HORIIKE Yasuhiro 堀池靖浩

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堀池清浩ホリイケヤスヒロ

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Researcher Number	20209274
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2003 – 2004: 独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー 1998 – 2002: University of Tokyo, Graduate School of Engineering, Professor, 大学院・工学研究科, 教授 1998 – 2002: Univ. of Tokyo, School of Engineering, Professor, 大学院・工学系研究科, 教授 1993 – 1997: Tokyo University, Electrical Engineering, Professor, 工学部, 教授 1988 – 1993: 広島大学, 工学部, 教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Material processing/treatments / Electronic materials/Electric materials / Science and Engineering / Biomedical engineering/Biological material science / 表面界面物性 Except Principal Investigator Electronic materials/Electric materials / 複合化集積システム / 表面界面物性 / 電子材料工学 / プラズマ理工学 / Applied materials
Keywords	Principal Investigator 自己停止反応 / デジタルエッチング / ISFET / 電気浸透流ポンプ / Flow-FET / 無損傷化 / SiGe / ULSI / ヘルスケアチップ / 表面反応 … More / フッ素ラジカル / 低エネルギエッチング / Micro high sensitive transmitting and receiving antenna / Micro total analytical system / pH sensing / Micro high power supply / Communication chip / Taylor made treatment / Drug delivery system / in-vivo diagnostics / 超低電圧駆動電気浸透流ポンプ / in vivo診断 / ワイヤレス通信チップ / 消化器系診断 / 送受信マイクロチップ / インターコネクション / pH敏感ドラッグデリバリーシステム / in-vivo診断 / 高感度マイクロ送受信アンテナ / マイクロ分析化学システム / pHセンシング / 高出力マイクロ電源 / マイクロ通信チップ / テーラーメード治療 / ドラッグ・デリバリ・システム / in-vivoの診断 / Salt Bridge / Lymphocyte separation / Electroosmosis flow pump / Health marker / Painless Needle / Bio chip / Healthcare device / 生体適合化 / マイクロキャピラリ / 塩橋 / リンパ球分離 / 健康マーカ / 無痛針 / バイオチップ / ヘルスケアデバイス / Bosch method / pillar chi@ / DNA electrophoresis / dry cleaning / down flow / dry etching / ultra high aspect ratio / エッチ・ストップ / 水素添加 / ダメージ層 / レジスト側壁 / プラズマエッチング / コンタクトホール / Cu配線 / ビィア孔 / 超高圧透過型電子顕微鏡 / 壁との相互作用 / フロロカーボン / コンタクト孔底部損傷 / ボッシュ法 / ピラーチップ / DNA電気泳動 / ドライ洗浄 / ダウンフロー / ドライエッチング / 超高アスペクト比 / 5配位状態 / 高波数側シフト / ATR / 酸化 / Si-F結合切断しきいエネルギ / (NH_4)_2SiF_6 / 水素ラジカル / 2原子層酸化 / 原子層エッチング / フッ素終端Si表面 / 水素終端Si表面 / フッ素 / 自然酸化膜除去 / 水素終端シリコン表面 / フッ素終端シリコン表面 / FTIR-RAS / FTIR-ATR / XPS / ferroelectric / field effect transistor / quantum chemistry calculation / low contact resistance / high aspect ratio / point defect relaxation process / ultra thin Si oxide / 欠陥緩和 / ヘテロ界面 / 欠損測定 / Siプロセス量子化学研究 / 高アスペクト比プロセス / 低抵抗コンタクト / 極薄酸化膜 / Ge歪超格子 / Si / Si高精度化プロセス / 強誘電体 / 電界効果型トランジスタ / 量子化学計算 / 低抵抗コンタクト抵抗 / 高アスペクト比 / 点欠陥緩和過程 / 極薄Si酸化膜 / Bias sputtering / Time-modulated plasma / Low dielectric constant film / Conformable CVD / Multi-layr Atacked Interlayr / High quality thin film / Digital CVD / 低誘電率薄膜 / トリエチルシラン / 高速成膜 / 高アスペクト比構造 / 誘導結合プラズマ / デジタル法 / バイアススパッタ / 時間変調プラズマ / 低誘電率膜 / コンフォーマルCVD / 積層層間絶縁膜 / 高機能性薄膜 / デジタルCVD / Ion implantation / Self-limitting reaction / Crystal