HORIIKE Yasuhiro 堀池靖浩

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堀池清浩ホリイケヤスヒロ

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Researcher Number	20209274
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2003 – 2004: 独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー 1998 – 2002: University of Tokyo, Graduate School of Engineering, Professor, 大学院・工学研究科, 教授 1998 – 2002: Univ. of Tokyo, School of Engineering, Professor, 大学院・工学系研究科, 教授 1993 – 1997: Tokyo University, Electrical Engineering, Professor, 工学部, 教授 1988 – 1993: 広島大学, 工学部, 教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Science and Engineering / Electronic materials/Electric materials / Material processing/treatments / 表面界面物性 / Biomedical engineering/Biological material science Except Principal Investigator Electronic materials/Electric materials / Applied materials / プラズマ理工学 / 電子材料工学 / 表面界面物性 / 複合化集積システム
Keywords	Principal Investigator デジタルエッチング / 自己停止反応 / 低エネルギエッチング / フッ素ラジカル / 表面反応 / ヘルスケアチップ / ULSI / SiGe / 無損傷化 / Flow-FET … More / 電気浸透流ポンプ / ISFET / デジタル・エッチング / 原子層 / 低温エッチング機構 / 側壁損傷評価 / F,Cl / Si表面反応 / inーsitu XPS / ディジタル・エッチング / Si微細ドット / フォトルミネッセンス測定 / 赤外反射吸収分光 / キャピラリ法 / フロロカーボンラジカル / 高選択比 / 出現電圧質量分析法 / インテグレーション / 集積回路 / シリコン / 超機能化 / システム / 微細加工 / インターフェース / 半導体 / 多機能化 / 超機能グローバル / 超高速・低消費 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / モバイル端末 / 異分野融合 / チップ搭載チップ / 半導体プロセス / 異種材料 / 多層配線 / スクリーン印刷 / カーボン電極 / 銀 / 塩化銀電極 / イオンセンサ / 絶縁性ポリピロール / MPCポリマー / 次世代多層配線 / 化学的機械研磨 / ドライ平坦化 / 石英高アスペクト比加工 / 肝機能診断チップ / 長鎖DNAの捕獲チップ / 超高速DNA分離 / 無水フッ酸 / 電気化学センサー / BUN / クレアチニン / 平坦化電極 / カーボンナノチューブ / 極微細SiドットPN接合素子 / 擬一次元量子効果 / 原子層デジタルエッチング / イオン注入 / 結晶欠陥 / 二重ゲートMOS細線 / SOI細線 / Si細線 / 擬一次元系PN接合 / 磁気抵抗 / 擬一次元PN接合 / 極微細Siドット / 低次元伝導特性 / Fine Si dot PN junction / Pseudo-one dimensional quantum effect / Atomic layr digital etching / Double gate MOS wire / SOI wire / Crystal defect / Self-limitting reaction / Ion implantation / デジタルCVD / 高機能性薄膜 / 積層層間絶縁膜 / コンフォーマルCVD / 低誘電率膜 / 時間変調プラズマ / バイアススパッタ / デジタル法 / 誘導結合プラズマ / 高アスペクト比構造 / 高速成膜 / トリエチルシラン / 低誘電率薄膜 / Digital CVD / High quality thin film / Multi-layr Atacked Interlayr / Conformable CVD / Low dielectric constant film / Time-modulated plasma / Bias sputtering / 極薄Si酸化膜 / 点欠陥緩和過程 / 高アスペクト比 / 低抵抗コンタクト抵抗 / 量子化学計算 / 電界効果型トランジスタ / 強誘電体 / Si高精度化プロセス / Si / Ge歪超格子 / 極薄酸化膜 / 低抵抗コンタクト / 高アスペクト比プロセス / Siプロセス量子化学研究 / 欠損測定 / ヘテロ界面 / 欠陥緩和 / ultra thin Si oxide / point defect relaxation process / high aspect ratio / low contact resistance / quantum chemistry calculation / field effect transistor / ferroelectric / XPS / FTIR-ATR / FTIR-RAS / フッ素終端シリコン表面 / 水素終端シリコン表面 / 自然酸化膜除去 / フッ素 / 水素終端Si表面 / フッ素終端Si表面 / 原子層エッチング / 2原子層酸化 / 水素ラジカル / (NH_4)_2SiF_6 / Si-F結合切断しきいエネルギ / 酸化 / ATR / 高波数側シフト / 5配位状態 / 超高アスペクト比 / ドライエッチング / ダウンフロー / ドライ洗浄 / DNA電気泳動 / ピラーチップ / ボッシュ法 / コンタクト孔底部損傷 / フロロカーボン / 壁との相互作用 / 