縁体表面 / 圧電素子 / 表面粗さ / Plasma / Classification / Surface Modification / Powder Particle / RFプラズマ / コ-ティング / プラズマ / 分級 / Ultra-thin-film / Epitaxy / Ion Implantation / アルカリハライド / 超薄膜 / エピタキシ- / イオン注入 / 近接場局所分光 / キャビティーリングダウン分光 / 輸送係数 / 衝突断面積 / ボルツマン方程式 / 吸収分光計測 / 平均自由工程 隠す
  • 研究課題

    (24件)
  • 研究成果

    (78件)
  • 共同研究者

    (22人)
  •  次世代高精度ミラー製作のための法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  GaNデバイス基坂プロセス表面の原子構造・電子状態のキャラクタリゼーション研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  次世代高精度ミラー製作のための傾斜角積分型超精密形状計測法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  基準面を用いない高精度非球面X線ミラーの超精密形状計測に関する研究

    • 研究代表者
      東 保男
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
  •  高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法

    • 研究代表者
      押鐘 寧
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発

    • 研究代表者
      押鐘 寧
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  完全表面の創成

    • 研究代表者
      森 勇藏 (森 勇蔵)
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 2002
    • 研究種目
      特別推進研究(COE)
    • 研究機関
      大阪大学
  •  エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  STM/STSによるシリコンウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析研究代表者

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

    • 研究代表者
      森 勇蔵 (森 勇藏)
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光の近接場を利用した微細加工

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  EEM(Elastic Emission Machining)用粉末粒子の表面コーティングに関する研究

    • 研究代表者
      森 勇藏
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      大阪大学
  •  薄膜作製における基板表面制御に関する研究

    • 研究代表者
      森 勇藏
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  EEM(Elastic Emission Machining)用用微細粉末粒子の表面処理装置の開発

    • 研究代表者
      森 勇蔵
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      大阪大学
  •  切削工具の欠損寿命予測とその回避機能を付与したCNCシステムに関する研究

    • 研究代表者
      上田 完次
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      金沢大学
  •  エンジニアリングセラミックスの高速マイクロ切削に関する研究

    • 研究代表者
      杉田 忠彰
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      金沢大学

すべて 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 超精密加工と表面科学原子レベルの-生産技術2014

    • 著者名/発表者名
      遠藤 勝義
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [図書] Stoichiometry and Materials Science2012

    • 著者名/発表者名
      A. N. Hattori, K. Endo InTech
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [図書] GaN(0001) surface structure, morphology, and stoichiometry through various cleaning procedures/ Stoichiometry and Materials Scienee2012

    • 著者名/発表者名
      A.N.Hattori, K.Endo
    • 総ページ数
      22
    • 出版者
      InTech-open science(in-press)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [雑誌論文] Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method2014

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, K. Okuda, K. Usuki, M. Nakano, K. Yamamura, K. Endo
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: vol.85 号: 4 ページ: 45101-45105

    • DOI

      10.1063/1.4869473

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [雑誌論文] Profile measurement of concave spherical mirror and a flat mirror using a high-speed nanoprofiler2013

    • 著者名/発表者名
      Koji Usuki, Takao Kitayama, Hiroki Matsumura, Takuya Kojima, Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi and Katsuyoshi Endo
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: vol.8 号: 1 ページ: 231-241

    • DOI

      10.1186/1556-276x-8-231

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [雑誌論文] Effects of a Laser Beam Profile to Measure an Aspheric Mirror on a High-Speed Nanoprofiler Using Normal Vector Tracing Method2012

    • 著者名/発表者名
      H. Matsumura, D.Tanarua,T. Kitayama, K. Usuki, T.Kojima, J. Uchikoshi, Y. Higashi, and K. Endo
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: vol.12

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [雑誌論文] Effects of a laser beam profile to measure an aspheric mirror on a high-speed nanoprofiler using normal vector tracing method2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Matsumura, Daisuke Tonaru, Takao Kitayama, Koji Usuki, Takuya, Kojima, Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi, Katsuyoshi Endo
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: vol.12 ページ: S47-S51

