堀池靖浩 HORIIKE Yasuhiro

… 別表記

堀池清浩ホリイケヤスヒロ

研究者番号	20209274
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2003年度 – 2004年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー 1998年度 – 2002年度: 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 1998年度 – 2002年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 1993年度 – 1997年度: 東洋大学, 工学部, 教授 1988年度 – 1993年度: 広島大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者材料加工・処理 / 電子・電気材料工学 / 理工系 / 医用生体工学・生体材料学 / 表面界面物性研究代表者以外電子・電気材料工学 / 複合集積システム / 表面界面物性 / 電子材料工学 / プラズマ理工学 / 応用物性
キーワード	研究代表者自己停止反応 / デジタルエッチング / ISFET / 電気浸透流ポンプ / Flow-FET / 無損傷化 / SiGe / ULSI / ヘルスケアチップ / 表面反応 … もっと見る / フッ素ラジカル / 低エネルギエッチング / Micro high sensitive transmitting and receiving antenna / Micro total analytical system / pH sensing / Micro high power supply / Communication chip / Taylor made treatment / Drug delivery system / in-vivo diagnostics / 超低電圧駆動電気浸透流ポンプ / in vivo診断 / ワイヤレス通信チップ / 消化器系診断 / 送受信マイクロチップ / インターコネクション / pH敏感ドラッグデリバリーシステム / in-vivo診断 / 高感度マイクロ送受信アンテナ / マイクロ分析化学システム / pHセンシング / 高出力マイクロ電源 / マイクロ通信チップ / テーラーメード治療 / ドラッグ・デリバリ・システム / in-vivoの診断 / Salt Bridge / Lymphocyte separation / Electroosmosis flow pump / Health marker / Painless Needle / Bio chip / Healthcare device / 生体適合化 / マイクロキャピラリ / 塩橋 / リンパ球分離 / 健康マーカ / 無痛針 / バイオチップ / ヘルスケアデバイス / Bosch method / pillar chi@ / DNA electrophoresis / dry cleaning / down flow / dry etching / ultra high aspect ratio / エッチ・ストップ / 水素添加 / ダメージ層 / レジスト側壁 / プラズマエッチング / コンタクトホール / Cu配線 / ビィア孔 / 超高圧透過型電子顕微鏡 / 壁との相互作用 / フロロカーボン / コンタクト孔底部損傷 / ボッシュ法 / ピラーチップ / DNA電気泳動 / ドライ洗浄 / ダウンフロー / ドライエッチング / 超高アスペクト比 / 5配位状態 / 高波数側シフト / ATR / 酸化 / Si-F結合切断しきいエネルギ / (NH_4)_2SiF_6 / 水素ラジカル / 2原子層酸化 / 原子層エッチング / フッ素終端Si表面 / 水素終端Si表面 / フッ素 / 自然酸化膜除去 / 水素終端シリコン表面 / フッ素終端シリコン表面 / FTIR-RAS / FTIR-ATR / XPS / ferroelectric / field effect transistor / quantum chemistry calculation / low contact resistance / high aspect ratio / point defect relaxation process / ultra thin Si oxide / 欠陥緩和 / ヘテロ界面 / 欠損測定 / Siプロセス量子化学研究 / 高アスペクト比プロセス / 低抵抗コンタクト / 極薄酸化膜 / Ge歪超格子 / Si / Si高精度化プロセス / 強誘電体 / 電界効果型トランジスタ / 量子化学計算 / 低抵抗コンタクト抵抗 / 高アスペクト比 / 点欠陥緩和過程 / 極薄Si酸化膜 / Bias sputtering / Time-modulated plasma / Low dielectric constant film / Conformable CVD / Multi-layr Atacked Interlayr / High quality thin film / Digital CVD / 低誘電率薄膜 / トリエチルシラン / 高速成膜 / 高アスペクト比構造 / 誘導結合プラズマ / デジタル法 / バイアススパッタ / 時間変調プラズマ / 低誘電率膜 / コンフォーマルCVD / 積層層間絶縁膜 / 高機能性薄膜 / デジタルCVD / Ion implantation / Self-limitting reaction / Crystal defect / SOI wire / Double gate MOS wire / Atomic layr digital etching / Pseudo-one dimensional quantum effect / Fine Si dot PN junction / 低次元伝導特性 / 極微細Siドット / 擬一次元PN接合 / 磁気抵抗 / 