後藤俊夫 GOTO Toshio

研究者番号	50023255
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	1997年度 – 2004年度: 名古屋大学, 工学研究科, 教授 2003年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 1999年度 – 2000年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 1987年度 – 1996年度: 名古屋大学, 工学部, 教授 1986年度: 名大, 工学部, 助教授 1985年度: 名古屋大学, 工, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者表面界面物性 / 電子機器工学 / 電子材料工学 / 応用物理学一般 / 電子デバイス・機器工学研究代表者以外表面界面物性 / プラズマ理工学 / 理工系 / 応用物性
キーワード	研究代表者プラズマ / CVD / プロセス / ラジカル / アモルファスシリコン / Ne / He / 自動予備電離方式 / XeClエキシマレーザ / plasma … もっと見る / UHF / Process / Radical / Plasma / 多結晶シリコン / 準安定原子 / 拡散定数 / イオン / CF_4プラズマ / 反応速度定数 / 拡散係数 / SiHm非発光ラジカル / シランプラズマ / Metastable Atom / Laser Adsorption Method / Rectangular Cross Section Laser / XeCl Excimer Laser / N_2 Laser / ShortーPulsed UV Laser / Longitudinal Excitation / Automatic Preionization / 電子密度測定 / レーザ吸収分光測定 / 準安定準位密度 / 窒素レーザ / 高速紫外パルスレーザ / 準安定原子密度 / シュタルク幅法 / 電子密度 / レ-ザ吸収分光測定 / 矩形断面レ-ザ管 / XeClエキシマレ-ザ / 窒素レ-ザ / 高速紫外パルスレ-ザ / 縦型放電励起 / 自動予備電離 / Lifetime / Level Excitation Cross Section / Emission Cross Section / Electron Collision / Non-Emissive Radical / <SiH_4> / Plasma Processing / LIF法 / 寿命 / 生成断面積 / 発光断面積 / 電子衝突 / ラジカル非発光種 / Si【H_4】 / プラズマプロセシング / discharge-pumped / Ar gas mixture / automatic preionization / XeCl excimer laser / 紫外レーザ / 放電励起 / Ar希釈 / fiber laser / femtosecond / organic molecule / surface reaction / cavity ring-down / absorption spectroscopy / near-infrared spectroscopy / プラズマプロセス / ファイバレーザー / 波長可変 / ファイバレーザ / フェムト秒 / 有機分子 / 表面反応 / 多重反射 / 吸収分光 / 近赤外分光 / gas phase reaction / process / etching / selective production / radical / electron temperature / 気相反応 / エッチング / 単色化 / 電子温度 / Large-scale / Polycrystalline Silicon / Thin Film / Si原子 / 大口径 / 薄膜 / Diamond / Absorption spectroscopy / Amorphous Silicon / Poly crystalline Silicon / Chemical vapor deposition / FT-IRRAS / 赤外半導体レーザー吸収分光法 / FT-IR / 赤外半導体レーザ吸収分光法 / ダイヤモンド / 吸収分光法 / laser absorption spectroscopy / copper vapor laser / saturated absorption spectroscopy / electron collisional de-excitation / diffusion coefficient / metastable atoms / Cu / 銅原子 / レーザー吸収分光 / 銅蒸気レーザー / 飽和吸収分光 / 電子衝突脱励起 / 銅 / ION / PROCESS / SPECTROSCOPY / MODELING / PARTICLES / LASER / PLASMA / FREE RADICAL / シリコン / 分光 / モデリング / 微粒子 / レーザー / フリーラジカル / 可視レーザー誘起蛍光法 / 赤外半導体レーザー吸収法 / 量子反応 / 省エネルギー / 省資源 / 環境 / 光イオン化質量分析法 / レ-ザ-誘起蛍光法 / CFラジカル / SiH_3ラジカル / リング色素レ-ザ-吸収法 / 赤外半導体レ-ザ-吸収法 / RFシランプラズマ / CF非発光ラジカル / レーザー誘起蛍光法 / 赤外レーザー吸収法 … もっと見る研究代表者以外プラズマの制御 / 反応性プラズマ / プラズマプロセシング / プラズマ / plasma / 光ファイバ / 非線形光学効果 / ソリトン / 超短パルス / フリーラジカル / nanotube / low temperature / radical / nanowall / align / carbon / ディスプレイ / カーボンナノフレーク / プラズマCVD / カーボンナノチューブ / ナノチューブ / 低温 / ラジカル / ナノウォール / 配向性 / カーボン / silylene / formyl radical / nitrate radical / free radical / シリレン / ホルミルラジカル / 硝酸塩ラジカル / プラズマプロセス / プロセシングプラズマ / 周波数分解光ゲート法 / 波長変換 / パルス捕捉 / 全光スイッチング / 表面反応 / その場観察 / 顕微分光 / 近接場 / 波長可変 / 脂質 / 水 / 多重反射 / レーザー / ファイバー / フェムト秒 / 吸収分光 / 近赤外分光 / ファイバ増幅器 / スーパーコンティニューム光 / ファイバレーザー / 近接場光学顕微鏡 / 放電素過程 / 高温プラズマ / 気体レーザー / スペースプ / 半導体プロセ / プラズマ生成 / 放電プラズマ / 太陽風 / オーロラ / 雷 / 活性種 / 放電 / 励起 / 電離 / プラズマ、表面相互作用 / プラズマ、固体相互作用 / シ-ス / プラズマ・表面相互作用 / プラズマ・固体相互作用 / シース隠す

