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酒井 洋輔  SAKAI Yosuke

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20002199
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2007年度: 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授
2006年度: 北海道大学, 大学院情報科学研究科, 教授
2004年度 – 2005年度: 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授
1997年度 – 2003年度: 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授
1993年度 – 1997年度: 北海道大学, 工学部, 教授 … もっと見る
1987年度 – 1992年度: 北海道大学, 工学部, 助教授
1986年度: 北海道大学, 医療技術短期大学部, 教授
1985年度: 北海道大学, 短大, 教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電力工学 / 電力工学・電気機器工学 / 電力工学・電気機器工学 / プラズマ理工学
研究代表者以外
電力工学 / 電力工学・電気機器工学 / プラズマ理工学 / 高分子物性・高分子材料 / 資源開発工学 / 資源開発工学
キーワード
研究代表者
放電分解 / パーフルオロカーボン / 非平衡プラズマ / 真空紫外光 / Paschen curve / per-fluorocarbon / amorphous CF film / 絶縁体力向上 / 絶縁耐力向上 / パッシェン曲線 … もっと見る / アモルファスCF薄膜 / 電気絶縁 / 薄膜堆積 / フルオロカーボン / non-equilibrium plasma / LID / 窒素酸化物 / 電子付着係数 / 電離係数 / 二酸化窒素 / a-C:F film / breakdown strength / low dielectric strength / plasma CVD / insulation film / a-C : F膜 / a-C:F膜 / 絶縁耐力 / 低誘電率 / プラズマCVD / 絶縁膜 / film precursor / plasma emission spectra / dilectric strength enhancement / perfluorocarbon / electrical insulation / 膜堆積プリカーサ / 膜堆積カーサ / プラズマ発光スペクトル / enhancement of dielectric strength / electric insulation / 薄膜推積 / synergy effect / vacuum ultraviolet / nitrogen oxide / inter-layer insulation / film deposition / fluorocarbon / laser spectroscopy / バリア放電 / フロン / 大気汚染 / 相乗効果 / 真空紫外線 / 層間絶縁 / 分光診断 / laser-spectroscopy / modeling / vacuum-ultra-violet-light / lamp / excimer / レーザ分光診断 / モデリング / ランプ / エキシマ / Decomposition by UV / Electron attachment coefficient / Glow discharge / lonization coefficient / Decomposition by discharge / Nitrogen-dioxide / コロナ放電 / 紫外線分解 / グロー放電 / Dielectric Constant / Dielectric Material / Hydrophilic Gell / Water / Supercooling / Condenser For Energy Compression / Pulse Power / 電場・磁場効果 / スペ-サ効果 / 凍結温度 / 過冷却水 / 水コンデンサ- / 誘電率 / 誘電体 / 親水性ゲル / 水 / 過冷却 / エネルギ-圧縮用コンデンサ- / パルスパワ- / アルゴンフッ素混合液体 / 電子注入 / 希ガス液体 / レーザ光励起 / 液体エキシマレーザ / 予備電離機構 / 紫外光予備電離 / エキシマレーザ / 化学反応定数 / 電子衝突断面積 / データベース / 基礎過程 / 大気汚染粒子 … もっと見る