超高圧透過型電子顕微鏡 / ビィア孔 / Cu配線 / コンタクトホール / プラズマエッチング / レジスト側壁 / ダメージ層 / 水素添加 / エッチ・ストップ / ultra high aspect ratio / dry etching / down flow / dry cleaning / DNA electrophoresis / pillar chi@ / Bosch method / ヘルスケアデバイス / バイオチップ / 無痛針 / 健康マーカ / リンパ球分離 / 塩橋 / マイクロキャピラリ / 生体適合化 / Healthcare device / Bio chip / Painless Needle / Health marker / Electroosmosis flow pump / Lymphocyte separation / Salt Bridge / in-vivoの診断 / ドラッグ・デリバリ・システム / テーラーメード治療 / マイクロ通信チップ / 高出力マイクロ電源 / pHセンシング / マイクロ分析化学システム / 高感度マイクロ送受信アンテナ / in-vivo診断 / pH敏感ドラッグデリバリーシステム / インターコネクション / 送受信マイクロチップ / 消化器系診断 / ワイヤレス通信チップ / in vivo診断 / 超低電圧駆動電気浸透流ポンプ / in-vivo diagnostics / Drug delivery system / Taylor made treatment / Communication chip / Micro high power supply / pH sensing / Micro total analytical system / Micro high sensitive transmitting and receiving antenna … More Except Principal Investigator 表面反応 / 吸着ラジカル / 質量分析 / STM / プラズマ / レーザ誘起光化学反応 / デジタルエッチング / 金属ー半導体界面 / 接触抵抗 / 界面反応 / 精密制御技術 / 光励起脱離 / 走査トンネル顕微鏡 / ECRスパッタ / エレクトロマイグレーション / ボイド / 結晶粒界 / 抵抗振動 / SEM / デジタルCVD / 不純物ドーピング / レ-ザ誘起光化学反応 / 冷却プラズマCVD / マイクロロ-ディング / 金属一半導体界面 / 不純物ド-ピング / 共鳴2光子イオン化 / 状態弁別測定 / 表面吸着構造敏感 / SOR光エッチング / 光CVD / 単結晶Si異方性エッチング / 光励起誘起金属気相成長 / 界面精密制御 / コンタクト抵抗率 / 界面固相反応 / 界面電気伝導 / ミリサイド / 超高濃度ド-ピング / 表面偏析 / 価電子励起に伴う表面反応 / 反応選択性 / 反応性イオンエッチング / SOR励起エッチング / ラジカルによる膜成長表面反応 / 飛行時間 / フ-リエ変換型イオン分光器 / 反応性プラズマ / シース / プラズマ・固体相互作用 / プラズマ・表面相互作用 / シ-ス / プラズマ、固体相互作用 / プラズマ、表面相互作用 / 紫外レーザー / レーザードーピング / 吸着制御 / シリルラジカル / 塩素吸着シリコン表面 / 化合物半導体 / 知能エレクトロニクス / シリコン / 集積化 / ECRプラズマ / 分数波共鳴 / コンフォーマルスパッタ堆積 / 電子顕微鏡その場観察 / 高磁場ECRスパッタ / 自己維持スパッタ / 分子動力学シミュレーション / 析出合金 / マグネトロンスパッタ / 分子動力学計算 / ボイド移動 / 結晶粒界拡散 / コンタクト埋め込み / エレクトロマイグレ-ション / マイクロ波プラズマ / 金属薄膜 / CuAl合金 / 表面拡散 / アルミニウム / スパッタリング / elctromigration / void / molecular dynamics simulation / sustained self-sputtering / ECR sputtering / in-situ SEM observation / grain boundary / alloy precipitation / イオンプレーティング / イオン / ラジカル / STM In-Situ 観察 / ion plating / ion / radical / エレクトロマイブレーション / ヒロック / 非線型 / Al配線 / 転位 / アルミニウム配線 / ULSI / 信頼性 / 振動 / 抵抗振動現象 / 局所性・非局所性評価 / ボイド生成消滅モデル / Electromigration / Resistance Oscillation / Void / Hillock / Nonlinear / Al Interconnect / Dislocation / 知的電子システム / シリコン集積回路 / 知能情報処理 / 極限材料・プロセス / アーキテクチャ / マイクロエレクトロニクス / システム / シリコンテクノロジー / 集積回路 / 半導体プロセス / 回路 / デバイス / プロセス / 材料 / Intelligent electronic systems / Silicon Integrated Circuits / Intelligent Information Processing / Ultimate Material and Process / ヘルスケアチップ / 血液検査 / マイクロTAS / マイクロ流体デバイス / 誘電泳動 / セルソーターチップ / 細胞電気泳動 / ディープガラスエッチング / ホウ珪酸ガラス加工 / 積層マイクロ流体チップ / ポリマーチップ / 射出成型 / 細胞電気泳動チップ / 陽極接合 / 血液分析 / 埋め込み微小電極 / インピーダンス分光 / ポリマー被覆 / 細胞分析 / ナノソーターチップ / マイクロキャピラリー電気泳動 / ディープエッチング / ガラスエッチング / Crドライエッチング / 細胞免疫電気泳動 / 誘電泳動力 / healthcare chip / blood test / micro TAS / microfluidics / dielectrophoresis / cell sorter chip / cell electrophoresis / deep glass etching Less