    • DOI

      10.1016/j.cap.2012.04.022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [雑誌論文] Development of a High-Speed Nanoprofiler Using Normal Vector Tracing2012

    • 著者名/発表者名
      Takao Kitayama, Daisuke Tonaru, Hiroki Matsumura,Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi and Katsuyoshi Endo
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol. 516 ページ: 606-611

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [雑誌論文] Surface treatments toward obtaining clean GaN(0001) surfaces on commercial hydride vapor phase epitaxy and metal-organic chemical vapor deposition substrates in ultra high vacuum2010

    • 著者名/発表者名
      A. N. Hattori, K. Endo, K. Hattori, and H. Daimon
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 256 ページ: 4745-4756

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [雑誌論文] Surface Science Chemical etchant dependence of surface structure and morphology on GaN(0001) substrates2010

    • 著者名/発表者名
      A. N. Hattori, F. Kawamura, M. Yoshimura, Y. Kitaoka, Y. Mori, K. Hattori, H. Daimon, and K. Endo
    • 雑誌名

      Surface Science

      巻: 604 ページ: 1247-1253

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [雑誌論文] A New Designed Ultra-high Precision Profiler - Study on Slope Error Measurement of a Mandrel for Wolter type-I mirror Fabrication -2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuo.HIGASHI^<*a>.Yuichi.TAKAIE^b, Katsuyoshi.ENDO^b, Tatsuya.KUME^a, Kazuhiro.ENAMI^a, Kazuto.YAMAUCHI^c, Kazuya.YAMAMURA^c, Toshihisa.SANO^c, Kenji.UENO^a, Yuzo.MORI^c
    • 雑誌名

      Proc.Of the 8^<th> International Conference on X-ray Microscopy ; 26-30, July, at Egret Himeji 2006.6月発行(In printing)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics -Calibration of the rotational angle error of the rotary encoders-2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Higashi, Yuichi Takaie, Katsuyoshi Endo, Tatsuya Kume, Kazuhiro Enami, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kenii Ueno, Yuzo mori
    • 雑誌名

      SR12006, Proc. of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA (In printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      SR12006, Proc.of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Higashi, Yuichi Takaie, Katsuyoshi Endo, Tatsuya Kume, Kazuhiro Enami, Kazuto Yamauchi, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Kenii Ueno, Yuzo mori
    • 雑誌名

      SR12006, Proc. of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA (In printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発2006

    • 著者名/発表者名
      森勇蔵, 遠藤勝義, 宮脇崇, 瀬戸口大輔, 鷹家優一, 東保男, 久米達哉, 江並和宏
    • 雑誌名

      2006年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

    • NAID

      130005027107

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics-Calibration of the rotational angle error of the rotary encoders-2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      SR12006, Proc.of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] A New Designed Ultra-high Precision Profiler2006

    • 著者名/発表者名
      Y.HIGASHI^a, Y.TAKAIE^b, K.ENDO^b, T.KUME^a, K.ENAMI^a, K.YAMAUCHI^c, K.YAMAMURA^c, H.SANO^c, K.UENO^a, Y.MORI^c
    • 雑誌名

      Proc of SPIE : Advances in Mirror Technology for X-ray, EUV Lithography, laser, and Other Applications, 3 August 2005, Sandiego, CA, USA Vol.# 5921(In printing)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] A new Designed High-Precision Profiler2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      SPIE Annual Meeting (Opto photonics) Proceedings, San Diego, USA (in printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] A new Designed High-Precision Profiler-Study on Mandrel measurement-2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      XRM2005 International Meeting Proceedings Himeji, Japan (in printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] A new Designed High-Precision Profiler - Study on Mandrel measurement-2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      XRM2005 International Meeting Proceedings Hirneji, Japan, in printing (2005) (In printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [雑誌論文] A new Designed High-Precision Profiler2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, Y.Takaie, K.Endo, T.Kume, K.Enami, K.Yamauchi, K.Yamamura, K.Ueno, Y.Mori
    • 雑誌名

      SPIE Annual Meeting (Opto photonics) Proceedings, San Diego, USA, in printing (2005) (In printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360073
  • [産業財産権] NORMAL VECTOR TRACING ULTRA-PRECISION SHAPE MEASUREMENT METHOD2013