defect / SOI wire / Double gate MOS wire / Atomic layr digital etching / Pseudo-one dimensional quantum effect / Fine Si dot PN junction / 低次元伝導特性 / 極微細Siドット / 擬一次元PN接合 / 磁気抵抗 / 擬一次元系PN接合 / Si細線 / SOI細線 / 二重ゲートMOS細線 / 結晶欠陥 / イオン注入 / 原子層デジタルエッチング / 擬一次元量子効果 / 極微細SiドットPN接合素子 / カーボンナノチューブ / 平坦化電極 / クレアチニン / BUN / 電気化学センサー / 無水フッ酸 / 超高速DNA分離 / 長鎖DNAの捕獲チップ / 肝機能診断チップ / 石英高アスペクト比加工 / ドライ平坦化 / 化学的機械研磨 / 次世代多層配線 / MPCポリマー / 絶縁性ポリピロール / イオンセンサ / 塩化銀電極 / 銀 / カーボン電極 / スクリーン印刷 / 多層配線 / 異種材料 / 半導体プロセス / チップ搭載チップ / 異分野融合 / モバイル端末 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / 超高速・低消費 / 超機能グローバル / 多機能化 / 半導体 / インターフェース / 微細加工 / システム / 超機能化 / シリコン / 集積回路 / インテグレーション / 出現電圧質量分析法 / 高選択比 / フロロカーボンラジカル / キャピラリ法 / 赤外反射吸収分光 / フォトルミネッセンス測定 / Si微細ドット / ディジタル・エッチング / inーsitu XPS / Si表面反応 / F,Cl / 側壁損傷評価 / 低温エッチング機構 / 原子層 / デジタル・エッチング … More Except Principal Investigator STM / 質量分析 / 吸着ラジカル / 表面反応 / SEM / 抵抗振動 / 結晶粒界 / ボイド / エレクトロマイグレーション / ECRスパッタ / 走査トンネル顕微鏡 / 光励起脱離 / 精密制御技術 / 界面反応 / 接触抵抗 / 金属ー半導体界面 / デジタルエッチング / レーザ誘起光化学反応 / プラズマ / deep glass etching / cell electrophoresis / cell sorter chip / dielectrophoresis / microfluidics / micro TAS / blood test / healthcare chip / 誘電泳動力 / 細胞免疫電気泳動 / Crドライエッチング / ガラスエッチング / ディープエッチング / マイクロキャピラリー電気泳動 / ナノソーターチップ / 細胞分析 / ポリマー被覆 / インピーダンス分光 / 埋め込み微小電極 / 血液分析 / 陽極接合 / 細胞電気泳動チップ / 射出成型 / ポリマーチップ / 積層マイクロ流体チップ / ホウ珪酸ガラス加工 / ディープガラスエッチング / 細胞電気泳動 / セルソーターチップ / 誘電泳動 / マイクロ流体デバイス / マイクロTAS / 血液検査 / ヘルスケアチップ / Ultimate Material and Process / Intelligent Information Processing / Silicon Integrated Circuits / Intelligent electronic systems / 材料 / プロセス / デバイス / 回路 / 半導体プロセス / 集積回路 / シリコンテクノロジー / システム / マイクロエレクトロニクス / アーキテクチャ / 極限材料・プロセス / 知能情報処理 / シリコン集積回路 / 知的電子システム / Dislocation / Al Interconnect / Nonlinear / Hillock / Void / Resistance Oscillation / Electromigration / ボイド生成消滅モデル / 局所性・非局所性評価 / 抵抗振動現象 / 振動 / 信頼性 / ULSI / アルミニウム配線 / 転位 / Al配線 / 非線型 / ヒロック / エレクトロマイブレーション / radical / ion / ion plating / STM In-Situ 観察 / ラジカル / イオン / イオンプレーティング / alloy precipitation / grain boundary / in-situ SEM observation / ECR sputtering / sustained self-sputtering / molecular dynamics simulation / void / elctromigration / スパッタリング / アルミニウム / 表面拡散 / CuAl合金 / 金属薄膜 / マイクロ波プラズマ / エレクトロマイグレ-ション / コンタクト埋め込み / 結晶粒界拡散 / ボイド移動 / 分子動力学計算 / マグネトロンスパッタ / 析出合金 / 分子動力学シミュレーション / 自己維持スパッタ / 高磁場ECRスパッタ / 電子顕微鏡その場観察 / コンフォーマルスパッタ堆積 / 分数波共鳴 / ECRプラズマ / 集積化 / シリコン / 知能エレクトロニクス / 化合物半導体 / 塩素吸着シリコン表面 / シリルラジカル / 吸着制御 / レーザードーピング / 紫外レーザー / プラズマ、表面相互作用 / プラズマ、固体相互作用 / シ-ス / プラズマ・表面相互作用 / プラズマ・固体相互作用 / シース / 反応性プラズマ / フ-リエ変換型イオン分光器 / 飛行時間 / ラジカルによる膜成長表面反応 / SOR励起エッチング / 反応性イオンエッチング / 反応選択性 / 価電子励起に伴う表面反応 / 表面偏析 / 超高濃度ド-ピング / ミリサイド / 界面電気伝導 / 界面固相反応 / コンタクト抵抗率 / 界面精密制御 / 光励起誘起金属気相成長 / 単結晶Si異方性エッチング / 光CVD / SOR光エッチング / 表面吸着構造敏感 / 状態弁別測定 / 共鳴2光子イオン化 / 不純物ド-ピング / 金属一半導体界面 / マイクロロ-ディング / 冷却プラズマCVD / レ-ザ誘起光化学反応 / 不純物ドーピング / デジタルCVD Less