波長可変フェムト秒ファイバレーザーを用いたプラズマ励起表面反応の動的計測法の構築研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  名古屋大学
ソリトンパルスによるパルス捕捉を用いたパルス光の波長制御・スイッチング研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫, 西澤典彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  名古屋大学
配向性カーボンナノ構造体の大面積・低温形成と反応ダイナミックスに関する研究
- 研究代表者
  
  堀勝
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
波長可変フェムト秒ファイバレーザーを用いた近接場顕微分光測定による基板表面観察
- 研究代表者
  
  堀勝
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
放電プラズマ現象とその応用に関する企画調査
- 研究代表者
  
  河合良信
- 研究期間 (年度)
  2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  九州大学
環境調和量子反応制御プロセスに関する調査研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
電離気体現象とその応用に関する企画調査
- 研究代表者
  
  佐藤徳芳
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  東北大学
電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
ラジカル制御を用いた表面反応過程及び薄膜形成に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
フリーラジカルの科学の総合的研究
- 研究代表者
  
  廣田榮治
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  総合研究大学院大学
プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
銅蒸気レーザの下準位原子の基礎過程に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  名古屋大学
フリーラジカルの科学
- 研究代表者
  
  広田榮治
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  総合研究(B)
- 研究機関
  総合研究大学院大学
反応性プラズマの制御(とりまとめ)
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  京都大学
プロセス用プラズマのシース
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1993
- 研究種目
  
  総合研究(A)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  新居浜工業高等専門学校
   京都大学
分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
反応性プラズマの制御
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  京都大学
分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
反応性プラズマの制御
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  京都大学
分光法による反応生プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
反応性プラズマの制御
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  京都大学
新しい縦型放電励起方式を用いた高速紫外パルスレ-ザの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  電子機器工学
- 研究機関
  名古屋大学
反応性プラズマの制御
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1987
- 研究種目
  
  総合研究(B)
- 研究機関
  京都大学
プラズマプロセシング用SiH⊂のラジカル非発光種に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1986
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
自動予備電離方式を用いた小型繰返しHe/Ar/XeClエキシマレーザの試作研究研究代表者
- 研究代表者
  
  後藤俊夫
- 研究期間 (年度)
  1984 – 1985
- 研究種目
  
  試験研究
- 研究分野
  
  電子機器工学
- 研究機関
  名古屋大学

すべて 2004 2003

すべて雑誌論文

[雑誌論文] Simple chromatic dispersion measurement by use of wavelength tunable Raman soliton pulse and two-photon absorption2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, H.Nagai, M.Yoshida, T.Goto
- 雑誌名
  
  Electronics Letters Vol.41
  
  ページ: 32-32
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Synthesis of Aligned Carbon Nanostructures by Non-Equilibrium microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma CVD2004
- 著者名/発表者名
  A.Matsushita, K.Yamakawa, M.Hiramatsu, M.Hori, T.Goto
- 雑誌名
  
  Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology, 21^<st> Century COE Program : Plasma-Nano
  
  ページ: 227-227
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350019
[雑誌論文] 高非線形分散シフトファイバを用いた超広帯域スーパーコンティニューム光のコヒーレンスの解析2004
- 著者名/発表者名
  岡本絢子, 堀喬, 西澤典彦, 後藤俊夫
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌 Vol.124-C, No.12
  
  ページ: 2395-2395
- NAID
  10014163109
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Experimental and numerical analysis of widely broadened supercontinuum generation in highly nonlinear dispersion shifted fiber with a femtosecond pulse2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto, M.Yoshida
- 雑誌名
  