研究代表者以外
絶縁破壊 / ベーパーミスト誘電体 / GIS / Gas Insulation / 混合ガス / SF_6 / 交流破壊電圧 / ダングリングボンド / シリル / モノシラン / ファインパウダ / ESR / fine particle measurement / dielectric liquids / dielectric strength / vapor-mist dielectric / 微粒径計測 / パルス波高分布分析 / 微粒子計測 / 誘電液体 / 電気絶縁耐力 / Insulating-breakdown Alkyl radical / Soliton / Polyenylradical / Polyacetylene / ESR法 / チーグラー触媒 / インパルス破壊 / 絶縁破壊 ポリエニルラジカル / ヨウ素 / 伝導度 / ポリエチレン / ポリアセチレン・ポリエニルラジカル / ドーピング / アルキルラジカル / ソリトン / ポリエニルラジカル / ポリアセチレン / <SF_6> / Synergism / Gas Insulated Cubicle / Vapor-Mist Dielectrics / Gas Mixtures / 電子付着係数 / 実効電離係数 / 絶縁破壊特性 / c-GIS / フロロカーボン / 【SF_6】 / 相乗効果 / ガス絶縁キュービクル / ガス絶縁 / Partial discharge / Breakdown / Bubble / liquid nitrogen / Liquid helium / electrical insulation / power apparatus / superconductivity / 部分放電 / 気泡 / 液体窒素 / 液体ヘリウム / 電気絶縁 / 電力機器 / 超伝導 / Sound of rock failure / Rock noise / Source of noise / Elastic wave / Electrostatic noise / Piezoelectric effect / Cable sensor / 動的応答 / 衝撃荷重 / 波動方程式 / 強誘電性高分子材料 / 電源 / 岩盤崩壊音 / 岩盤破壊音 / 震源 / 波動 / 静電気ノイズ / 圧電効果 / ケーブルセンサ / Distribution of the Size of Rocks / Distribution of Joint Space / Experimental System for Slope Instability / Impact load / Slope Instability / 斜面の安定性 / コンピュ-タ制御 / 電磁制御モデル / 岩盤崩壊 / 落石粒度分布 / ジョイント間隔分布 / モデル実験システム / 落石衝撃荷重 / 斜面崩壊 / Fine Powder Dielectrics / Uniform Electric Field / AC Breakdown Voltage / Electrical Insulation / Gaseous Dielectrics / Vapor-mist Dielectrics / 衝突電離 / モンテカルロ法 / 計算機シミュレーション / 液体誘電体 / 気体誘電体 / ガス絶縁材料 / 平等電界 / 絶縁ガス / ファインパウダー / 絶縁材料 / プラズマモデリング / 反応性rfプラズマ / プラズマプロセス / 放電素過程 / 高温プラズマ / 気体レーザー / スペースプ / 半導体プロセ / プラズマ生成 / 放電プラズマ / 太陽風 / オーロラ / 雷 / プラズマ / 活性種 / 放電 / 励起 / 電離 / Si_3N_4 / SiO_2 / 雷インパルス / 50Hz交流 / フロン / 高電圧絶縁 / 地球環境問題 / TEOS / 電離係数 / 制御 / rfプラズマ / イオン速度分布 / ベーパーミスト絶縁 / ベ-パ-ミスト絶縁 / 微粉体絶縁 / インパルス破壊電圧 / 電気的絶縁破壊 / 膜密度 / スピン密度 / 水素含有量 / 堆積率 / ダイヤモンド構造 / 破壊電圧 / 散布 / ファン / 粒径 / Si_3N_4パウダ / SiO_2パウダ / カスプ / 磁性 / 磁気モーメント / スピングラス / ラジカル / ポリフェニルアセチレン / Rh錯体触媒 隠す
  • 研究課題