Development of in-vivo pH Measurement Chip in Digestive SystemPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  2002 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Biomedical engineering/Biological material science
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  2000 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
Creation of health care device employing micro analysis chip of trace amount of bloodPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Material processing/treatments
- Research Institution
  The University of Tokyo
Study of healthcare chips for the prompt test of tiny amounts of whole bloods
- Principal Investigator
  
  ICHIKI Takanori
- Project Period (FY)
  2000 – 2002
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  複合化集積システム
- Research Institution
  Toyo University
Ultimate Integration of Intelligence on Silicon Electronic Systems
- Principal Investigator
  
  OHMI Tadahiro
- Project Period (FY)
  1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- Research Institution
  Tohoku University
Study on low damage engraving of ultra-fine/high aspect ratio hole for ULSI processPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Material processing/treatments
- Research Institution
  The University of Tokyo
ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  表面界面物性
- Research Institution
  The University of Tokyo
  Toyo University
Ultimate Materials and Processes for Integrated Intelligent SystemPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1995 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
  Toyo University
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Toyo University
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- Principal Investigator
  
  OHMI Tadahiro
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Tohoku University
電子サイクロトン分数波共鳴プラズマの生成とスパンタ応用
- Principal Investigator
  
  SHINDO Haruo
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  Fukuyama University
Ion-Situ observation of ion and radical effects on the semiconductor clean surface in Ultra High Vacuum STM system.
- Principal Investigator
  
  MURAYAMA Yoichi
- Project Period (FY)
  1994 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  表面界面物性
- Research Institution
  TOYO UNIV.
Investigation on Resistance Oscillation Induced by Direct Current Electromigration
- Principal Investigator
  
  SHINGUBARA Shoso
- Project Period (FY)
  1994 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  HIROSHIMA UNIVERSITY
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子層反応の制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
Fabrication of Fine Si Dot PN Junction pn junction and its Pseudo-One Dimensional Quantum EffectsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyo University
  Hiroshima University
Fabrication of ULSI highly Functional Thin Film employing High Rate and High Uniformity Digital CVDPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyo University
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1992
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  安田幸夫
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
プロセス用プラズマのシース
- Principal Investigator
  
  板谷良平
- Project Period (FY)
  1991 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
- Research Field
  
  Applied materials
- Research Institution
  Niihama National College of Technology
  Kyoto University
Investigation and control of a directional atomic flow induced by a high density electron current in an ultra fine metalic interconnection
- Principal Investigator
  
  SHINGUBARA Shoso
- Project Period (FY)
  1991 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電子材料工学
- Research Institution
  HIROSHIMA UNIVERSITY
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  安田幸夫
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  YASUDA Yukio
- Project Period (FY)
  1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1988
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University

All 2005 2004 2002

All Journal Article Book

[Book] Bio-nano Technology2004
- Author(s)
  Y.Horiike, K.Kataoka, et al.
- Publisher
  Ohm-sha Corp.
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] バイオナノテクノロジー2004
- Author(s)
  堀池靖浩, 片岡一則共編
- Total Pages
  224
- Publisher
  オーム社
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] はじめての半導体洗浄技術2002
- Author(s)
  堀池靖浩, et al.
- Total Pages
  250
- Publisher
  工業調査会
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] Semiconductor Cleaning Technology for beginner2002
- Author(s)
  Y.Horiike, et al.
- Publisher
  Kogyo Chosakai Publishing Inc.
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] Coming of Highly Aged Society and Creation of Healthcare chip2005
- Author(s)
  Y.Horiike, et al.
- Journal Title
  
