片岡俊彦 KATAOKA Toshihiko

… 別表記

片岡秀彦タカオカトシヒコ

研究者番号	50029328
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 2005年度 – 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 1998年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 1989年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 教授 1986年度 – 1988年度: 大阪大学, 工学部, 助教授 1987年度: Faculty og Engineering, Univ. of Osaka
審査区分/研究分野	研究代表者機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学 / 応用光学・量子光工学 / 金属物性 / 機械工作・生産工学研究代表者以外機械工作・生産工学 / 機械材料工学 / 金属物性 / 電子デバイス・電子機器 / 電子デバイス・機器工学 … もっと見る / 機械材料・材料力学 / 機械工作 / 航空宇宙工学 / 理工系 / 応用光学・量子光工学隠す
キーワード	研究代表者シングルモード光ファイバ / 走査型近接場光学顕微鏡 / 回折球面波 / フォトレジスト / fiber optic plate / 絶対形状計測 / フェムト秒レーザー / Helium / 高空間分解能 / scanning near-field optical microscope … もっと見る / レーザ / 近接場 / 位相シフト干渉計 / 光ファイバ / 計測の再現性 / 高精度絶対形状計測 / 光干渉計測 / He-Neレーザー / 位相シフト干渉法 / 点光源 / SNOM / HeCdレーザー / WGMモード / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 準安定粒子 / 負グロー / シース / 非発光励起種 / 時空間分解発光分光計測 / 大気圧・高周波プラズマ / 塩化カリウム単結晶 / 転位 / 光散乱 / spherical diffraction wave / measurement error / aspherical surface measurement / absolute surface figure measurement / single-mode optical fiber / phase-shifting interferometry / point diffraction interferometry / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 位相シフト干渉計測法 / 点回折干渉計測法 / 大口径光学素子 / HeNeレーザー / Point Diffraction Inteferometer / 点回折球面波干渉計 / 非球面観測 / 計測誤差 / 非球面計測 / 位相シフト干渉計測 / 点回折干渉計測 / repeatability / absolute shape measurement / optical interferometry / Helium-Neon laser / single mode optical fiber / phase shift interferometry / point light source / diffracted Spherical wavefront / EUVL露光装置 / 点光源回折干渉法 / high spatial resolution / multi photon absorption process / 3-dimensional finite element method / ultraviolet resins / micro protrusion probe / femto-second laser / evanescent field / 極微細光加工 / チタンサファイアレーザー / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / 光の近接場 / 多光子吸収過程 / 3次元境界要素法 / 紫外線硬化性樹脂 / 極微小突起プローブ / Free radicals / Sheath / Mean free path / Spatiotemporal optical emission spectroscopy / Atmospheric VHF plasma / プラズマシース / プラズマシミュレーション / 局所電界近似法 / 中性Heラジカル / 時空間分解発光分光 / 容量結合型プラズマ / 粒子密度計測 / 温度計測 / 吸収分光 / 平均自由行程 / Boundary Element Method / High Spatial Resolution / Polystirene Latex Sphere / Scanning Near-field Optical Microscope / 光による微細加工 / 微小突起 / 高分解能 / ラテックス球プローブ / 境界要素法 / near field / ultra precision machined surface / surface of insulator / laser / piezo actuator / surface roughness / near-field / ニアフィールド / 超精密加工表面 / 絶縁体表面 / 圧電素子 / 表面粗さ / イメージインテンシファイヤー / アルゴンイオンレーザー / その場観察 / レ-ザ- / トポグラフィ / 放物面計測 / 非球面形状計測 / ガラスレスCCDカメラ / デジタルホログラフィー / 表面形状計測 / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / デジタルホログラフ / phase-shifting interferometer / point diffraction interferometer / 点光源回折干渉計 / 近接場局所分光 / キャビティーリングダウン分光 / 輸送係数 / 衝突断面積 / ボルツマン方程式 / 吸収分光計測 / 平均自由工程 / 破壊靭性 / 共焦点法 / トポグラフィ- … もっと見る研究代表者以外 EEM / STM / 転位 / STS / Dislocation / 超精密加工 / Fracture Toughness / 破壊じん性 / 負荷速度 / 塑性変形 / 極低温 / HeCdレーザー / WGMモード / フォトレジスト / 極微小突起 / 微小共振球 / Tiサファイアレーザー / エバネセント場 / 走査型近接場光学顕微鏡 / Si(001)2×1表面 / 局所状態密度 / 第一原理分子動力学 / Thermal Activation Theoty / Yield Stress / Flow Stress / High Strain Rate / Cryogenic Temperature / 双晶 / 熱活性化過程 / 降伏応力 / 変形応力 / 高ひずみ速度 / Grain Boundary / Lattice Defects / Strength / Ceramics / 辷り系 / パイエルス力 / 塑性 / 粒界 / 格子欠陥 / 強度 / セラミックス / Pulse-power / Laser / Plasma / Extreme-ultraviolet (EUV) / Semiconductor production / パルス放電 / デバイス設計・製造プロセス / パルスパワー / レーザー / プラズマ / 極端紫外光 / 半導体デバイス製造 / surface defect / surface morphology / high-frequency pulse / surface characterization / ultra-precision machining / insulator / scanning tunneling spectroscopy / scanning tunneling microscope / 表面欠陥 / 表面微細構造 / 高周波パルス / 表面キャラクタリゼーション / 絶縁体 / 走査トンネル分光法 / 走査トンネル顕微鏡 / three dimensional boundary element method / micro protrusion / HeCd laser / photoresist / Morphology Dependent Resonances / Whispering Gallery Modes / spherical micro resonator / Scanning Near-field Optical Microscope / 時間領域差分法 / 進行波共振 / ポリスチレン微小球 / SNOM / 走査系近接場光学顕微鏡 / 光の近接場 / 三次元境界要素法 / MDRs / WGMs / Ultra clean technology / First-principles molecular dynamics simulation / Electrochemical machining in ultrapure water / Atmospheric pressure plasma CVD / Plasma CVM / Ultra precision machining / Perfect surfaces / 第一原理分子動力学シュミレーション / 超純粋電解加工 / ウルトラクリーンテクノロジー / 第一原理分子動力学シミュレーション / 超純水電解加工 / 大気圧プラズマCVD / プラズマCVM / 完全表面 / two-photon absorption / crystalline silicon / silane / excimer laser / cryogenic substrate / condensed phase / deposition / photochemical reaction / ダイヤモンド成膜 / 原子状水素 / 凝集用 / KrF / ArF / 無定形炭素 / ダイヤモンド合成 / μc-Si / 凝集相 / C系薄膜 / Si系薄膜 / エキシマレーザー / 1光子吸収 / 2光子吸収 / 低温凝集相 / 光化学反応 / Si wafer / Elementary analysis / Si (001) 2*1 surface / Local density of states / First principle MD / H-terminated Si surface / Ab-inito MO / 電子構造 / 表面分析 / 金属汚染物 / シリコンウェーハ / 走査型トンネル分光法 / 水素終端化 / 走査型トンネル分光 / 走査型トンネル顕微鏡 / Siウェーハ / 元素分析 / Si (001) 2×1表面 / 水素終端化Si表面 / Ab-initio分子軌道法 / Low temperature deposition / Thin film / Silicon / Surface modification / Ion gun / 表面制御 / 薄膜用基板 / イオン照射 / シリコン薄膜 / 低温成膜 / 薄膜 / シリコン / 表面改質 / イオンガン / coating / surface preparation / ultra-fine particle / plasma CVD / マイクロ波プラズマ / コーティング / 表面処理 / 粉末粒子 / プラズマCVD / Termal Activation Mechanism / Brittle-to-Ductile Transition / Birefringence Observation / Alkali Halide Single Crystal / Dislocation Emission / 延性-ぜい遷移 / Kcl単結晶 / 延性ーぜい性遷移 / 応力遮蔽効果 / KClーKBr固溶体単結晶 / KCl単結晶 / 破壊じん性試験法 / 引張試験法 / 構造材料 / 超電導マグネット / デジタルCCDカメラ / 7フレームアルゴリズム / 非球面計測 / HeNeレーザー / 位相シフト干渉計測法 / シングルモード光ファイバ / 点回折干渉計測法 / 回折球面波 / 3次元境界要素法 / 高空間分解能 / 極微小突起プローブ / フェムト秒レーザー / 退色 / 微小共振器 / 相転移 / ファイバ / 顕微鏡 / 二光子 / 蛍光 / 細胞 / 共振 / 相変化 / プローブ / 近接場 / ZrN,AlN / Si単結晶薄膜 / スパッタリング成膜 / 反応性イオンエッチング / プラズマプロセス / 表面反応素過程隠す