  Journal of Optical Society of America B Vol.21
  
  ページ: 1969-1969
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Analysis of coherence in widely broadened supercontinuum generation in highly nonlinear dispersion shifted fiber2004
- 著者名/発表者名
  A.Okamoto, T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto
- 雑誌名
  
  IEEJ Trans.EIS Vol.124
  
  ページ: 2395-2395
- NAID
  10014163109
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Experimental and numerical analysis of widely broadened supercontinuum generation in highly nonlinear dispersion shifted fiber with a femtosecond pulse2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto, M.Yoshida
- 雑誌名
  
  Journal of Optical Society of America B Vol.21, No.11
  
  ページ: 1969-1969
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Simple chromatic dispersion measurement by use of wavelength tunable Raman soliton pulse and two-photon absorption2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, H.Nagai, M.Yoshida, T.Goto
- 雑誌名
  
  Electronics Letters Vol.41, No.1
  
  ページ: 32-32
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Generation of 14 fs ultrashort pulse in all fiber scheme by use of highly nonlinear hybrid fiber2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto
- 雑誌名
  
  Technical digest of international conference on ultrafast phenomena
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Generation of flatly broadened, wideband and low noise supercontinuum by use of highly nonlinear hybrid fiber2004
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto
- 雑誌名
  
  Technical digest of conference on lasers and electro-optics (CLEO)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] 高非線形分散シフトファイバを用いた超広帯域スーパーコンティニューム光のコヒーレンスの解析2004
- 著者名/発表者名
  岡本絢子, 堀喬, 西澤典彦, 後藤俊夫
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌 Vol.124-C
  
  ページ: 2395-2395
- NAID
  10014163109
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012
[雑誌論文] Growth of Carbon Nanotubes by Microwave-excited Non-equilibrium Atmospheric-pressure Plasma2003
- 著者名/発表者名
  A.Matsushita, M.Nagai, K.Yamakawa, M.Hiramatsu, A.Sakai, M.Hori, T.Goto, S.Zaima
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.43
  
  ページ: 424-424
- NAID
  10011949973
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350019
[雑誌論文] Wideband and nonmechanical sonogram measurement by use of an electronically controlled, wavelength-tunable, femtosecond soliton pulse2003
- 著者名/発表者名
  T.Hori, N.Nishizawa, T.Goto
- 雑誌名
  
  Journal of Optical Society of America B Vol.20
  
  ページ: 2410-2410
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15206012

1. 河野明広 (40093025)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
2. 籏野嘉彦 (90016121)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
3. 板谷良平 (90025833)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
4. 堀勝 (80242824)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 12件
5. 田頭博昭 (10001174)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
6. 広田栄治 (30011464)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
7. 広瀬全孝 (10034406)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
8. 平松美根男 (50199098)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
9. 西澤典彦 (30273288)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 10件
10. 岸本茂 (10186215)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
11. 伊藤昌文 (10232472)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
12. 菅野卓雄 (50010707)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
13. 佐藤徳芳 (40005252)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
14. 河合良信 (10038565)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
15. 伊藤光男 (20013469)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
16. 志田忠正 (60025484)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
17. 真壁利明 (60095651)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
18. 菅井秀郎 (40005517)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
19. 橘邦英 (40027925)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
20. 井上元 (70101053)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
21. 鷲田伸明 (70101045)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
22. 山田千樫 (70037266)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
23. 酒井洋輔 (20002199)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
24. 渡辺征夫 (80037902)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 村岡克紀 (80038546)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 稲葉成基 (30110183)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. 羽根一博 (50164893)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 堀池靖浩 (20209274)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 石川順三 (80026278)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. 庭野道夫 (20134075)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
31. 八百隆文 (60230182)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
32. 神藤正士 (60023248)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
33. 吉田豊信 (00111477)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
34. 塚田勉

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
35. 寒川誠二

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
36. AKIHIRO Kono

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

後藤 俊夫 GOTO Toshio

研究課題

研究成果

共同研究者

波長可変フェムト秒ファイバレーザーを用いたプラズマ励起表面反応の動的計測法の構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ソリトンパルスによるパルス捕捉を用いたパルス光の波長制御・スイッチング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

環境調和量子反応制御プロセスに関する調査研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ラジカル制御を用いた表面反応過程及び薄膜形成に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

銅蒸気レーザの下準位原子の基礎過程に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

後藤俊夫 GOTO Toshio