    • 発明者名
      遠藤勝義、打越純一、東保男
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-02-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定法2011

    • 発明者名
      遠藤勝義, 打越純一
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2011-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法2010

    • 発明者名
      遠藤勝義、打越純一、東保男
    • 権利者名
      大阪大学、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2010-182197
    • 出願年月日
      2010-08-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置2009

    • 発明者名
      遠藤勝義、東保男
    • 権利者名
      大阪大学、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2009-180408
    • 出願年月日
      2009-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 回転対称形状の超精密形状測定法及びその装置2009

    • 発明者名
      遠藤勝義
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権番号
      2009-180408
    • 出願年月日
      2009-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義、東保男
    • 権利者名
      大阪大学、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2008-203495
    • 出願年月日
      2008-08-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 光路長の自律校正を用いた法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義, 東保男
    • 権利者名
      大阪大学, 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2008-203494
    • 取得年月日
      2008-08-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義, 東保男
    • 権利者名
      大阪大学, 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2008-203495
    • 取得年月日
      2008-08-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 超精密形状測定方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義、稲垣耕司
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権番号
      2008-169911
    • 出願年月日
      2008-06-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 光路長の自律校正を用いた法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義、東保男
    • 権利者名
      大阪大学、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権番号
      2008-203494
    • 出願年月日
      2008-08-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義, 東保男
    • 権利者名
      大阪大学, 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
    • 出願年月日
      2008-08-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [産業財産権] 超精密形状測定方法2008

    • 発明者名
      遠藤勝義, 稲垣耕司
    • 権利者名
      大阪大学
    • 出願年月日
      2008-06-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法の開発-自律較正法を用いた光路の絶対長決定-2012

    • 著者名/発表者名
      北山貴雄, 戸成大輔, 松村拓己, 薄木宏治, 小嶋拓也, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      首都大学東京(Japan)
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Development of a new high-speed nano-profiler based on normal vector tracing for high-accuracy aspheric mirrors2012

    • 著者名/発表者名
      K. Endo
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Siウェハ表面の原子構造・電子状態2011

    • 著者名/発表者名
      遠藤勝義
    • 学会等名
      第31回表面科学学術講演会講演
    • 発表場所
      タワーホール船堀(Japan)(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法の開発-小曲率半径R=10mm球面ミラー形状測定の可能性-2011

    • 著者名/発表者名
      松村拓己, 戸成大祐, 北山貴雄, 薄木宏治, 小嶋拓也, 打越純一, 東保男, 遠藤勝義
    • 学会等名
      精密工学会2011年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県立大学(Japan)
    • 年月日
      2011-06-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Design of Optical Head for New High-Speed Nanoprofiler2011

    • 著者名/発表者名
      H. Matsumura, D. Tonaru,T. Kitayama, K. Usuki, T.Kojima, J. Uchikoshi, Y. Higashi, and K. Endo
    • 学会等名
      Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2011-10-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] 法線ベクトル検出型超精密形状測定法による球面ミラーの形状測定2011

    • 著者名/発表者名
      戸成大祐、松村拓己、北山貴雄、打越純一、東保男、遠藤勝義
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東洋大学、東京都
    • 年月日
      2011-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発-誤差解析と測定装置の校正-2011

    • 著者名/発表者名
      戸成大祐, 松村拓己, 北山貴雄, 打越純一, 東保男, 遠藤勝義
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢大学(Japan)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Nano-radian resolution gradient integrated surface profiler2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, Zhang Xiao-Wei,J. Uchikoshi, T. Kume, K.Enami, and K. Endo
    • 学会等名
      SPIE 0ptifab2011
    • 発表場所
      Rochester, NY, USA
    • 年月日
      2011-05-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] UHV in-situ Photoluminescence for GaN(0001) Substrates in Different Preparations2011