    (27件)
  • 研究成果

    (107件)
  • 共同研究者

    (49人)
  •  低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  機器導体部のプラズマCVD絶縁膜(C_xF_y高分子)によるSF_6ガス代替絶縁研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積C_xF_y膜を用いたSF_6代替絶縁方式の開発研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  放電プラズマ現象とその応用に関する企画調査

    • 研究代表者
      河合 良信
    • 研究期間 (年度)
      2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  電離気体現象とその応用に関する企画調査

    • 研究代表者
      佐藤 徳芳
    • 研究期間 (年度)
      1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  大気汚染粒子の放電分解と関連する放電基礎量のデータベース化研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  バリア放電/真空紫外光の相乗効果を用いた汚染ガス分解装置開発の基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  超伝導電力機器の電気絶縁技術に関する総合的研究

    • 研究代表者
      大久保 仁
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  地球環境問題を考慮した高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  強誘電性高分子材料を用いた岩盤破壊音計測用ケーブルセンサの基礎的研究

    • 研究代表者
      氏平 増之
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      資源開発工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  π-ラジカルの集合化による高分子スピングラスの合成とその磁気特性に関する研究

    • 研究代表者
      田畑 昌祥
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  微粉体誘電体による気体(SF_6、空気)の絶縁耐力上昇機構に関する研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  窒素酸化物のLID濃縮と放電分解に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  コロナ放電による窒素酸化物の分解に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  べーパーミストによる気体誘電体の絶縁耐力上昇機構に関する研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  エネルギ-圧縮用水コンデンサ-の過冷却状態の生成と電気的特性に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  斜面岩盤の安定性評価のための電磁制御モデル実験システムの開発

    • 研究代表者
      氏平 増之
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      資源開発工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  反応性非平衡プラズマのモデリング

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      北海道大学
  •  小型・高出力希ガス液体エキシマレーザの基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  ベーパーミスト誘電体による電力機器絶縁に関する基礎的研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  高電圧破壊によるポリエチレンのポリアセチレンへの転換に関する研究

    • 研究代表者
      田畑 昌祥
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      高分子物性・高分子材料
    • 研究機関
      北海道大学
  •  新型予備電離方式によるArF,ArCl用エキシマレーザの試作研究代表者

    • 研究代表者
      酒井 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      1985
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学
  •  SF6-フロロカーボン混合ガス絶縁キュービクル(C-GIS)の絶縁条件の研究

    • 研究代表者
      田頭 博昭
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      北海道大学

すべて 2008 2007 2006 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Plasma-enhanced chemical vapor deposition of amorphous fluorocarbon polymer films (a-C:F) on spherical surface2008

    • 著者名/発表者名
      C. Biloiu and Y. Sakai
    • 雑誌名

      IEEE transaction on Plasma Science (印刷中)

      ページ: 1-2

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析2008

    • 著者名/発表者名
      森 直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-38

    • NAID

      10025769404

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma-enhanced chemical vapor deposition of amorphous fluorocarbon polymer films (a-C:F) on spherical surface2008

    • 著者名/発表者名
      Costel Biloiu and Yosuke Sakai
    • 雑誌名

      IEEE transaction on Plasma Science

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-37

    • NAID

      10025769397

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Monte Carlo simulation of promotion of CF4 dissociation reaction by impulse-field electron acceleration method under low pressures2008

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 雑誌名

      Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-37

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Monte Carlo Analysis of the pressure-dependence of periodical response of the electron Energy distribution in radio-frequency CF_4 plasma2008

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
    • 雑誌名

      Tech. report on Electrical Discharge, IEEJ ED-08-38

      ページ: 6-6

    • NAID

      10025769404

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma-enhanced chemical vapor deposition of amorphous fluorocarbon polymer films(a-C:F)on spherical surface2008

    • 著者名/発表者名
      C. Biloiu and Y. Sakai
    • 雑誌名

      IEEE transaction on Plasma Science (印刷中)

      ページ: 1-2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-08-37

    • NAID

      10025769397

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of 28th Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 2P13-34

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakida, N. Eguti, Y. Suda, Y. Sakai
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Science and Technology/Electrical Discharge, IEEJ PST-07-49/ED-07-129

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池 広恵, 山内 達也, 須田 善行, 酒井 洋輔, 菅原 広剛
    • 雑誌名

      電気学会全国大会講演論文集 07(CD版)

      ページ: 1-221

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-54/ED-07-134

    • NAID

      10019761487

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] 衝撃電界電子加速によるCF_4分子、CFxラジカル分解の効率2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ/放電合同研究会資料 PST-07-48/ED-07-128

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] モンテカルロ法による高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析2007

    • 著者名/発表者名
      森 直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ放電合同研究会資料 PST-07-49/ED-07-129

    • NAID

      10019761434

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18> Plasma CVD and Measurement of Their Properties2007

    • 著者名/発表者名
      K. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-54/ ED-07-134

      ページ: 6-6

    • NAID

      10019761487

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Composition of two-layered amorphous fluorocarbon films by perfluorooctane plasma enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Engineering 16P-24

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Efficiency of CF_4 molecule and CFx radical decomposition by impulse-field electron acceleration2007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 雑誌名

      Tech. report on Plasma Sci. and Technology /Electrical Discharge, IEEJ PST-07-48/ED-07-128

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. 18th Int. Symp. on Plasma Chemistry 22P