Development of in-vivo pH Measurement Chip in Digestive SystemPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  2002 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Biomedical engineering/Biological material science
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  2000 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  National Institute for Materials Science
  The University of Tokyo
Creation of health care device employing micro analysis chip of trace amount of bloodPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Material processing/treatments
- Research Institution
  The University of Tokyo
Study of healthcare chips for the prompt test of tiny amounts of whole bloods
- Principal Investigator
  
  ICHIKI Takanori
- Project Period (FY)
  2000 – 2002
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  複合化集積システム
- Research Institution
  Toyo University
Ultimate Integration of Intelligence on Silicon Electronic Systems
- Principal Investigator
  
  OHMI Tadahiro
- Project Period (FY)
  1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- Research Institution
  Tohoku University
Study on low damage engraving of ultra-fine/high aspect ratio hole for ULSI processPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Material processing/treatments
- Research Institution
  The University of Tokyo
ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  表面界面物性
- Research Institution
  The University of Tokyo
  Toyo University
Ultimate Materials and Processes for Integrated Intelligent SystemPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1995 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
  Toyo University
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Toyo University
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- Principal Investigator
  
  OHMI Tadahiro
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Tohoku University
電子サイクロトン分数波共鳴プラズマの生成とスパンタ応用
- Principal Investigator
  
  SHINDO Haruo
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  Fukuyama University
Ion-Situ observation of ion and radical effects on the semiconductor clean surface in Ultra High Vacuum STM system.
- Principal Investigator
  
  MURAYAMA Yoichi
- Project Period (FY)
  1994 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  表面界面物性
- Research Institution
  TOYO UNIV.
Investigation on Resistance Oscillation Induced by Direct Current Electromigration
- Principal Investigator
  
  SHINGUBARA Shoso
- Project Period (FY)
  1994 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  HIROSHIMA UNIVERSITY
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子層反応の制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
Fabrication of Fine Si Dot PN Junction pn junction and its Pseudo-One Dimensional Quantum EffectsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyo University
  Hiroshima University
Fabrication of ULSI highly Functional Thin Film employing High Rate and High Uniformity Digital CVDPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  HORIIKE Yasuhiro
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyo University
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1992
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  安田幸夫
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1991
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
プロセス用プラズマのシース
- Principal Investigator
  
  板谷良平
- Project Period (FY)
  1991 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
- Research Field
  
  Applied materials
- Research Institution
  Niihama National College of Technology
  Kyoto University
Investigation and control of a directional atomic flow induced by a high density electron current in an ultra fine metalic interconnection
- Principal Investigator
  
  SHINGUBARA Shoso
- Project Period (FY)
  1991 – 1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電子材料工学
- Research Institution
  HIROSHIMA UNIVERSITY
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  安田幸夫
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  堀池靖浩
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
表面反応の研究
- Principal Investigator
  
  村田好正
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  The University of Tokyo
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University
界面の作製とその精密制御
- Principal Investigator
  
  YASUDA Yukio
- Project Period (FY)
  1989
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Nagoya University
プラズマ-表面相互作用の制御
- Principal Investigator
  
  広瀬全孝
- Project Period (FY)
  1988
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Hiroshima University

All 2005 2004 2002

All Journal Article Book

[Book] Bio-nano Technology2004
- Author(s)
  Y.Horiike, K.Kataoka, et al.
- Publisher
  Ohm-sha Corp.
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] バイオナノテクノロジー2004
- Author(s)
  堀池靖浩, 片岡一則共編
- Total Pages
  224
- Publisher
  オーム社
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] はじめての半導体洗浄技術2002
- Author(s)
  堀池靖浩, et al.
- Total Pages
  250
- Publisher
  工業調査会
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Book] Semiconductor Cleaning Technology for beginner2002
- Author(s)
  Y.Horiike, et al.
- Publisher
  Kogyo Chosakai Publishing Inc.
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] Coming of Highly Aged Society and Creation of Healthcare chip2005
- Author(s)
  Y.Horiike, et al.
- Journal Title
  