擬一次元系PN接合 / Si細線 / SOI細線 / 二重ゲートMOS細線 / 結晶欠陥 / イオン注入 / 原子層デジタルエッチング / 擬一次元量子効果 / 極微細SiドットPN接合素子 / カーボンナノチューブ / 平坦化電極 / クレアチニン / BUN / 電気化学センサー / 無水フッ酸 / 超高速DNA分離 / 長鎖DNAの捕獲チップ / 肝機能診断チップ / 石英高アスペクト比加工 / ドライ平坦化 / 化学的機械研磨 / 次世代多層配線 / MPCポリマー / 絶縁性ポリピロール / イオンセンサ / 塩化銀電極 / 銀 / カーボン電極 / スクリーン印刷 / 多層配線 / 異種材料 / 半導体プロセス / チップ搭載チップ / 異分野融合 / モバイル端末 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / 超高速・低消費 / 超機能グローバル / 多機能化 / 半導体 / インターフェース / 微細加工 / システム / 超機能化 / シリコン / 集積回路 / インテグレーション / 出現電圧質量分析法 / 高選択比 / フロロカーボンラジカル / キャピラリ法 / 赤外反射吸収分光 / フォトルミネッセンス測定 / Si微細ドット / ディジタル・エッチング / inーsitu XPS / Si表面反応 / F,Cl / 側壁損傷評価 / 低温エッチング機構 / 原子層 / デジタル・エッチング … もっと見る研究代表者以外 STM / 質量分析 / 吸着ラジカル / 表面反応 / SEM / 抵抗振動 / 結晶粒界 / ボイド / エレクトロマイグレーション / ECRスパッタ / 走査トンネル顕微鏡 / 光励起脱離 / 精密制御技術 / 界面反応 / 接触抵抗 / 金属ー半導体界面 / デジタルエッチング / レーザ誘起光化学反応 / プラズマ / deep glass etching / cell electrophoresis / cell sorter chip / dielectrophoresis / microfluidics / micro TAS / blood test / healthcare chip / 誘電泳動力 / 細胞免疫電気泳動 / Crドライエッチング / ガラスエッチング / ディープエッチング / マイクロキャピラリー電気泳動 / ナノソーターチップ / 細胞分析 / ポリマー被覆 / インピーダンス分光 / 埋め込み微小電極 / 血液分析 / 陽極接合 / 細胞電気泳動チップ / 射出成型 / ポリマーチップ / 積層マイクロ流体チップ / ホウ珪酸ガラス加工 / ディープガラスエッチング / 細胞電気泳動 / セルソーターチップ / 誘電泳動 / マイクロ流体デバイス / マイクロTAS / 血液検査 / ヘルスケアチップ / Ultimate Material and Process / Intelligent Information Processing / Silicon Integrated Circuits / Intelligent electronic systems / 材料 / プロセス / デバイス / 回路 / 半導体プロセス / 集積回路 / シリコンテクノロジー / システム / マイクロエレクトロニクス / アーキテクチャ / 極限材料・プロセス / 知能情報処理 / シリコン集積回路 / 知的電子システム / Dislocation / Al Interconnect / Nonlinear / Hillock / Void / Resistance Oscillation / Electromigration / ボイド生成消滅モデル / 局所性・非局所性評価 / 抵抗振動現象 / 振動 / 信頼性 / ULSI / アルミニウム配線 / 転位 / Al配線 / 非線型 / ヒロック / エレクトロマイブレーション / radical / ion / ion plating / STM In-Situ 観察 / ラジカル / イオン / イオンプレーティング / alloy precipitation / grain boundary / in-situ SEM observation / ECR sputtering / sustained self-sputtering / molecular dynamics simulation / void / elctromigration / スパッタリング / アルミニウム / 表面拡散 / CuAl合金 / 金属薄膜 / マイクロ波プラズマ / エレクトロマイグレ-ション / コンタクト埋め込み / 結晶粒界拡散 / ボイド移動 / 分子動力学計算 / マグネトロンスパッタ / 析出合金 / 分子動力学シミュレーション / 自己維持スパッタ / 高磁場ECRスパッタ / 電子顕微鏡その場観察 / コンフォーマルスパッタ堆積 / 分数波共鳴 / ECRプラズマ / 集積化 / シリコン / 知能エレクトロニクス / 化合物半導体 / 塩素吸着シリコン表面 / シリルラジカル / 吸着制御 / レーザードーピング / 紫外レーザー / プラズマ、表面相互作用 / プラズマ、固体相互作用 / シ-ス / プラズマ・表面相互作用 / プラズマ・固体相互作用 / シース / 反応性プラズマ / フ-リエ変換型イオン分光器 / 飛行時間 / ラジカルによる膜成長表面反応 / SOR励起エッチング / 反応性イオンエッチング / 反応選択性 / 価電子励起に伴う表面反応 / 表面偏析 / 超高濃度ド-ピング / ミリサイド / 界面電気伝導 / 界面固相反応 / コンタクト抵抗率 / 界面精密制御 / 光励起誘起金属気相成長 / 単結晶Si異方性エッチング / 光CVD / SOR光エッチング / 表面吸着構造敏感 / 状態弁別測定 / 共鳴2光子イオン化 / 不純物ド-ピング / 金属一半導体界面 / マイクロロ-ディング / 冷却プラズマCVD / レ-ザ誘起光化学反応 / 不純物ドーピング / デジタルCVD 隠す

Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  医用生体工学・生体材料学
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2004
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
極微量血液のマイクロ分析チップを用いたヘルスケアデバイスの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
超高速極微量全血分析のためのヘルスケアチップ研究
- 研究代表者
  
  一木隆範
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  複合集積システム
- 研究機関
  東洋大学
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  東北大学
ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  東京大学
   東洋大学
集積化知能システム極限材料・プロセス研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1998
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
   東洋大学
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東洋大学
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  総合研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
電子サイクロトン分数波共鳴プラズマの生成とスパンタ応用
- 研究代表者
  
  進藤春雄
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  福山大学
超高真空STM In-Situ観察による半導体清浄表面のイオン,ラジカル効果
- 研究代表者
  
  村山洋一
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  東洋大学
直流電流下エレクトロマイグレーションに誘起された抵抗振動現象の解明と制御
- 研究代表者
  
  新宮原正三 (新官原正三)
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  広島大学
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子層反応の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
極微細SiドットPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東洋大学
   広島大学
高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作成研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東洋大学
   広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
プロセス用プラズマのシース
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1993
- 研究種目
  
  総合研究(A)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  新居浜工業高等専門学校
   京都大学
極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
- 研究代表者
  
  新宮原正三
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1993
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  広島大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学

すべて 2005 2004 2002

すべて雑誌論文図書

[図書] Bio-nano Technology2004
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, K.Kataoka, et al.
- 出版者
  Ohm-sha Corp.
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] バイオナノテクノロジー2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, 片岡一則共編
- 総ページ数
  224
- 出版者
  オーム社
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] はじめての半導体洗浄技術2002
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, et al.
- 総ページ数
  250
- 出版者
  工業調査会
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] Semiconductor Cleaning Technology for beginner2002
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, et al.
- 出版者
  Kogyo Chosakai Publishing Inc.
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] Coming of Highly Aged Society and Creation of Healthcare chip2005
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, et al.
- 雑誌名
  
  HYOUMENGIJYUTSU 55(6)
  
  ページ: 385-390
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] Home Diagnostic Chip employing Painless Needle2004
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike
- 雑誌名
  
  JIDOUSHA GIJYUTSU 58(7)
  
  ページ: 116-117
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩
- 雑誌名
  
  表面技術 55(6)
  
  ページ: 385-390
- NAID
  10013272139
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 無痛針採血による在宅健康診断チップ2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩
- 雑誌名
  
  自動車技術 58(7)
  
  ページ: 116-117
- NAID
  10013272134
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩他
- 雑誌名
  
  応用物理 73(4)
  
  ページ: 470-475
- NAID
  10012857398
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, et al.
- 雑誌名
  
  表面技術 55(6)
  
  ページ: 385-390
- NAID
  10013272139
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101

1. 坂上弘之 (50221263)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
2. 新宮原正三 (10231367)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
3. 安田幸夫 (60126951)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
4. 白木靖寛 (00206286)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
5. 一木隆範 (20277362)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
6. 広瀬全孝 (10034406)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
7. 宮崎誠一 (70190759)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
8. 川崎昌博 (70110723)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
9. 前川禎通 (60005973)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
10. 多田邦雄 (00010710)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
11. 小長井誠 (40111653)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
12. 村田好正 (10080467)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
13. 吉野淳二 (90158486)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
14. 正畠宏祐 (60132726)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
15. 大見忠弘 (20016463)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
16. 坪内和夫 (30006283)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
17. 石原宏 (60016657)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
18. 浅田邦博 (70142239)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
19. 亀山充隆 (70124568)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
20. 進藤春雄 (20034407)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
21. 益一哉 (20157192)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
22. 高村禅 (20290877)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
23. 川崎三津夫 (50111927)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
24. 村山洋一 (40057956)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 柏木邦宏 (30058094)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 神田洋三 (70041845)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. 服部健雄 (10061516)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 立花明知 (40135463)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 冬木隆 (10165459)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. 市野瀬英喜 (30159842)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
31. 中原一彦 (70101095)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
32. 片岡一則 (00130245)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
33. 葛谷昌之 (10082984)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
34. 中瀬博之 (60312675)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
35. 長田昭義 (00164426)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
36. 末宗幾夫 (00112178)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
37. 山西正道 (30081441)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
38. 羽田宏 (60025864)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
39. 岩澤康裕 (40018015)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
40. 板谷良平 (90025833)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
41. 後藤俊夫 (50023255)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
42. 籏野嘉彦 (90016121)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
43. 佐藤徳芳 (40005252)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
44. 田頭博昭 (10001174)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
45. 財満鎭明 (70158947)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
46. 霜垣幸浩 (60192613)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
47. 角南英夫 (10311804)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
48. 岩井洋 (40313358)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
49. 鶴島稔夫 (10236953)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
50. 松波弘之 (50026035)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
51. 金子尚史

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
52. 川村剛平

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
53. 池上尚克

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
54. 戸所義博

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
55. 岩渕修一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
56. 三宅潔

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

堀池 靖浩 HORIIKE Yasuhiro

堀池 清浩 ホリイケ ヤスヒロ

研究課題

研究成果

共同研究者

Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

極微量血液のマイクロ分析チップを用いたヘルスケアデバイスの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

集積化知能システム極限材料・プロセス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

堀池靖浩 HORIIKE Yasuhiro

堀池清浩ホリイケヤスヒロ