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Observation of surface and cross section of amorphous fluorocarbon films composed by perfluoro-octane plasma-enhanced chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauchi, H. Koike, H. Sugawara, Y. Suda and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of 28th Int. Conf. Phenomena in Ionized Gases 2P

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] フッ化物成膜の環境応用2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 小池広恵, 内山達也, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 雑誌名

      シンポジウム2007「環境制御における最新の低温プラズマ技術とその応用」論文集 07

      ページ: 29-32

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of amorphous fluorocarbon films by C_8F_<18>/Ar plasma-enhanced chemical vapor deposition and their chemical properties2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauchi, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 18th Int. Symp. on Plasma Chem. 27P-67

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F 膜堆積-Ar混合の効果-2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会全国大会論文集 (発表予定)(未定)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜堆積-Ar混合の効果-2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 田澤将太, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会全国大会講演論文集 06(CD版)

      ページ: 1-157

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C:F films deposition by C_8F_18/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conf. on Electrical Discharge P2-11

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C : F Films Deposition by C8F18/Ar Plasma CVD and their Electrical and Chemical Properties2006

    • 著者名/発表者名
      H.Koike, Y.Sakai, Y.Suda, H.Sugawara, S.Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge 13(CD版)

      ページ: 2-11

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006

    • 著者名/発表者名
      M. -A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 145-149

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C : F膜堆積とその特性2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
    • 雑誌名

      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 06(CD版)

      ページ: 68-68

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006

    • 著者名/発表者名
      M.-A. Bratescu, Y. Yoshizaki, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara and O. Takai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 145-149

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] a-C:F films deposition by C_8F_<18>/Ar plasma CVD and their electrical and chemical properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara and S. Tazawa
    • 雑誌名

      Proc. of 13th Asian Conference on Electrical Discharge P2-11

      ページ: 16-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>/Ar プラズマCVDを用いたa-C : F膜の生成とその電気的特性の評価2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行, 田澤将太
    • 雑誌名

      放電学会年次大会講演論文集 06(CD版)

      ページ: 61-62

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Bulletin of the American Physical Society Vol.50 (7)

      ページ: 21-21

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y.sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceeding of 2005 IEEE (15^<th>) International Conference on Dielectric Liquids 12(CD版)

      ページ: 421-424

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their chemical and electrical characteristics2005

    • 著者名/発表者名
      S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 雑誌名

      Tech. l report on Electrical Discharge, IEEJ ED-05-67

      ページ: 6-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their Properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, Y. Suda, and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Bulletin of The American Physical Society Vol.50(7)

      ページ: 21-21

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 2005-IEEE (15^<th>) Int. I Conf. on Dielectric Liquids

      ページ: 421-424

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases 18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Application of Perfluorocarbon Liquids for a-C:F Film Production on Electrodes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai, S. Tazawa, M-A Bratescu, Y. Suda and H. Sugawara
    • 雑誌名

      Proc. of 2005-IEEE (15th) International Conference on Dielectric Liquids

      ページ: 421-424

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Electron swarms and cross section data2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai
    • 雑誌名

      14^<th> International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms 8

      ページ: 33-33

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Plasma CVD of a-C:F Films Using C_8F_<18> and Characterization of their properties2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      58^<th> Annual Gaseous Electronics Conference, Bulletin of The American Physical Society 50(7)

      ページ: 21-21

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Computational study on fundamental properties of CF_4/N_2 plasma and application of impulse-field electron acceleration to CF_4 Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, Y. Ishihara, R. Saito and Y. Sakai
    • 雑誌名

      Proc. of XXVII Int. Conf. on Phenomena in lonized Gases 18-246

      ページ: 4-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその科学的、電気的特性2005

    • 著者名/発表者名
      田澤 将太, 酒井 洋輔, 須田 善行, 菅原 広剛
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-05-67

      ページ: 67-72

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその化学的,電気的特性2005

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-05-67

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer(a-C:F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from neofluoro-octane vapor II :2004

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, H.Sugawara, A.Ohta
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech.A 22(4)