  HYOUMENGIJYUTSU 55(6)
  
  Pages: 385-390
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] Home Diagnostic Chip employing Painless Needle2004
- Author(s)
  Y.Horiike
- Journal Title
  
  JIDOUSHA GIJYUTSU 58(7)
  
  Pages: 116-117
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- Author(s)
  堀池靖浩
- Journal Title
  
  表面技術 55(6)
  
  Pages: 385-390
- NAID
  10013272139
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 無痛針採血による在宅健康診断チップ2004
- Author(s)
  堀池靖浩
- Journal Title
  
  自動車技術 58(7)
  
  Pages: 116-117
- NAID
  10013272134
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望2004
- Author(s)
  堀池靖浩他
- Journal Title
  
  応用物理 73(4)
  
  Pages: 470-475
- NAID
  10012857398
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[Journal Article] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- Author(s)
  堀池靖浩, et al.
- Journal Title
  
  表面技術 55(6)
  
  Pages: 385-390
- NAID
  10013272139
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14208101

1. SAKAUE Hiroyuki (50221263)

# of Collaborated Projects: 8 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. SHINGUBARA Shoso (10231367)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. YASUDA Yukio (60126951)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. SHIRAKI Yasuhiro (00206286)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. ICIKI Takanori (20277362)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. 広瀬全孝 (10034406)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. 宮崎誠一 (70190759)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. 川崎昌博 (70110723)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. 前川禎通 (60005973)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. 多田邦雄 (00010710)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. 小長井誠 (40111653)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. 村田好正 (10080467)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
13. 吉野淳二 (90158486)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. 正畠宏祐 (60132726)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. OHMI Tadahiro (20016463)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. TSUBOUTI Kazuo (30006283)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. ISHIWARA Hiroshi (60016657)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
18. ASADA Kunihiro (70142239)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. KAMEYAMA Michitaka (70124568)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
20. SHINDO Haruo (20034407)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. MASU Kazuya (20157192)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
22. TAKAMURA Yuzuru (20290877)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
23. 川崎三津夫 (50111927)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
24. MURAYAMA Yoichi (40057956)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
25. KASHIWAGI Kunihiro (30058094)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
26. KANDA Yozo (70041845)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
27. HATTORI Takeo (10061516)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
28. TACHIBANA Aketomo (40135463)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
29. FUYUKI Takashi (10165459)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
30. ICHINOSE Hideki (30159842)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
31. NAKAHARA Kazuhiko (70101095)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
32. KATAOKA Kazunori (00130245)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
33. KUZUYA Masayuki (10082984)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
34. NAKASE Hiroyuki (60312675)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
35. 長田昭義 (00164426)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
36. 末宗幾夫 (00112178)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
37. 山西正道 (30081441)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
38. 羽田宏 (60025864)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
39. 岩澤康裕 (40018015)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
40. 板谷良平 (90025833)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
41. 後藤俊夫 (50023255)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
42. 籏野嘉彦 (90016121)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
43. 佐藤徳芳 (40005252)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
44. 田頭博昭 (10001174)

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45. 財満鎭明 (70158947)

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46. 霜垣幸浩 (60192613)

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47. 角南英夫 (10311804)

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48. 岩井洋 (40313358)

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49. 鶴島稔夫 (10236953)

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50. 松波弘之 (50026035)

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51. KANEKO Hisashi

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52. KAWAMURA Kouhei

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53. IKEGAM Naokatsu

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54. 戸所義博

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55. 岩渕修一

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56. 三宅潔

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HORIIKE Yasuhiro 堀池 靖浩

堀池 清浩 ホリイケ ヤスヒロ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of in-vivo pH Measurement Chip in Digestive SystemPrincipal Investigator

Principal Investigator

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Research Category

Research Field

Research Institution

次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Creation of health care device employing micro analysis chip of trace amount of bloodPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

Study on low damage engraving of ultra-fine/high aspect ratio hole for ULSI processPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Ultimate Materials and Processes for Integrated Intelligent SystemPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御Principal Investigator

Principal Investigator

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Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

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Research Field

Research Institution

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堀池清浩ホリイケヤスヒロ