FOW援用型PDI形状計測装置の開発:大口径非球面の高い再現性での絶対形状計測研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発
- 研究代表者
  
  中野元博
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪大学
大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型2光源PDI形状計測装置の応用
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  2004
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  大阪大学
光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  押鐘寧
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  大阪大学
ニアフィールドのマイクロスコピー
- 研究代表者
  
  大津元一
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  東京工業大学
粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
完全表面の創成
- 研究代表者
  
  森勇藏 (森勇蔵)
- 研究期間 (年度)
  1996 – 2002
- 研究種目
  
  特別推進研究(COE)
- 研究機関
  大阪大学
エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
STM/STSによるシリコンウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究
- 研究代表者
  
  森勇蔵 (森勇藏)
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  大阪大学
光の近接場を利用した微細加工研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
EEM(Elastic Emission Machining)用粉末粒子の表面コーティングに関する研究
- 研究代表者
  
  森勇藏
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  大阪大学
き裂先端での転位の生成と運動ー光散乱トポグラフィ-によるその場観察研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦 (片岡秀彦)
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  金属物性
- 研究機関
  大阪大学
温度・負荷速度をパラメ-タとした破壊のメカニズムに関する転位論的研究
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1989 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  航空宇宙工学
- 研究機関
  大阪大学
光散乱を利用した運動転位のその場観察研究代表者
- 研究代表者
  
  片岡俊彦
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  金属物性
- 研究機関
  大阪大学
超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1986
- 研究種目
  