  HYOUMENGIJYUTSU 55(6)
  
  Pages: 385-390
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] Home Diagnostic Chip employing Painless Needle2004
- Author(s)
  Y.Horiike
- Journal Title
  
  JIDOUSHA GIJYUTSU 58(7)
  
  Pages: 116-117
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- Author(s)
  堀池靖浩
- Journal Title
  
  表面技術 55(6)
  
  Pages: 385-390
- NAID
  10013272139
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 無痛針採血による在宅健康診断チップ2004
- Author(s)
  堀池靖浩
- Journal Title
  
  自動車技術 58(7)
  
  Pages: 116-117
- NAID
  10013272134
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望2004
- Author(s)
  堀池靖浩他
- Journal Title
  
  応用物理 73(4)
  
  Pages: 470-475
- NAID
  10012857398
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- Author(s)
  堀池靖浩, et al.
- Journal Title
  
  表面技術 55(6)
  
  Pages: 385-390
- NAID
  10013272139
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101

1. SAKAUE Hiroyuki (50221263)

# of Collaborated Projects: 8 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. SHINGUBARA Shoso (10231367)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. YASUDA Yukio (60126951)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. SHIRAKI Yasuhiro (00206286)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. ICIKI Takanori (20277362)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. 広瀬全孝 (10034406)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. 宮崎誠一 (70190759)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. 川崎昌博 (70110723)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. 前川禎通 (60005973)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. 多田邦雄 (00010710)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. 小長井誠 (40111653)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. 村田好正 (10080467)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
13. 吉野淳二 (90158486)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. 正畠宏祐 (60132726)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. OHMI Tadahiro (20016463)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. TSUBOUTI Kazuo (30006283)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. ISHIWARA Hiroshi (60016657)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
18. ASADA Kunihiro (70142239)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. KAMEYAMA Michitaka (70124568)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
20. SHINDO Haruo (20034407)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. MASU Kazuya (20157192)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
22. TAKAMURA Yuzuru (20290877)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
23. 川崎三津夫 (50111927)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
24. MURAYAMA Yoichi (40057956)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
25. KASHIWAGI Kunihiro (30058094)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
26. KANDA Yozo (70041845)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
27. HATTORI Takeo (10061516)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
28. TACHIBANA Aketomo (40135463)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
29. FUYUKI Takashi (10165459)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
30. ICHINOSE Hideki (30159842)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
31. NAKAHARA Kazuhiko (70101095)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
32. KATAOKA Kazunori (00130245)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
33. KUZUYA Masayuki (10082984)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
34. NAKASE Hiroyuki (60312675)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
35. 長田昭義 (00164426)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
36. 末宗幾夫 (00112178)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
37. 山西正道 (30081441)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
38. 羽田宏 (60025864)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
39. 岩澤康裕 (40018015)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
40. 板谷良平 (90025833)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
41. 後藤俊夫 (50023255)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
42. 籏野嘉彦 (90016121)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
43. 佐藤徳芳 (40005252)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
44. 田頭博昭 (10001174)

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45. 財満鎭明 (70158947)

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46. 霜垣幸浩 (60192613)

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47. 角南英夫 (10311804)

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48. 岩井洋 (40313358)

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49. 鶴島稔夫 (10236953)

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50. 松波弘之 (50026035)

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51. KANEKO Hisashi

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52. KAWAMURA Kouhei

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53. IKEGAM Naokatsu

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54. 戸所義博

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55. 岩渕修一

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56. 三宅潔

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HORIIKE Yasuhiro 堀池 靖浩

堀池 清浩 ホリイケ ヤスヒロ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of in-vivo pH Measurement Chip in Digestive SystemPrincipal Investigator

Principal Investigator

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Research Category

Research Field

Research Institution

次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Creation of health care device employing micro analysis chip of trace amount of bloodPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

Study on low damage engraving of ultra-fine/high aspect ratio hole for ULSI processPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Ultimate Materials and Processes for Integrated Intelligent SystemPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御Principal Investigator

Principal Investigator

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Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

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Research Field

Research Institution

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堀池清浩ホリイケヤスヒロ