    • 著者名/発表者名
      A. N. Hattori, K. Hattori, Y. Moriwaki, A. Yamamoto, H. Daimon, and K. Endo
    • 学会等名
      International Symposium on Surface Science6
    • 発表場所
      タワーホール船堀(東京都)
    • 年月日
      2011-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] Development of a High-Speed Nanoprofiler Using NormalVector Tracing2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kitayama, D.Tonaru, H.Matsumura, J.Uchikoshi, Y.Higashi, and K.Endo
    • 学会等名
      4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Hong Kong, China
    • 年月日
      2011-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] 表面の原子構造観察とナノ形状測定2011

    • 著者名/発表者名
      遠藤勝義
    • 学会等名
      精密工学会2011年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県立大学(Japan)(招待講演)
    • 年月日
      2011-06-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] 表面清浄化前後のGaN(0001)基板の超高真空その場発光測定2011

    • 著者名/発表者名
      服部梓、服部賢、森脇祐太、山本愛士、大門寛、遠藤勝義
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      富山大学五福キャンパス
    • 年月日
      2011-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] 次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型ナノ精度形状測定装置の開発-測定原理と測定方法-2010

    • 著者名/発表者名
      東保夫、遠藤勝義、打越純一、久米達哉、江並和宏
    • 学会等名
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋大学、名古屋市
    • 年月日
      2010-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Development of a new high-speed nano-profiler using normal vector tracing method for next-generation ultraprecision mirrors2010

    • 著者名/発表者名
      K.Endo, J.Uchikoshi, Y.Higashi
    • 学会等名
      Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka、Japan
    • 年月日
      2010-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226005
  • [学会発表] Surface treatments toward obtaining clean GaN(0001) substrate surfaces2010

    • 著者名/発表者名
      A.N.Hattori, K.Hattori, H.Daimon, K.Endo
    • 学会等名
      Asia Pacific Interfinish 2010
    • 発表場所
      Singapore (Singapore)
    • 年月日
      2010-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] GaN(0001)表面の清浄化手法2010

    • 著者名/発表者名
      服部梓、遠藤勝義、服部賢、大門寛
    • 学会等名
      第57回応用物理学会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎市)
    • 年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] Clean GaN(0001) substrate surface structures and their optical properties2010

    • 著者名/発表者名
      A.N.Hattori, K.Hattori, H.Daimon, K.Endo
    • 学会等名
      Core Research and Engineering of Advanced Materials-Interdisciplinary Education Center for Materials Science
    • 発表場所
      Osaka (Japan)
    • 年月日
      2010-06-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] GaN(0001)表面の清浄化手法2010

    • 著者名/発表者名
      服部梓、遠藤勝義、服部賢、大門寛
    • 学会等名
      日本物理学会第59回秋季大会
    • 発表場所
      大阪府立大学(堺市)
    • 年月日
      2010-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656038
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究 -法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      精密工学会2009年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京都文京区
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of surface gradient integrated profiler-Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis2009

    • 著者名/発表者名
      T.Ueno, S.Tachibanada, Y.Higashi, J.Uchikoshi, K.Endo
    • 学会等名
      3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      福岡県北九州市
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of surface gradient integrated profiler-Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis-2009

    • 著者名/発表者名
      T.Ueno, S.Tachibanada, Y.Higashi, J.Uchikoshi, K.Endo
    • 学会等名
      3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Kitakyusyu, Japan
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      精密工学会2009年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      豊中市
    • 年月日
      2009-05-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      精密工学会2009年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-小型試料の高精度,高速計測装置の開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      神戸市
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] High-precision profile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, T.Kume, K.Enami, K.Endo, J.Uchikoshi, K.Nomura, T.Miyawaki, S.Tachibanada, T.Ueno
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2009
    • 発表場所
      San Diego, California USA
    • 年月日
      2009-08-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-小型試料の高精度,高速計測装置の開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県神戸市
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] High-precision prof ile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, T. Kume, K. Enami, K. Endo, J. Uchikoshi, K. Nomura, T. Miyawaki, S. Tac hibanada, T. Ueno
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2009
    • 発表場所
      SanDiego, USA
    • 年月日
      2009-08-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] High-precision profile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, T.Kume, K.Enami, K.Endo, J.Uchikoshi, K.Nomura, T.Miyawaki, S.Tachibanada, T.Ueno
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2009
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2009-08-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of surface gradient integrated profiler -Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis from normal vector to surface profile-2009