  エネルギー特別研究(核融合)
- 研究機関
  大阪大学
極低温および高ひずみ速度下での材料の微視的変形・破壊機構に関する基礎研究
- 研究代表者
  
  岸田敬三
- 研究期間 (年度)
  1986 – 1987
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料工学
- 研究機関
  大阪大学
セラミックスの強度と格子欠陥
- 研究代表者
  
  鈴木敬愛
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1987
- 研究種目
  
  総合研究(A)
- 研究分野
  
  金属物性
- 研究機関
  東京大学

すべて 2008 2007 2006 2005 2004

すべて雑誌論文産業財産権

[雑誌論文] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008
- 著者名/発表者名
  Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
- 雑誌名
  
  Surface and Inter face Analysis Vol. 40
  
  ページ: 1028-1032
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-繰り返し発光特性の評価-2007
- 著者名/発表者名
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 井上晴行, 押鐘寧, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 773-774
- NAID
  130005028703
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007
- 著者名/発表者名
  Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
- 雑誌名
  
  Optical Review Vol. 14
  
  ページ: 401-405
- NAID
  10020010020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360066
[雑誌論文] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130005028613
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007
- 著者名/発表者名
  松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma-Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- 著者名/発表者名
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 133-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 161-161
- NAID
  130004658297
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma -Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006
- 著者名/発表者名
  T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 133-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-2006
- 著者名/発表者名
  中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 585-586
- NAID
  130004658236
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] ナノ秒レーザ誘起円錐孔アプレーション・プラズマの発光計測2006
- 著者名/発表者名
  中野元博, 細谷明弘, 吉川隆弥, 大谷祐子, 山内良昭, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会春季大会学術講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-2006
- 著者名/発表者名
  吉川隆弥, 大谷祐子, 中野元博, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘寧
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 73-74
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] Absolute surface profiling of large diameter mirror by point diffraction interferometer2006
- 著者名/発表者名
  S.Okagaki, T.Nakamura, T.Matsuura, Y.0shikane, T.Kataoka, H.Inoue, M.Nakanao
- 雑誌名
  
  Extended abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 121-122
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005
- 著者名/発表者名
  岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004657236
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- 著者名/発表者名
  井上晴行, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  光アライアンス Vol.16,No.2
  
  ページ: 36-41
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[雑誌論文] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  光アライアンス Vol.16,No.1
  
  ページ: 49-55
- NAID
  40006560304
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[雑誌論文] EUV光源開発のためのパルスレーザーによる高密度プラズマ生成と発光計測2005
- 著者名/発表者名
  細谷明弘, 吉川隆弥, 中野元博, 山内良昭, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
- NAID
  130004656964
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161
[雑誌論文] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  光アライアンス Vol.16, No.1
  
  ページ: 49-55
- NAID
  40006560304
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005
- 著者名/発表者名
  井上晴行, 片岡俊彦
- 雑誌名
  
  光アライアンス Vol.16, No.2
  
  ページ: 36-41
- NAID
  40006601718
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- NAID
  130004655911
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16029206
[雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004
- 著者名/発表者名
  押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 1069-1070
- NAID
  130004655911
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360067
[産業財産権] レーザプラズマ光源2007
- 発明者名
  中野元博, 片岡俊彦
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権番号
  2007-213321
- 出願年月日
  2007-08-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360161

1. 遠藤勝義 (90152008)

共同の研究課題数: 16件

共同の研究成果数: 0件
2. 押鐘寧 (40263206)

共同の研究課題数: 14件

共同の研究成果数: 13件
3. 井上晴行 (30304009)

共同の研究課題数: 9件

共同の研究成果数: 12件
4. 中野元博 (40164256)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 17件
5. 森勇藏 (00029125)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
6. 岸田敬三 (00029068)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
7. 山内和人 (10174575)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
8. 山内良昭 (00252619)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 2件
9. 山村和也 (60240074)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 松浦敏晋 (60525145)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
11. 広瀬喜久治 (10073892)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 芳井熊安 (30029152)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 森田瑞穂 (50157905)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 鈴木敬愛 (70013208)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 前田康二 (10107443)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 藤田広志 (30028930)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 横山隆 (60093944)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 大津元一 (70114858)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 中村收 (90192674)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 楠見明弘 (50169992)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 腰原伸也 (10192056)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 前川一郎 (70018464)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 庄子哲雄 (80091700)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. 山田朝治 (80028919)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 佐野泰久 (40252598)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 青野正和 (10184053)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. 安武潔 (80166503)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 吉永日出男 (40005856)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 角野浩二 (50005849)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. 石田洋一 (60013108)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
31. TAKEUCHI Shin (60013512)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
32. IMURA Toru (50022968)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
33. 島本進

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

片岡 俊彦 KATAOKA Toshihiko

片岡 秀彦 タカオカ トシヒコ

研究課題

研究成果

共同研究者

FOW援用型PDI形状計測装置の開発:大口径非球面の高い再現性での絶対形状計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

片岡俊彦 KATAOKA Toshihiko

片岡秀彦タカオカトシヒコ