      ページ: 1158-1165

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜の電極面上堆積とガス絶縁破壊電圧の上昇効果2004

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会・基礎・材料・共通部門大会講演論文集

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Deposition of low-k film on electrodes by C_8F_<18> plasma CVD and enhancement of gas breakdown voltage2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tazawa, Y.Sakai, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Proc.of 2004 Annual Conference of Fundamentals and Material Society, IEE Japan X-5

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C : F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor I : deposition, morphology, structural and chemical properties2004

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, Y.Suda, A.Ohta
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech. Vol.22(1)

      ページ: 13-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Laser spectroscopy of the Ar(1s_<3.5>) and CH in Ar+CH_4 DBD for a-C : H deposition2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Yoshizaki, M.A.Bratescu, Y.Sakai, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      T.IEE Japan Vol.124-A(2)

      ページ: 158-163

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Ar+CH_4バリア放電を用いたa-C:H堆積におけるAr(1s_<3,5>)およびCHのレーザ分光診断2004

    • 著者名/発表者名
      吉崎泰直, M.A.Bratescu, 酒井洋輔, 須田善行
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 124(2)

      ページ: 158-163

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C:F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor I : deposition, morphology, structural and chemical properties2004

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, Y.Suda, A.Ohta
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol. 22

      ページ: 13-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Electron-Molecule collision processes in insulating gas mixtures-Investigation of synergy mechanism2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ishigaki, H.Hiroti, H.Sugawara, Y.Sakai
    • 雑誌名

      T.IEE Japan Vol.124-A(2)

      ページ: 126-131

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Decomposed fragment identification in C_8F_<18> RF plasma for a-C : F film production2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M.A.Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Abstracts of 57^<th> Annual Gaseous Electronics Conference ES1-49

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] a-C:F film coated electrodes for electrical insulation2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M.A.Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proc.12^<th> Asian Conference on Electrical Discharge

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜の電極面上堆積とガス絶縁破壊電圧の上昇効果2004

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      電気学会・基礎・材料・共通部門大会 講演論文集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Decomposed fragment identification in C_8F_<18> RF plasma for a-C:F film production2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M.A.Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Abstracts of 57^<th> Annual Gaseous Electronics Conference

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] 混合絶縁気体中の電子緩和過程-相乗効果発生機構の検討-2004

    • 著者名/発表者名
      石垣卓也, 広地裕樹, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 124(2)

      ページ: 126-131

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] a-C:F Film Coated Electrodes For Electrical Insulation2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M-A Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proceedings of the 12th Asian Conference on Electrical Discharge D

      ページ: 404-407

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [雑誌論文] Relationship between the C_8F_<18> plasma and a-C : F film properties by PECVD2004

    • 著者名/発表者名
      A.Ohta, S.Tazawa, Y.Sakai, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Proc.of 21^<st> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Relationship between the C_8F_<18> plasma and a-C:F film properties by PECVD2004

    • 著者名/発表者名
      A.Ohta, S.Tazawa, Y.Sakai, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      第21回プラズマプロセシング研究会論文集

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C:F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluoro-octane vapor. II:2004

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, H.Sugawara, A.Ohta
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech.A 22(4)

      ページ: 1158-1165

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Enhancement of Breakdown Voltages between a-C:F Film Coated Electrodes in N_2, Ar and He Gases2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tazawa, A.Ohta, Y.Sakai, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      第21回プラズマプロセシング研究会論文集

      ページ: 154-155

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Enhancement of Breakdown Voltages between a-C : F Film Coated Electrodes in N_2, Ar and He Gases2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tazawa, A.Ohta, Y.Sakai, M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Proc.of 21^<st> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 154-155

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] a-C : F film coated electrodes for electrical insulation2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sakai, S.Tazawa, M.A.Bratescu, Y.Suda, H.Sugawara
    • 雑誌名

      Proc.12^<th> Asian Conference on Electrical Discharge

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluoroca rbon polymer (a-C : F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluoro-octane vapor II : Dielectric and insulating properties2004

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, H.Sugawara, A.Ohta
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech. Vol.22(4)

      ページ: 1158-1165

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C:F) films prepared in perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor plasmas2003

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, A.Ohta, Y.Suda
    • 雑誌名

      Proc.26^<th> Int.Conf.on Phenomena in Ionized Gase

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] a-C : F : film production by C_8F_<18> vapor plasma CVD and evaluation of the film properties2003