    • 著者名/発表者名
      T. Ueno, S. Tachibanada, Y. Higashi, K. Endo
    • 学会等名
      First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology -Surface and Thin Film Processing-
    • 発表場所
      大阪府吹田市
    • 年月日
      2009-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究 -法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      精密工学会2009年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪府豊中市
    • 年月日
      2009-05-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of surface gradient integrated profiler-Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis from normal vector tosurface profile-2009

    • 著者名/発表者名
      T.Ueno, S.Tachibanada, Y.Higashi, K.Endo
    • 学会等名
      First International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology-Surface and Thin Film Processing-
    • 発表場所
      Suita
    • 年月日
      2009-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究 -法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2008

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      精密工学会2008年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪府堺市
    • 年月日
      2008-07-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究,-法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2008

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 遠藤勝義, 東保男
    • 発表場所
      堺市
    • 年月日
      2008-07-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of a surface gradient integrated profiler : precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis from normal vector to surface profile2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, K. Endo, et al.
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2008
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2008-08-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of asurface gradient integrated profiler : precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis fromnormal vector to surface profile2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, T.Ueno, K.Endo, J.Uchikoshi, T.Kume, K.Enami
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2008
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2008-08-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状計測法 -自立較正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      宮城県仙台市
    • 年月日
      2008-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状計測法,-自立較正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008

    • 著者名/発表者名
      上野智裕, 遠藤勝義, 東保男
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      2008-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定装置の研究-自立校正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008

    • 著者名/発表者名
      東保男、遠藤勝義、打越純一、他
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県川崎市
    • 年月日
      2008-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定装置の研究-自立校正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008

    • 著者名/発表者名
      東保男、遠藤勝義、打越純一, 他
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      川崎市
    • 年月日
      2008-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Development of a s urface gradient integrated profiler : precise coordinate determination of norm al vector measured points by self-cali bration method and new data analysis from normal vector to surface profile2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, T. Ueno, K. Endo, J. Uchikosh i, T. Kume, K. Enami
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics 2008
    • 発表場所
      SanDiego, USA
    • 年月日
      2008-08-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定法-焦点距離150mmの軸外し放物面での測定点座標の決定-2007

    • 著者名/発表者名
      東保男、遠藤勝義、打越純一、他
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      北海道旭川市
    • 年月日
      2007-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Higashi, K.Endo, T.Kume, J.Uchikoshi, K.Ueno, Y.Mori
    • 学会等名
      SPIE Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2007-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定法-焦点距離150mmの軸外し放物面での測定点座標の決定-2007

    • 著者名/発表者名
      東保男、遠藤勝義、打越純一, 他
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川市
    • 年月日
      2007-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, K. Endo, T. Kume, J. Uchikosh i, K. Ueno, Y. Mori
    • 学会等名
      SPIE Annual Meeting
    • 発表場所
      SanDiego, USA
    • 年月日
      2007-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • [学会発表] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Higashi, K. Endo, et. al.
    • 学会等名
      SPIE Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, UAS
    • 年月日
      2007-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19206019
  • 1.  片岡 俊彦 (50029328)
    共同の研究課題数: 16件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  押鐘 寧 (40263206)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  森 勇藏 (00029125)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 11件
  • 4.  山内 和人 (10174575)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 10件
  • 5.  井上 晴行 (30304009)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  江並 和宏 (00370073)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 16件
  • 7.  山村 和也 (60240074)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 10件
  • 8.  久米 達哉 (40353362)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 18件
  • 9.  東 保男 (70208742)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 38件
  • 10.  打越 純一 (90273581)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 28件
  • 11.  杉山 和久 (30112014)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  佐野 泰久 (40252598)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 4件
  • 13.  杉田 忠彰 (70019769)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  上田 完次 (50031133)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  服部 梓 (80464238)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 10件
  • 16.  広瀬 喜久治 (10073892)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  芳井 熊安 (30029152)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  森田 瑞穂 (50157905)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  上野 健治 (40370069)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 10件
  • 20.  西 誠 (00189250)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  青野 正和 (10184053)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  安武 潔 (80166503)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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