    • 著者名/発表者名
      A.Ohta, C.Biloiu, Y.Sakai, M.A.Bratescu, Y.Suda
    • 雑誌名

      Papers of Technical Committee for Electrical Discharges, IEE Japan ED-03-115

      ページ: 49-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarb on polymer (a-C : F) films prepared in perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor Plasmas2003

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, A.Ohta, Y.Suda
    • 雑誌名

      Proc.of 26^<th> Int.Conf.on Phenomena in Ionized Gases

      ページ: 1-2

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer films prepared in perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor plasma CVD for an application of electrical insulation2003

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, Y.Suda, A.Ohta
    • 雑誌名

      Proc.of Int.Sym.on Plasma Chemistry

      ページ: 500-505

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer films prepared in perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor plasma CVD for an application of electrical insulation2003

    • 著者名/発表者名
      C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, Y.Suda, A.Ohta
    • 雑誌名

      Proc.of 16^<th> Int.Sym.on Plasma Chemistry

      ページ: 500-505

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDを用いたa-C:F膜の生成とその特性の評価2003

    • 著者名/発表者名
      太田章嗣, C.Biloiu, 酒井 洋輔, M.A.Bratescu, 須田 善行
    • 雑誌名

      電気学会放電研究会資料 ED-03-115

      ページ: 49-54

    • NAID

      10018985552

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360143
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No. 2-093)2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 封じきりC8F18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積(No.2-093)2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2008

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
    • 学会等名
      The 2008 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積(No.1-208)2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗、小池広恵、山内達也、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工大(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Deposition of a-C:F Films by C_8F_18 Plasma CVD and their Characterization2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, T. Yamauti, Y. Suda, Y. Sakai, H. Sugawara
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロ法によるCF_4RFプラズマの構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、江口礼良、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Relation between optical emission spectra observed in C_8F_18 plasma CVD and chemical bonding in a-C:F films2007

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, T. Yamauti
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその評価(No.1-221)2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、山内達也、須由善行、酒井洋輔、菅原広剛
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Electron acceleration suitable for decomposition of CF_4 molecules and CFx radicals2007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakida, N. Eguti, N. Mori, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF4 RF plasmas using a fluid model-Response of electric field in the plasma bulk-2007

    • 著者名/発表者名
      N. Eguti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Intermittent deposition of two-layered a-C:F films by C8F18 plasma CVD in closed system2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamauti, H. Sugawara, Y. Sakai, Y. Suda, H. Koike
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Modeling of Electron-lon Collisions in Simulation of Radio-Frequency CF4 Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF_4中の衝撃電界電子加速におけるエネルギー効率の電界波形依存性(No.1-070)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、森直樹、菅原広剛、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF4分子、CF_xラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 高周波CF_4プラズマシミュレーションにおける電子-イオン衝突のモデリング(No.1-068)2007

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大(富山)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成(No.104)2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] 流体モデルによるCF_4RFプラズマの構造解析-バルクにおける電界の応答特性-(No.98)2007

    • 著者名/発表者名
      江口礼良、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] CF4分子、CFxラジカルの分解に適した電子加速(No.97)2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣、江口礼良、森直樹、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Dependence of Energy Efficiency on Waveform of Electric Field in Impulse-Field Electron Acceleration in CF_42007

    • 著者名/発表者名
      D. Arakita, N. Mori, H. Sugawara, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      The 2007 Annual Meeting, IEEJ
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連(No.92)2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、菅原広剛、酒井洋輔、須田善行、山内達也
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道工大(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>/ArプラズマCVDを用いたa-C:F膜の生成とその電気的特性の評価(No.P-4-2)2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
    • 学会等名
      2006年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工大(東京)
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる四フッ化炭素プラズマ解析(No.P-4-1)2006

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      2006年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工大(東京)
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, Y. Sakai
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Muroran, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-2006

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conf. on Plasma Sci. and Tech. and 19th Symp. on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Analysis of CF_4 plasma by Monte Carlo simulation2006

    • 著者名/発表者名
      N. Mori, H. Sugawara, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      2006-IEED Japan Annual Meeting
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>/ArプラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその特性(No.68)2006

    • 著者名/発表者名
      小池広恵、酒井洋輔、菅原広剛、須田善行、田澤将太
    • 学会等名
      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(室蘭)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Simulation of Electron Swarm Development in Carbon Tetrafluoride-Two-Peaked Spatial Distribution of Electrons in Relaxation Process-(P-II-B-27)2006

    • 著者名/発表者名
      H. Sugawara, N. Mori, D. Arakita, Y. Suda, and Y. Sakai
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] a-C:F Films Deposition by C_8F_<18>/Ar Plasma CVD and their Properties2006

    • 著者名/発表者名
      H. Koike, Y. Sakai, H. Sugawara, Y. Suda, S. Tazawa
    • 学会等名
      2006-IEED Japan Annual Meeting
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2006-11-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによるCF_4プラズマ解析(No.62)2006

    • 著者名/発表者名
      森直樹、菅原広剛、荒木田大嗣、須田善行、酒井洋輔
    • 学会等名
      平成18年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      室蘭工業大学(室蘭)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Electron swarm properties and cross section in gases2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai
    • 学会等名
      Romanian-Japanese Symposium on Science and Technology
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2005-05-31
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Electron swarms and cross section data2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai
    • 学会等名
      14^<th> Int. Symp. on Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 発表場所
      Campinas, Brazil
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Electron swarm properties and cross section in gases2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai
    • 学会等名
      Romanian-Japanese Symposium on Science and Technology
    • 発表場所
      Nagoya
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Deposition of low-k films by C_8F_18 plasma CVD and their characteristics2005

    • 著者名/発表者名
      S. Tazawa, Y. Sakai, Y. Suda, H. Sugawara
    • 学会等名
      Hokkaido Branch Annual Meeting on Electrical Related Institutes
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその特性(No.67)2005

    • 著者名/発表者名
      田澤将太, 酒井洋輔, 須田善行, 菅原広剛
    • 学会等名
      電気・情報関係学会北海道支部連合大会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • [学会発表] Electron swarms and cross section data2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Sakai
    • 学会等名
      14th International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms
    • 発表場所
      Campinas, Brazil
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360121
  • 1.  田頭 博昭 (10001174)
    共同の研究課題数: 14件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  菅原 広剛 (90241356)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 73件
  • 3.  金子 良松 (90001271)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  下妻 光夫 (70041960)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  ピーター ヴェンツェック (80261329)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  佐藤 信安 (20001290)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  田畑 昌祥 (50091476)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  須田 善行 (70301942)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 84件
  • 9.  BRATESCU A. Maria (70312379)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  佐藤 孝 (90048025)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  横田 和明 (30001217)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  氏平 増之 (90001990)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  真壁 利明 (60095651)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  佐藤 徳芳 (40005252)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  河合 良信 (10038565)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  後藤 俊夫 (50023255)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  五十嵐 龍志
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  横澤 亜由美
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  樋口 澄志 (20002040)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  中島 巌 (50001243)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  大久保 仁 (90213660)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  早川 直樹 (20228555)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  小崎 正光 (80023191)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  原 雅則 (30039127)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  赤澤 正道 (30212400)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  藤本 孝 (90026203)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  鵜飼 正敏 (80192508)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  伊藤 晴雄 (90083849)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  飯沼 恒一 (40005484)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  菅井 秀郎 (40005517)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  神藤 正士 (60023248)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  吉田 豊信 (00111477)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  橘 邦英 (40027925)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  諸隈 之彦 (60051611)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  北守 一隆 (40153134)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  冨長 勇作 (80003200)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  大賀 光太郎 (40133706)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  山口 和美 (00133702)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  相馬 純吉 (00001115)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 40.  根岸 正充
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 41.  磯嶋 茂樹
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 42.  河野 仁志
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 43.  中島 昌俊
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 44.  中神 芳武
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 45.  中村 聡
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 46.  森山 英重
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 47.  磯島 茂樹
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 48.  小野 幹幸
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 49.  M.A. Bratescu
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 14件

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